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公开(公告)号：CN117848558A
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202410033100.8
申请日：2024-01-09
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明提供一种基于多光束杠杆的薄膜应力测量方法和系统，包括：利用多光束杠杆设计，获得光斑阵列的原始图像；从所述原始图像中采集光斑中心点；基于光斑中心点，获得基底和薄膜的曲率，求得最终薄膜应力。本发明利用多光束杠杆法对样品曲率进行测量，操作便捷，且当曲率变化幅度不大情况下，仍可以通过光路的细微偏转来获得较为精确的结果。本发明采用改进Canny边缘检测方法，将高斯滤波替换为双边滤波，更好消除噪声，同时增加45°和135°方向上的梯度幅值计算，更加精确地提取图像的边缘信息；利用椭圆拟合结合曲率公式和Stoney公式，精准地求得薄膜的残余应力。
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公开(公告)号：CN119472185A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202411581282.9
申请日：2024-11-07
Applicant: 上海大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明属于半导体制造设备技术领域，公开了一种DPP型极紫外光源碎屑综合过滤装置及其方法，本发明提供的DPP型极紫外光源碎屑综合过滤装置包括：碎屑引入部、真空差分部、气体吹扫部、箔阱过滤部、原子氢部、延迟场离子能量分析仪部、石英晶体微天平部、控制和监测系统。本发明的装置通过多种清除机制(真空差分、气体吹扫、箔阱过滤、原子氢反应)相结合，并引入高精度的监测系统(离子能量分析仪、石英晶体微天平)，能够有效过滤和缓解不同类型、不同粒径的碎屑污染。同时，实时的在线监测系统可以根据监测结果及时调节各清除机制的工作状态，实现高效、精准的碎屑清除，延长光刻系统组件的使用寿命，提升光刻效率。
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公开(公告)号：CN118960949A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202410824206.X
申请日：2024-06-25
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明提供一种放电等离子体型光源极紫外光功率的测量装置及方法，包括：对于DPP光源通过电极放电产生从x射线到可见光的宽谱带范围的椭球型光束进行滤波，形成设定谱带范围的光束；采用光谱仪对所述滤波器形成的设定谱带范围的光束进行检测，得到所述光束在谱带范围内的光强分布，通过面积积分计算得到极紫外光在谱带范围内的光功率占比；采用光电探测器将所述滤波器形成的设定谱带范围的光束的光功率信号转变为电流信号，并通过所述光电探测器内的响应曲线计算出在谱带范围内的光束总功率；根据所述光功率占比和所述光束总功率，计算得到极紫外光(13.5nm，±2％)功率。本发明测量结构简单且测量准确度高。
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公开(公告)号：CN118033991A
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202410362653.8
申请日：2024-03-28
Applicant: 上海大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种基于DPP光源的曝光装置和方法，包括：DPP光源、锆膜、多层膜反射镜和线性光栅，其中：DPP光源用于产生EUV光；锆膜过滤所述DPP光源产生的EUV光；所述多层膜反射镜收集所述DPP光源输出的EUV光，进行反射后垂直入射到所述线性光栅上；垂直入射的EUV光经所述线性光栅发生干涉，并达到待曝光的光刻胶，其中，EUV光在光刻胶平面上的强度分布为三角形分布，强度随位置的变化呈线性。本发明能够通过控制曝光剂量来形成小特征的图案，通过控制曝光计量可以得到特征尺寸25纳米以下的周期性图案，优化光刻胶材料有望实现更小的曝光线宽。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118002555A
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202410093397.7
申请日：2024-01-23
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明提供一种用于Z箍缩放电等离子体源的碎屑清除装置及其应用，包括：机械碰撞部，所述机械碰撞部通过碰撞阻扰高、低能量碎屑以及电荷中性碎屑的运动，降低碎屑的射程；气体吹扫部，所述气体吹扫部利用气体分子撞击碎屑并改变其运动轨迹，进行碎屑清除；箔片过滤部，箔片过滤部，所述箔片过滤部进行带外滤光，兼具碎屑过滤作用。本发明采用多种清除机制，在保证极紫外光带内通量的前提下具有良好的碎屑清除与带外滤光性能，保护Mo/Si多涂层收集镜，以满足Z箍缩放电等离子体源功率与转化效率不断提高、曝光时间不断减少的要求。
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公开(公告)号：CN118641029A
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202410869351.X
申请日：2024-07-01
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明提供一种放电等离子型极紫外光源功率的测量装置及测量方法，所述装置包括：滤光片，用于对DPP型光源出光进行带外滤光，形成滤光后的光束，其位于第一真空腔体与第二真空腔体之间；反射镜，位于第二真空腔体内，用于对滤光后的光束进行带内滤光，形成带内极紫外光束；极紫外光电二极管，用于将带内极紫外光束的光信号转变为电流信号；计算模块，用于根据电流信号和极紫外光电二极管的电流‑功率响应曲线，得到特定立体角下DPP型光源的带内极紫外光功率；并根据特定立体角下DPP型光源的极紫外光功率，得到DPP型光源的极紫外光功率。本发明的装置结构简单，易于搭建实验平台，能够准确、快速地测得DPP型光源的极紫外光功率。
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公开(公告)号：CN119292362A
公开(公告)日：2025-01-10
申请号：CN202411406804.1
申请日：2024-10-10
Applicant: 上海大学
IPC: G05D19/02
Abstract: 本发明提供一种基于卡尔曼滤波的平台振动补偿计算、控制方法及系统，包括：根据运动平台的运动状态，提出运动平台振动下的动力学模型，并将其离散化，得到离散下的状态空间方程；利用激光传感器对运动平台的振动信号进行测量，考虑其测量噪声，得到测量方程；通过拓展卡尔曼滤波器，对所述测量方程获得的测量数据和离散且不断迭代的先验状态估计进行数据融合，得到接近真实状态的状态估计值；将所述位移期望值和所述状态估计值作差，确定补偿控制信号用于平台振动补偿。本发明通过卡尔曼滤波器实现先验状态估计与测量值的融合，从而提升系统测量数据的信噪比。
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公开(公告)号：CN118734664A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410799313.1
申请日：2024-06-20
Applicant: 上海大学
Abstract: 本公开提供一种基于辐射碰撞模型的氙等离子体电子温度确定方法，包括：确定稳态近似状态的原子能级的速率方程；确定Z箍缩聚变中氙等离子体中占据主导地位的粒子反应类型；根据氙等离子体中占据主导地位的粒子反应类型和稳态近似状态的原子能级的速率方程，确定氙等离子体的速率平衡方程；确定相邻能级的布居密度比；根据相邻能级的布居密度比，确定简化的氙等离子体的速率平衡方程；确定谱线强度比值；根据简化的氙等离子体的速率平衡方程、谱线强度比值以及预设的Boltzmann方程，确定氙等离子体电子温度。通过本公开，采用相对光强线比法简便的计算Z箍缩条件下氙等离子体的电子温度，减少数据处理量，并提高数据准确率。
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公开(公告)号：CN118483878A
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202410677043.7
申请日：2024-05-29
Applicant: 上海大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种极紫外光收集装置和系统，极紫外光收集装置，包括：球面反射镜组，包括多个球面反射镜，所述球面反射镜组中的每个球面反射镜收集一部分极紫外光源射出的极紫外光线；多个反射镜架，所述球面反射镜固定于所述反射镜架上；驱动机构，所述驱动机构驱动所述反射镜架至指定位置和角度，使得每个所述球面反射镜收集的极紫外光线汇聚于同一个像点处。本发明可以在大幅降低收集用光学元件成本的同时，实现较高的极紫外光收集效率。
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