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公开(公告)号:CN102197592A
公开(公告)日:2011-09-21
申请号:CN200980142077.X
申请日:2009-10-22
Applicant: 精工爱普生株式会社 , 爱普生拓优科梦株式会社
CPC classification number: H03H9/21 , H03H9/0547 , H03H9/1021 , H03H9/19 , H03H9/215
Abstract: 本发明抑制起因于热弹性效应的Q值劣化。第1槽部(15)的第1深度(d1)和第2槽部(16)的第2深度(d2)小于包括第3面(13)的面与包括第4面(14)的面之间的距离,因而第1槽部(15)和第2槽部(16)不会贯通包括第3面(13)的面与包括第4面(14)的面之间。并且,第1槽部(15)的第1深度(d1)与第2槽部(16)的第2深度(d2)之和大于第3面(13)与第4面(14)之间的距离,因而第1伸缩部(17)(第1面(11))与第2伸缩部(18)(第2面(12))之间的热移动路径不会形成为直线。这样,能够使第1伸缩部(17)(第1面(11))与第2伸缩部(18)(第2面(12))之间的热移动路径在第1槽部(15)和第2槽部(16)中迂回而变长。
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公开(公告)号:CN102176664A
公开(公告)日:2011-09-07
申请号:CN201110082396.5
申请日:2009-02-18
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社
Inventor: 饭泽庆吾
CPC classification number: H03H9/02551 , H03H9/02622 , H03H9/0542
Abstract: 本发明提供声表面波器件及声表面波振荡器。用于形成IDT的压电基板采用石英基板,是以利用表示的欧拉角为(0°,95°≤θ≤155°,33°≤|ψ|≤46°)的切角切取的,在构成IDT的梳齿状电极的电极指之间形成电极指间槽,把由电极指间槽夹持的晶体部分作为电极指座,电极指位于电极指座的上面,在石英基板的表面设置反射器,在声表面波的传播方向夹入IDT,在构成反射器的导体条之间形成导体条间槽,具有由导体条间槽夹持的导体条座和在其上面形成的导体条,在把IDT的阻带上端频率设为ft2、把反射器的阻带下端频率设为fr1、把反射器的阻带上端频率设为fr2时,满足fr1<ft2<fr2。
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公开(公告)号:CN101330282B
公开(公告)日:2011-07-13
申请号:CN200810128618.0
申请日:2008-06-19
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社
Abstract: 一种压电振子及其制造方法以及压电振子用盖。本发明的目的是提供具有难以破损的光透射性窗部件的压电振子用盖。压电振动片具有振动臂和形成在振动臂上的第1及第2金属膜。压电振子用盖具有:具备贯通孔的框体;具备平行的上表面及下表面并位于贯通孔中的光透射性部件,光透射性部件的下表面配置成与第2金属膜相向。贯通孔在表面及背面的至少一方的开口端部,具有通过曲面与表面或背面连接的曲面内壁面,在框体的厚度方向上的一部分具有与表面及背面垂直的垂直内壁面。光透射性部件与垂直内壁面的至少一部分和曲面内壁面的至少一部分紧密接触。
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公开(公告)号:CN101123423B
公开(公告)日:2010-09-08
申请号:CN200710140333.4
申请日:2007-08-09
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社
CPC classification number: H03H9/177 , H03H3/04 , H03H9/02007 , H03H9/02102 , H03H9/0595 , H03H9/19 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供一种AT切割水晶振动片及其制造方法。本发明制造抑制了宽度切变模式的影响并改善了能量捕获效果的AT切割水晶振动片。AT切割水晶振动片具有由AT切割水晶板构成的水晶元件片及在其表面和背面主面设置的一对激励电极,AT切割水晶板构成为在水晶结晶的X轴方向具有长边的矩形,且其长边方向的侧面由作为水晶自然面的m面的第一结晶面和作为m面以外的自然面的第三结晶面两个面形成。水晶元件片的外形加工通过以下方式进行:在AT切割水晶板的表面和背面各面上以在水晶结晶的Z′轴方向彼此错位的方式形成与其外形对应的掩模,并从表面和背面两面进行湿法刻蚀。水晶元件片可形成为由作为激励部的较厚中央部和较薄周边部构成的台形状。
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公开(公告)号:CN100539411C
公开(公告)日:2009-09-09
申请号:CN200580010886.7
申请日:2005-03-08
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社
Abstract: 本发明提供表面声波器件。采用石英基板的表面声波器件具有比常规结构更小的器件尺寸,并且表现出高Q和优异的频率-温度特性。在压电基板(1)上安装有由多个叉指型电极指构成的叉指型电极(2),并且在叉指型电极(2)的两侧上设置有栅状反射器(3a,3b)。压电基板(1)是如下的石英平板:其中,旋转Y切割石英基板的切割角θ被设置在从Z晶轴沿逆时针方向的-64.0°<θ<-49.3°的范围内,表面声波的传播方向被设置为相对于X晶轴成90°±5°,并且受激的声波为SH波。叉指型电极(2)和反射器(3a,3b)由Al或者主要包含Al的合金构成,在λ是表面声波的波长的情况下,按波长标准化的电极膜厚度H/λ被设置在0.04<H/λ<0.12的范围内。
