公开(公告)号：CN101425789A

公开(公告)日：2009-05-06

申请号：CN200810170678.9

申请日：2008-10-30

Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社

Inventor： 菊岛正幸

IPC: H03H9/05 ,  H03H9/215 ,  G01P15/097

CPC classification number: H01L41/04 ,  G01P15/0922 ,  H01L41/047 ,  H01L41/053 ,  H03H9/1021 ,  H03H9/13 ,  H03H9/19 ,  H03H9/215

Abstract: 本发明提供他轴灵敏度降低了的压电振动片、安装有该压电振动片的压电振子以及加速度传感器。该压电振动片具有：振动臂(14)，其沿第一方向延伸，并被悬臂支撑；基部(12)，其悬臂支撑振动臂；以及使振动臂沿与第一方向垂直的第二方向弯曲振动的第一侧面电极膜(36)、第二侧面电极膜(38)、第一内面电极膜(40)、第二内面电极膜(42)、底面电极膜(44)、第一激励电极膜(46)、第二激励电极膜(48)、第三激励电极膜(50)、引出电极膜(52)和连接电极膜(54)，其特征在于，振动臂具有调整部，该调整部相对于与第一方向和第二方向垂直的第三方向的弯曲来调整刚性。调整部是从振动臂的朝向第三方向的面的基部侧起沿振动臂的自由端方向设置的槽(26)。