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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101931026B
公开(公告)日：2013-05-15
申请号：CN201010149397.2
申请日：2010-03-31
Applicant: 三洋电机株式会社
Inventor： 兼子一重
CPC classification number: C23C14/568 , C23C14/086 , C23C14/185 , C23C14/205 , H01L31/022425 , H01L31/056 , H01L31/075 , H01L31/076 , H01L31/1824 , H01L31/1884 , H01L31/202 , Y02E10/52 , Y02E10/545 , Y02E10/548 , Y02P70/521
Abstract: 本发明提供一种太阳能电池的制造方法，其能够提高薄膜太阳能电池的背面电极的特性。在该太阳能电池的制造方法中，在薄膜太阳能电池的与光入射侧相反的一侧的面上形成透明电极层和金属层的叠层结构作为背面电极层时，对于一个基板10，使透明电极层的成膜结束的定时和金属层的成膜开始的定时一致。
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公开(公告)号：CN101276783B
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：CN200810087611.9
申请日：2008-03-25
IPC: H01L21/822 , H01L21/768 , H01L21/311
Abstract: 由于在受光部上形成开口部用的抗蚀剂膜上产生裂纹，使得至无意图的部分的层间绝缘膜被蚀刻。为了对此进行防范，将用作蚀刻掩模的抗蚀剂图案的形状作成使应力分散的形状。由于在将抗蚀剂曝光、显影后实施后烘焙而使抗蚀剂固化，产生应力。为使该应力分散，将抗蚀剂图案的开口部形成为没有角的平面形状。因而，本发明提供一种半导体集成电路装置的制造方法。
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公开(公告)号：CN101276783A
公开(公告)日：2008-10-01
申请号：CN200810087611.9
申请日：2008-03-25
IPC: H01L21/822 , H01L21/768 , H01L21/311
Abstract: 由于在受光部上形成开口部用的抗蚀剂膜上产生裂纹，使得至无意图的部分的层间绝缘膜被蚀刻。为了对此进行防范，将用作蚀刻掩模的抗蚀剂图案的形状作成使应力分散的形状。由于在将抗蚀剂曝光、显影后实施后烘焙而使抗蚀剂固化，产生应力。为使该应力分散，将抗蚀剂图案的开口部形成为没有角的平面形状。因而，本发明提供一种半导体集成电路装置的制造方法。
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公开(公告)号：CN101958354A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN201010173089.3
申请日：2010-03-31
Applicant: 三洋电机株式会社
IPC: H01L31/052 , H01L31/18
CPC classification number: H01L31/022425 , H01L31/0463 , H01L31/056 , Y02E10/52
Abstract: 本发明提供一种太阳能电池模块和太阳能电池模块的制造方法。太阳能电池模块包括：透光性基板；在透光性基板上的第一面上形成的太阳能电池；和第一反射部，由与构成太阳能电池的一部分的电极相同的材料形成，设置在透光性基板的第二面上，且反射来自上述基板侧的光。
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公开(公告)号：CN101931026A
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：CN201010149397.2
申请日：2010-03-31
Applicant: 三洋电机株式会社
Inventor： 兼子一重
CPC classification number: C23C14/568 , C23C14/086 , C23C14/185 , C23C14/205 , H01L31/022425 , H01L31/056 , H01L31/075 , H01L31/076 , H01L31/1824 , H01L31/1884 , H01L31/202 , Y02E10/52 , Y02E10/545 , Y02E10/548 , Y02P70/521
Abstract: 本发明提供一种太阳能电池的制造方法，其能够提高薄膜太阳能电池的背面电极的特性。在该太阳能电池的制造方法中，在薄膜太阳能电池的与光入射侧相反的一侧的面上形成透明电极层和金属层的叠层结构作为背面电极层时，对于一个基板10，使透明电极层的成膜结束的定时和金属层的成膜开始的定时一致。
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