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公开(公告)号：CN107430339A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201680017653.8
申请日：2016-03-16
Applicant: 三菱制纸株式会社
CPC classification number: G03F7/031 , C03C15/00 , G03F7/038 , G03F7/0388 , G03F7/039 , G03F7/20 , G03F7/322 , G03F7/40
Abstract: 本发明的课题在于提供对含有高浓度的氢氟酸或氟化铵的蚀刻液的耐性优异的感光性树脂组合物、和利用该感光性树脂组合物的蚀刻方法。感光性树脂组合物，其是在通过含有氢氟酸或氟化铵的蚀刻液进行蚀刻处理的蚀刻方法中使用的感光性树脂组合物，至少包含(A)酸改性环氧丙烯酸酯、(B)光聚合引发剂、(C)封端异氰酸酯化合物和(D)填料；以及，蚀刻方法，在基材的至少单面上形成含有该感光性树脂组合物的感光性树脂层，对感光性树脂层进行曝光后显影，对感光性树脂层进行加热后，通过含有氢氟酸或氟化铵的蚀刻液进行蚀刻处理。
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公开(公告)号：CN117369212A
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202311391186.3
申请日：2016-03-16
Applicant: 三菱制纸株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供对含有高浓度的氢氟酸或氟化铵的蚀刻液的耐性优异的感光性树脂组合物、和利用该感光性树脂组合物的蚀刻方法。感光性树脂组合物，其是在通过含有氢氟酸或氟化铵的蚀刻液进行蚀刻处理的蚀刻方法中使用的感光性树脂组合物，至少包含(A)酸改性环氧丙烯酸酯、(B)光聚合引发剂、(C)封端异氰酸酯化合物和(D)填料；以及，蚀刻方法，在基材的至少单面上形成含有该感光性树脂组合物的感光性树脂层，对感光性树脂层进行曝光后显影，对感光性树脂层进行加热后，通过含有氢氟酸或氟化铵的蚀刻液进行蚀刻处理。
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公开(公告)号：CN113168097A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201980082011.X
申请日：2019-12-13
Applicant: 三菱制纸株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供一种在将正型干膜抗蚀剂贴附于基材后，能够容易地将(a)支撑体膜和(b)剥离层从(c)正型感光性抗蚀剂层与(b)剥离层的界面剥离，另外，在将正型干膜抗蚀剂切割或分切时不易发生破裂的正型干膜抗蚀剂及使用了该正型干膜抗蚀剂的蚀刻方法，通过正型干膜抗蚀剂及使用了该正型干膜抗蚀剂的蚀刻方法，解决了上述课题，所述正型干膜抗蚀剂的特征在于，至少依次层叠有(a)支撑体膜、(b)剥离层和(c)正型感光性抗蚀剂层，(b)剥离层包含聚乙烯醇，并且(c)正型感光性抗蚀剂层包含酚醛树脂和醌二叠氮磺酸酯作为主成分。
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公开(公告)号：CN113168097B
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN201980082011.X
申请日：2019-12-13
Applicant: 三菱制纸株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供一种在将正型干膜抗蚀剂贴附于基材后，能够容易地将(a)支撑体膜和(b)剥离层从(c)正型感光性抗蚀剂层与(b)剥离层的界面剥离，另外，在将正型干膜抗蚀剂切割或分切时不易发生破裂的正型干膜抗蚀剂及使用了该正型干膜抗蚀剂的蚀刻方法，通过正型干膜抗蚀剂及使用了该正型干膜抗蚀剂的蚀刻方法，解决了上述课题，所述正型干膜抗蚀剂的特征在于，至少依次层叠有(a)支撑体膜、(b)剥离层和(c)正型感光性抗蚀剂层，(b)剥离层包含聚乙烯醇，并且(c)正型感光性抗蚀剂层包含酚醛树脂和醌二叠氮磺酸酯作为主成分。
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公开(公告)号：CN112470075A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN201980048740.3
申请日：2019-07-29
Applicant: 三菱制纸株式会社
Abstract: 本发明以提供感光性树脂组合物及使用该感光性树脂组合物的镀敷方法为课题，对于该感光性树脂组合物而言，即使在窄间距的抗蚀剂图案中也容易进行抗蚀剂剥离，并且在图案形成或镀敷工序中，微细的线或点可稳定地保持在基材上，具有高分辨性；通过以下感光性树脂组合物及使用该感光性树脂组合物的镀敷方法及金属图案的制造方法而解决上述课题；该感光性树脂组合物含有(A)碱可溶性树脂、(B)光聚合引发剂及(C)丙烯酸酯单体，相对于(C)丙烯酸酯单体，(D)甲基丙烯酸酯单体的含有率为0质量％～5质量％，作为(C)丙烯酸酯单体含有(C1)环氧乙烷改性季戊四醇四丙烯酸酯(以通式(i)表示、l+m+n+o＝24～48的化合物)，相对于(C)总量，(C1)的含有率为30质量％～70质量％。(i)
