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公开(公告)号：CN100574905C
公开(公告)日：2009-12-30
申请号：CN200410046441.1
申请日：2004-05-31
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: B08B7/00 , C03C23/00 , H01J61/00 , G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 本发明的目的在于防止或抑制决定光学设备寿命的光学系统的衰减，其中所述光学设备实现例如光线透射、衍射、反射、光谱产生、以及干涉和其组合的效果。采用上述方式，可以降低维修操作频率如窗口更换并降低此操作的成本。本发明的特征在于通过以下步骤实现：具有0.005毫托到20毫托范围的近真空区用于激发碳的氧化反应，所述近真空区面对所述光学系统的所述照明表面；在所述近真空区产生含氧原子离子或基，例如含有氧原子的不稳定的基团如OH基、OH-离子、臭氧、O2-离子、O-基；通过使含氧原子离子或基团与沉积的碳进行反应以消除或减少积聚在所述照明表面的积聚的碳。
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公开(公告)号：CN101656187A
公开(公告)日：2010-02-24
申请号：CN200910170895.2
申请日：2004-05-31
Applicant: 三菱重工业株式会社
Abstract: 本发明的目的在于防止或抑制决定光学设备寿命的光学系统的衰减，其中所述光学设备实现例如光线透射、衍射、反射、光谱产生、以及干涉和其组合的效果。采用上述方式，可以降低维修操作频率如窗口更换并降低此操作的成本。本发明的特征在于通过以下步骤实现：产生具有活性能量存在的近真空区，以激发碳的氧化反应，其中所述近真空区面对所述光学系统的所述光线表面；在所述近真空区产生负离子或基团，例如含有氧原子的不稳定的基团如OH基、OH - 离子、臭氧、O 2 - 离子、O - 基；并通过沉积的碳与负离子或基团进行反应，消除或减少积聚在所述照明表面上的积聚的碳。
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公开(公告)号：CN100458435C
公开(公告)日：2009-02-04
申请号：CN03801491.2
申请日：2003-06-27
Applicant: 三菱重工业株式会社
CPC classification number: H01J49/427 , H01J49/162 , H01J49/424
Abstract: 本发明的化学物质的检测装置(100)具备真空紫外光灯(3)，通过该真空紫外光灯(3)，将废气Gs中的检测对象化学物质离子化。被离子化的检测对象化学物质被封闭在内部形成高频电场的离子捕获装置(10)内。通过SWIFT波形(其包含将与该检测对象化学物质离子的轨道共振频率对应的频率排除的频率成分)提供给离子捕获装置(10)内的离子群能量并除去杂质。然后，通过TICKLE波形(具有对应于检测对象化学物质离子的轨道共振频率的频率成分)给上述离子群提供能量，并将检测对象化学物质的离子碎片化。然后，可通过质量分析计(4)测定该碎片的质量，以鉴定检测对象化学物质。
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公开(公告)号：CN100387492C
公开(公告)日：2008-05-14
申请号：CN02820736.X
申请日：2002-12-11
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: B65D23/02 , C23C16/26 , C23C16/509
Abstract: 一种对塑料容器内面形成碳膜的装置及内面覆盖碳膜的塑料容器的制造方法，其包括：有底筒状外部电极，其具有在插入作为被处理物的塑料容器时，包围除去该容器的口部及肩部的外周的大小；衬套，其由电介质材料构成，在插入了所述容器时，至少设于该容器口部及肩部和所述外部电极之间；排气管，其介由绝缘部件安装在设置所述容器口部的一侧的所述外部电极端面；内部电极，其由所述排气管侧插入所述外部电极内的所述容器内，其插入深度为所述容器的纵向的大致全长，并与接地侧连接，同时，穿设有用于排出介质气体的排气孔；排气装置，其被安装在所述排气管上；气体供给装置，其用于向所述内部电极供给介质气体；高频电源，其被连接在所述外部电极。
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公开(公告)号：CN100564586C
公开(公告)日：2009-12-02
申请号：CN200610094520.9
申请日：2002-12-11
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: C23C16/26 , C23C16/509
Abstract: 一种对塑料容器内面形成碳膜的装置及内面覆盖碳膜的塑料容器的制造方法，其包括：有底筒状外部电极，其具有在插入作为被处理物的塑料容器时，包围除去该容器的口部及肩部的外周的大小；衬套，其由电介质材料构成，在插入了所述容器时，至少设于该容器口部及肩部和所述外部电极之间；排气管，其介由绝缘部件安装在设置所述容器口部的一侧的所述外部电极端面；内部电极，其由所述排气管侧插入所述外部电极内的所述容器内，其插入深度为所述容器的纵向的大致全长，并与接地侧连接，同时，穿设有用于排出介质气体的排气孔；排气装置，其被安装在所述排气管上；气体供给装置，其用于向所述内部电极供给介质气体；高频电源，其被连接在所述外部电极。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1623088A
