表面声波器件
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100539411C

    公开(公告)日:2009-09-09

    申请号:CN200580010886.7

    申请日:2005-03-08

    Abstract: 本发明提供表面声波器件。采用石英基板的表面声波器件具有比常规结构更小的器件尺寸,并且表现出高Q和优异的频率-温度特性。在压电基板(1)上安装有由多个叉指型电极指构成的叉指型电极(2),并且在叉指型电极(2)的两侧上设置有栅状反射器(3a,3b)。压电基板(1)是如下的石英平板:其中,旋转Y切割石英基板的切割角θ被设置在从Z晶轴沿逆时针方向的-64.0°<θ<-49.3°的范围内,表面声波的传播方向被设置为相对于X晶轴成90°±5°,并且受激的声波为SH波。叉指型电极(2)和反射器(3a,3b)由Al或者主要包含Al的合金构成,在λ是表面声波的波长的情况下,按波长标准化的电极膜厚度H/λ被设置在0.04<H/λ<0.12的范围内。

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