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公开(公告)号：CN112384857A
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN201980044443.1
申请日：2019-07-08
Applicant: 三菱制纸株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供对含有15质量％～45质量％的碱金属氢氧化物及5质量％～40质量％的乙醇胺化合物的强碱性蚀刻液的耐性优异的感光性树脂组合物及利用该感光性树脂组合物的蚀刻方法，通过该感光性树脂组合物及利用该感光性树脂组合物的蚀刻方法以及树脂构造体的制造方法解决了所述课题，该感光性树脂组合物至少含有(A)碱可溶性树脂、(B)光聚合引发剂及(C)聚合性单体，含有5～80质量％的通式(i)表示的m+n为2以上且7以下的化合物作为(C)聚合性单体，或者在(A)碱可溶性树脂为苯乙烯及甲基丙烯酸的共聚物时含有通式(i)表示的m+n为2以上且20以下的化合物作为(C)聚合性单体，m+n为2以上且7以下的化合物的含量为80质量％以下。
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公开(公告)号：CN110366705A
公开(公告)日：2019-10-22
申请号：CN201880015877.4
申请日：2018-03-08
Applicant: 三菱制纸株式会社
Abstract: 感光性树脂组合物以及使用所述感光性树脂组合物的蚀刻方法和镀敷方法，所述感光性树脂组合物含有(A)碱可溶性树脂、(B)光聚合引发剂和(C)丙烯酸酯单体，也可进一步含有(D)甲基丙烯酸酯单体，所述(C)丙烯酸酯单体含有(C1)双键当量为250以上的丙烯酸酯单体和(C2)双键当量为150以下的丙烯酸酯单体，相对于所述(C)丙烯酸酯单体，(D)甲基丙烯酸酯单体的含量为0~5质量%，(C1)双键当量为250以上的丙烯酸酯单体的含量为40~60质量%，(C2)双键当量为150以下的丙烯酸酯单体的含量为40~60质量%，相对于感光性树脂组合物，所述(B)光聚合引发剂的含量为0.5~1.5质量%。
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公开(公告)号：CN106154749B
公开(公告)日：2021-10-12
申请号：CN201610311217.3
申请日：2016-05-12
Applicant: 三菱制纸株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供：在具有高耐磨性的同时与被处理物的粘附性高的喷砂用感光性树脂组合物，和使用该喷砂用感光性树脂组合物的喷砂处理方法。本发明涉及喷砂用感光性树脂组合物和使用该喷砂用感光性树脂组合物的喷砂处理方法，所述组合物的特征在于，含有(A)碱可溶性树脂、(B)光聚合引发剂、(C)氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯化合物和(D)环氧(甲基)丙烯酸酯，优选含有(D‑1)单官能环氧(甲基)丙烯酸酯和/或(D‑2)酸改性环氧(甲基)丙烯酸酯作为(D)环氧(甲基)丙烯酸酯。
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公开(公告)号：CN106154749A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201610311217.3
申请日：2016-05-12
Applicant: 三菱制纸株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供：在具有高耐磨性的同时与被处理物的粘附性高的喷砂用感光性树脂组合物，和使用该喷砂用感光性树脂组合物的喷砂处理方法。本发明涉及喷砂用感光性树脂组合物和使用该喷砂用感光性树脂组合物的喷砂处理方法，所述组合物的特征在于，含有(A)碱可溶性树脂、(B)光聚合引发剂、(C)氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯化合物和(D)环氧(甲基)丙烯酸酯，优选含有(D‑1)单官能环氧(甲基)丙烯酸酯和/或(D‑2)酸改性环氧(甲基)丙烯酸酯作为(D)环氧(甲基)丙烯酸酯。
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公开(公告)号：CN211698583U
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201922345300.4
申请日：2019-12-24
Applicant: 三菱制纸株式会社
Abstract: 本实用新型的课题在于提供一种具有高耐喷射性并且在保存时在固化前的感光性树脂层中难以产生褶皱的喷砂用感光性树脂结构体。本实用新型解决课题的技术方案在于以下喷砂用感光性树脂结构体，其为依次层叠有支承体、感光性树脂层、覆盖膜的喷砂用感光性树脂结构体，感光性树脂层包含(A)碱可溶性树脂、(B)光聚合引发剂和(C)氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯化合物，并且，覆盖膜是厚度为50～150μm的聚乙烯膜或聚丙烯膜。
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