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公开(公告)号:CN101425789A
公开(公告)日:2009-05-06
申请号:CN200810170678.9
申请日:2008-10-30
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社
Inventor: 菊岛正幸
IPC: H03H9/05 , H03H9/215 , G01P15/097
CPC classification number: H01L41/04 , G01P15/0922 , H01L41/047 , H01L41/053 , H03H9/1021 , H03H9/13 , H03H9/19 , H03H9/215
Abstract: 本发明提供他轴灵敏度降低了的压电振动片、安装有该压电振动片的压电振子以及加速度传感器。该压电振动片具有:振动臂(14),其沿第一方向延伸,并被悬臂支撑;基部(12),其悬臂支撑振动臂;以及使振动臂沿与第一方向垂直的第二方向弯曲振动的第一侧面电极膜(36)、第二侧面电极膜(38)、第一内面电极膜(40)、第二内面电极膜(42)、底面电极膜(44)、第一激励电极膜(46)、第二激励电极膜(48)、第三激励电极膜(50)、引出电极膜(52)和连接电极膜(54),其特征在于,振动臂具有调整部,该调整部相对于与第一方向和第二方向垂直的第三方向的弯曲来调整刚性。调整部是从振动臂的朝向第三方向的面的基部侧起沿振动臂的自由端方向设置的槽(26)。
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公开(公告)号:CN101330282A
公开(公告)日:2008-12-24
申请号:CN200810128618.0
申请日:2008-06-19
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社
Abstract: 一种压电振子及其制造方法以及压电振子用盖。本发明的目的是提供具有难以破损的光透射性窗部件的压电振子用盖。压电振动片具有振动臂和形成在振动臂上的第1及第2金属膜。压电振子用盖具有:具备贯通孔的框体;具备平行的上表面及下表面并位于贯通孔中的光透射性部件,光透射性部件的下表面配置成与第2金属膜相向。贯通孔在表面及背面的至少一方的开口端部,具有通过曲面与表面或背面连接的曲面内壁面,在框体的厚度方向上的一部分具有与表面及背面垂直的垂直内壁面。光透射性部件与垂直内壁面的至少一部分和曲面内壁面的至少一部分紧密接触。
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公开(公告)号:CN1953319A
公开(公告)日:2007-04-25
申请号:CN200610137107.6
申请日:2006-10-20
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社
Inventor: 野村记央
CPC classification number: H03B5/368 , H03B2200/0008 , H03B2200/0034
Abstract: 提供一种高频考毕兹振荡电路,该高频考毕兹振荡电路可以在高频频带下使用并且实现低驱动电平的振荡。该高频考毕兹振荡电路具有考毕兹振荡电路和集电极接地放大电路,并具有以下结构,将所述考毕兹振荡电路的输出端子与所述集电极接地放大电路的输入端子连接,将所述集电极接地放大电路的输出反馈给所述考毕兹振荡电路。
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公开(公告)号:CN1848678A
公开(公告)日:2006-10-18
申请号:CN200610003716.2
申请日:2006-02-05
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社
CPC classification number: H03H9/17 , H03H3/04 , H03H9/02149 , H03H9/0552 , H03H9/1021 , H03H2003/0478 , Y10T29/42 , Y10T29/49004 , Y10T29/49146 , Y10T29/49155 , Y10T428/2809
Abstract: 本发明提供压电振动元件、压电振子、压电振荡器和频率稳定方法,在构成为利用硅粘接剂将压电振动元件保持在绝缘容器内的状态下进行气密性密封的压电器件中,可以解决从硅粘接剂释放的硅蒸气成分附着堆积在压电振动元件的金属膜上,使得谐振频率随着时间推移而最终变得低于目标频率的缺陷。一种压电振子,利用导电性接合部件将压电振动元件保持在容器内,该压电振动元件具有由厚度滑动类的压电材料构成的压电基板(20)、和形成于该压电基板面上的金属膜(21),其中,露出于气氛气体中的金属膜表面被通过与具有非键电子对的物质之间的化学吸附而形成的膜(30)覆盖。
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公开(公告)号:CN102197590A
公开(公告)日:2011-09-21
申请号:CN200980141820.X
申请日:2009-10-22
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社
Inventor: 山中国人
CPC classification number: H03H9/02551 , H03H9/0547 , H03H9/14517 , H03H9/14555 , H03H9/1457 , H03H9/14582 , H03H9/25 , H03H9/643
Abstract: 本发明能够提高表面声波谐振器的Q值而使表面声波谐振器小型化。表面声波谐振器(1)在石英基板(11)上设置有IDT(12),该IDT(12)具有激励出表面声波的电极指(12a、12b),其中IDT(12)中的使得机电耦合系数最大的线占有率与使得表面声波的反射最大的线占有率不同,与IDT(12)的端部相比,IDT(12)的中央部具有使得机电耦合系数更大的线占有率,与IDT(12)的中央部相比,IDT(12)的端部具有使得表面声波的反射更大的线占有率。
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