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公开(公告)号：CN113168097A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201980082011.X
申请日：2019-12-13
Applicant: 三菱制纸株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供一种在将正型干膜抗蚀剂贴附于基材后，能够容易地将(a)支撑体膜和(b)剥离层从(c)正型感光性抗蚀剂层与(b)剥离层的界面剥离，另外，在将正型干膜抗蚀剂切割或分切时不易发生破裂的正型干膜抗蚀剂及使用了该正型干膜抗蚀剂的蚀刻方法，通过正型干膜抗蚀剂及使用了该正型干膜抗蚀剂的蚀刻方法，解决了上述课题，所述正型干膜抗蚀剂的特征在于，至少依次层叠有(a)支撑体膜、(b)剥离层和(c)正型感光性抗蚀剂层，(b)剥离层包含聚乙烯醇，并且(c)正型感光性抗蚀剂层包含酚醛树脂和醌二叠氮磺酸酯作为主成分。
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公开(公告)号：CN113168097B
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN201980082011.X
申请日：2019-12-13
Applicant: 三菱制纸株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供一种在将正型干膜抗蚀剂贴附于基材后，能够容易地将(a)支撑体膜和(b)剥离层从(c)正型感光性抗蚀剂层与(b)剥离层的界面剥离，另外，在将正型干膜抗蚀剂切割或分切时不易发生破裂的正型干膜抗蚀剂及使用了该正型干膜抗蚀剂的蚀刻方法，通过正型干膜抗蚀剂及使用了该正型干膜抗蚀剂的蚀刻方法，解决了上述课题，所述正型干膜抗蚀剂的特征在于，至少依次层叠有(a)支撑体膜、(b)剥离层和(c)正型感光性抗蚀剂层，(b)剥离层包含聚乙烯醇，并且(c)正型感光性抗蚀剂层包含酚醛树脂和醌二叠氮磺酸酯作为主成分。
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公开(公告)号：CN112470075A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN201980048740.3
申请日：2019-07-29
Applicant: 三菱制纸株式会社
Abstract: 本发明以提供感光性树脂组合物及使用该感光性树脂组合物的镀敷方法为课题，对于该感光性树脂组合物而言，即使在窄间距的抗蚀剂图案中也容易进行抗蚀剂剥离，并且在图案形成或镀敷工序中，微细的线或点可稳定地保持在基材上，具有高分辨性；通过以下感光性树脂组合物及使用该感光性树脂组合物的镀敷方法及金属图案的制造方法而解决上述课题；该感光性树脂组合物含有(A)碱可溶性树脂、(B)光聚合引发剂及(C)丙烯酸酯单体，相对于(C)丙烯酸酯单体，(D)甲基丙烯酸酯单体的含有率为0质量％～5质量％，作为(C)丙烯酸酯单体含有(C1)环氧乙烷改性季戊四醇四丙烯酸酯(以通式(i)表示、l+m+n+o＝24～48的化合物)，相对于(C)总量，(C1)的含有率为30质量％～70质量％。(i)
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