公开(公告)日：2005-06-01
申请号：CN03801491.2
申请日：2003-06-27
Applicant: 三菱重工业株式会社
CPC classification number: H01J49/427 , H01J49/162 , H01J49/424
Abstract: 本发明的化学物质的检测装置(100)具备真空紫外光灯(3)，通过该真空紫外光灯(3)，将废气Gs中的检测对象化学物质离子化。被离子化的检测对象化学物质被封闭在内部形成高频电场的离子捕获装置(10)内。通过SWIFT波形(其包含将与该检测对象化学物质离子的轨道共振频率对应的频率排除的频率成分)提供给离子捕获装置(10)内的离子群能量并除去杂质。然后，通过TICKLE波形(具有对应于检测对象化学物质离子的轨道共振频率的频率成分)给上述离子群提供能量，并将检测对象化学物质的离子碎片化。然后，可通过质量分析计(4)测定该碎片的质量，以鉴定检测对象化学物质。
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公开(公告)号：CN101808895A
公开(公告)日：2010-08-18
申请号：CN200880108704.3
申请日：2008-09-25
Applicant: 三菱重工业株式会社
CPC classification number: B64D45/02 , F16B33/004 , F16B33/06 , F16B35/06 , F16B37/14
Abstract: 本发明提供一种防雷紧固件，能够可靠地防止航空器飞行中的绝缘体层剥离，且能够提高防止雷击效果及可靠性。防雷紧固件(1)将航空器的外板(10)和位于该外板(10)内侧的结构部件(11)结合，绝缘体层(5)熔融成覆盖头部(3)的一端面，并且与形成于所述一端面的紧固件侧扣合部(扣合部)(7)机械地咬合。
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公开(公告)号：CN101360846A
公开(公告)日：2009-02-04
申请号：CN200780001610.1
申请日：2007-03-20
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: C23C16/505 , C23C16/455 , H05H1/46
CPC classification number: H01J37/32541 , C23C16/4412 , C23C16/45578 , C23C16/509 , H01J37/3244 , H05H1/46 , H05H2001/466
Abstract: 本发明提供一种电极及真空处理装置，其可提高成膜速度，且可提高成膜分布的均匀性。电极的特征在于，具有：沿着被处理基板(3)的面，隔着规定间隔并排延伸的多个电极(17A、17B)；在多个电极(17A、17B)之间，沿着电极(17A、17B)延伸的缓冲室(25)；多个第一喷出口(27)，其沿着电极(17A、17B)延伸的方向设置，向缓冲室(25)内供给反应气体；多个第二喷出口(23)，其形成为在电极(17A、17B)延伸的方向延伸的狭缝状，从缓冲室(25)朝向被处理基板(3)供给反应气体。
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公开(公告)号：CN1869282A
公开(公告)日：2006-11-29
申请号：CN200610094520.9
申请日：2002-12-11
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: C23C16/26 , C23C16/509
Abstract: 一种对塑料容器内面形成碳膜的装置及内面覆盖碳膜的塑料容器的制造方法，其包括：有底筒状外部电极，其具有在插入作为被处理物的塑料容器时，包围除去该容器的口部及肩部的外周的大小；衬套，其由电介质材料构成，在插入了所述容器时，至少设于该容器口部及肩部和所述外部电极之间；排气管，其介由绝缘部件安装在设置所述容器口部的一侧的所述外部电极端面；内部电极，其由所述排气管侧插入所述外部电极内的所述容器内，其插入深度为所述容器的纵向的大致全长，并与接地侧连接，同时，穿设有用于排出介质气体的排气孔；排气装置，其被安装在所述排气管上；气体供给装置，其用于向所述内部电极供给介质气体；高频电源，其被连接在所述外部电极。
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公开(公告)号：CN1697763A
公开(公告)日：2005-11-16
申请号：CN02820736.X
申请日：2002-12-11
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: B65D23/02 , C23C16/26 , C23C16/509
Abstract: 一种对塑料容器内面形成碳膜的装置及内面覆盖碳膜的塑料容器的制造方法，其包括：有底筒状外部电极，其具有在插入作为被处理物的塑料容器时，包围除去该容器的口部及肩部的外周的大小；衬套，其由电介质材料构成，在插入了所述容器时，至少设于该容器口部及肩部和所述外部电极之间；排气管，其介由绝缘部件安装在设置所述容器口部的一侧的所述外部电极端面；内部电极，其由所述排气管侧插入所述外部电极内的所述容器内，其插入深度为所述容器的纵向的大致全长，并与接地侧连接，同时，穿设有用于排出介质气体的排气孔；排气装置，其被安装在所述排气管上；气体供给装置，其用于向所述内部电极供给介质气体；高频电源，其被连接在所述外部电极。
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