公开(公告)号：CN104508172B

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201280075029.5

申请日：2012-11-13

Applicant: 三菱重工业株式会社

Inventor： 重冈伸之

IPC: C23C14/24

CPC classification number: C23C14/24 ,  C23C14/546

Abstract: 本发明提供一种真空蒸镀装置。本发明的真空蒸镀装置具备：蒸发源，其朝向配置有靶的位置配置；蒸发源罩，其包围蒸发源，具有放出蒸镀材料的放出口；防粘板，其配置于蒸发源罩的周围；膜厚传感器，其检测从蒸发源放出的蒸镀材料形成的膜厚；热反射抑制单元，其设置于再反射且能够照射到膜厚传感器的位置，抑制能够照射到膜厚传感器的热。

公开(公告)号：CN104508172A

公开(公告)日：2015-04-08

申请号：CN201280075029.5

申请日：2012-11-13

Applicant: 三菱重工业株式会社

Inventor： 重冈伸之

IPC: C23C14/24

CPC classification number: C23C14/24 ,  C23C14/546

Abstract: 本发明提供一种真空蒸镀装置。本发明的真空蒸镀装置具备：蒸发源，其朝向配置有靶的位置配置；蒸发源罩，其包围蒸发源，具有放出蒸镀材料的放出口；防粘板，其配置于蒸发源罩的周围；膜厚传感器，其检测从蒸发源放出的蒸镀材料形成的膜厚；热反射抑制单元，其设置于再反射且能够照射到膜厚传感器的位置，抑制能够照射到膜厚传感器的热。

公开(公告)号：CN103430631A

公开(公告)日：2013-12-04

申请号：CN201180069210.0

申请日：2011-12-26

Applicant: 三菱重工业株式会社

Inventor： 青井辰史 ,  神纳祐一郎 ,  尾木靖夫 ,  渡部聪 ,  重冈伸之

IPC: H05G2/00 ,  H05G1/00 ,  H05H9/00

CPC classification number: G01V5/0041 ,  H05G1/26 ,  H05G1/32 ,  H05G1/34 ,  H05G2/00

Abstract: 本发明提供一种X射线产生装置以及X射线产生装置的控制方法，目的在于不仅放射多个不同能量的X射线而且抑制已生成的X射线的能量的偏差。X射线检查装置(10)中所具备的X射线产生装置(14)通过由粒子加速装置(20)生成用于产生多个不同能量的X射线的带电粒子束并对靶(22)照射带电粒子束从而放射X射线。单一能量控制装置(40)基于根据由于对靶(22)照射带电粒子束而在靶(22)中流动的电流的测量值以及从靶(22)放射的X射线的射线量的测量值所求取的每单位靶电流的X射线射线量，按不同能量的X射线的每一个来对粒子加速装置(20)进行控制。

公开(公告)号：CN101956163A

公开(公告)日：2011-01-26

申请号：CN201010212691.3

申请日：2010-06-22

Applicant: 三菱重工业株式会社

Inventor： 平野龙也 ,  柳雄二 ,  重冈伸之

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/54

CPC classification number: C23C14/543 ,  C23C14/52

Abstract: 提供了一种真空气相沉积装置，其中作为用于蒸发气相沉积材料的容器的坩埚放置在真空室内部，并且通过使用在所述坩埚中蒸发的气相沉积材料在基板上形成薄膜。该装置包括用于从所述真空室的外部测量所述坩埚中的所述气相沉积材料的体积的测量装置。