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公开(公告)号：CN118033991A
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202410362653.8
申请日：2024-03-28
Applicant: 上海大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种基于DPP光源的曝光装置和方法，包括：DPP光源、锆膜、多层膜反射镜和线性光栅，其中：DPP光源用于产生EUV光；锆膜过滤所述DPP光源产生的EUV光；所述多层膜反射镜收集所述DPP光源输出的EUV光，进行反射后垂直入射到所述线性光栅上；垂直入射的EUV光经所述线性光栅发生干涉，并达到待曝光的光刻胶，其中，EUV光在光刻胶平面上的强度分布为三角形分布，强度随位置的变化呈线性。本发明能够通过控制曝光剂量来形成小特征的图案，通过控制曝光计量可以得到特征尺寸25纳米以下的周期性图案，优化光刻胶材料有望实现更小的曝光线宽。
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公开(公告)号：CN118002555A
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202410093397.7
申请日：2024-01-23
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明提供一种用于Z箍缩放电等离子体源的碎屑清除装置及其应用，包括：机械碰撞部，所述机械碰撞部通过碰撞阻扰高、低能量碎屑以及电荷中性碎屑的运动，降低碎屑的射程；气体吹扫部，所述气体吹扫部利用气体分子撞击碎屑并改变其运动轨迹，进行碎屑清除；箔片过滤部，箔片过滤部，所述箔片过滤部进行带外滤光，兼具碎屑过滤作用。本发明采用多种清除机制，在保证极紫外光带内通量的前提下具有良好的碎屑清除与带外滤光性能，保护Mo/Si多涂层收集镜，以满足Z箍缩放电等离子体源功率与转化效率不断提高、曝光时间不断减少的要求。
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公开(公告)号：CN117586503A
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202311557835.2
申请日：2023-11-22
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明提供了一种聚酰亚胺浆料、聚酰亚胺薄膜及其制备方法和应用，涉及高分子材料技术领域。本发明所述聚酰亚胺浆料，包括聚酰亚胺与有机溶剂，所述聚酰亚胺具有式I所示结构；其中x为0.85～0.95，y为0.15～0.05，n为所述聚酰亚胺的聚合度。本发明利用芳香性的刚性结构和含氟基团协同调控聚酰亚胺的性能，芳香性结构共轭作用加强分子链间作用力，能够提高聚酰亚胺拉伸强度；含氟结构能够降低分子链内电荷转移作用，提高聚酰亚胺的透过率；加入交联型封端剂，分子链节部分交联，降低热膨胀系数。
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公开(公告)号：CN116102441A
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202211674769.2
申请日：2022-12-26
Applicant: 上海大学
IPC: C07C225/22 , G02B5/22 , G02B1/04 , G03F7/004 , G03F7/027 , C07D209/86 , C07D209/88 , C07C311/44 , C09B57/00
Abstract: 本发明属于染料化合物技术领域，提供了一种具有通式(Ⅰ)的化合物：其中，R1、R2、R3、R4、R5、R6各自独立地表示氢原子或取代基；所述取代基为芳胺基及其衍生物。本发明提供的化合物，用于染料、液晶显示器、图像传感器、着色剂、着色固化性树脂组合物、或滤光片。本发明采用了具有高化学键能的闭环稠环π共轭苊醌作为母核结构，因此保证了其光化学稳定性。同时，通过在外围修饰分子链段可以抑制发色团之间的聚集从而提高其热稳定性，并且外围分子链段的修饰还可以提高染料自身在溶剂中的溶解性和其与彩色光刻胶其他组分的相容性。
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公开(公告)号：CN118146222A
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202410124598.9
申请日：2024-01-30
Applicant: 上海大学
IPC: C07D471/06 , G02B5/22 , G03F7/004
Abstract: 本发明涉及一种离子型萘二酰亚胺衍生物及其制备方法、光敏树脂组合物及其应用，所述衍生物中，R1至R6各自独立地选自氢、含有正离子的基团中的一种，所述基团选自取代或未取代的稠合杂环基、单环芳族杂环基、多环芳族杂环基中的一种；所述方法包括：2,6‑二卤代萘‑1,4,5,8‑四甲酸二酐的合成；第一中间体的合成；第二中间体的合成；萘二酰亚胺衍生物的合成；所述组合物包括萘二酰亚胺衍生物、溶剂、多官能基单体、碱可溶性树脂、光引发剂和添加剂，所述组合物应用于显示装置和传感装置的滤光片中。与现有技术相比，本发明具有良好的光热化学稳定性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117624072A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311654889.0
申请日：2023-12-05
Applicant: 上海大学
IPC: C07D263/56 , C08J5/18 , C08G73/10 , C08L79/08
Abstract: 本发明涉及一种含环己烷的二胺单体、透明聚酰亚胺薄膜及其制备方法，所述二胺单体的制备方法包括：在惰性气体气氛中，将第一脱水剂、环己烷二甲酸、催化剂和二氨基苯环化合物混合，然后加入第二脱水剂混合，反应；倒入冷却剂中混合；调节pH，然后过滤以获得粗产物；洗涤并纯化粗产物，得到含环己烷的二胺单体。与现有技术相比，本发明通过分子设计，向二胺单体中引入六元环脂肪族结构、杂原子、非共面苯环，提高聚酰亚胺薄膜的光学性能的同时维持良好热稳定性。
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公开(公告)号：CN117586195A
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202311539306.X
申请日：2023-11-17
Applicant: 上海大学
IPC: C07D241/38 , C07D403/04 , C07D403/10 , C07D413/10 , C07D417/10 , C07D401/14 , C07D403/14 , C07F5/02 , C07D487/06 , C09K11/06 , H10K85/60 , H10K50/12
Abstract: 本发明涉及光电技术领域，尤其是涉及有机发光材料、有机电致发光器件及其制备。本发明的基于醋菲烯衍生物的有机发光材料及其有机发光器件，这类材料通过苯环稠合，保证激发态具有较高的振子强度，利于辐射跃迁，并且其刚性稠环结构可以有效抑制分子内的振动，有助于抑制激发态的非辐射跃迁行为并获得高的光致发光效率，另外这类分子可以形成分子间电荷转移聚集体进而减少电子的非绝热耦合从而实现低的非辐射跃迁速率，进一步提高光致发光效率，还可以稳定激发态能量，能够进一步应用于有机电致发光器件中，实现高电致发光效率。
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公开(公告)号：CN117024734A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202311021813.4
申请日：2023-08-15
Applicant: 上海大学
IPC: C08G73/10 , C09D179/08
Abstract: 本发明提供了一种聚酰亚胺清漆、改性聚酰亚胺清漆及其制备方法和应用，涉及高分子材料制备技术领域。本发明所述聚酰亚胺清漆，包括聚酰亚胺与有机溶剂，所述聚酰亚胺具有式I所示结构：#imgabs0#其中a为0.55～0.58，b为0.37～0.39，c为0.03～0.06。本发明提供的聚酰亚胺清漆具有多种刚性结构单体，且结构精确；同时可形成链间氢键，分子链间的紧密程度较高，具有较高的玻璃化转变温度，稳定性能优异。
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公开(公告)号：CN117011852A
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN202310844172.6
申请日：2023-07-11
Applicant: 上海大学
IPC: G06V30/146 , G06V30/10 , G06V10/82 , G06T7/70 , G06T7/50 , G06N3/044 , G06N3/0464 , G06N3/045 , G06N3/08 , G06V30/19 , G01B11/00 , G01C11/00
Abstract: 本发明采用将改进的YOLOv5和CRNN网络结合实现化学药品的定位和分类任务。本视觉检测算法可以在极短的时间内完成相机所拍摄到图片内的化学药品位置和种类识，加快了化学合成机器人进行化学实验的速度。并缓解了目前移动化学合成机器人采用检测特征块进行模板匹配方法对化学药品与特征块之间有严格的相对位置关系要求。本发明提高了化学药品检测的速度，缓解了目标检测方法上的局限性，增强化学实验灵活性，有利于化学研究向复杂化和高维化方向的发展。
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