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公开(公告)号：CN102197592A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN200980142077.X
申请日：2009-10-22
Applicant: 精工爱普生株式会社 , 爱普生拓优科梦株式会社
CPC classification number: H03H9/21 , H03H9/0547 , H03H9/1021 , H03H9/19 , H03H9/215
Abstract: 本发明抑制起因于热弹性效应的Q值劣化。第1槽部(15)的第1深度(d1)和第2槽部(16)的第2深度(d2)小于包括第3面(13)的面与包括第4面(14)的面之间的距离，因而第1槽部(15)和第2槽部(16)不会贯通包括第3面(13)的面与包括第4面(14)的面之间。并且，第1槽部(15)的第1深度(d1)与第2槽部(16)的第2深度(d2)之和大于第3面(13)与第4面(14)之间的距离，因而第1伸缩部(17)(第1面(11))与第2伸缩部(18)(第2面(12))之间的热移动路径不会形成为直线。这样，能够使第1伸缩部(17)(第1面(11))与第2伸缩部(18)(第2面(12))之间的热移动路径在第1槽部(15)和第2槽部(16)中迂回而变长。
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公开(公告)号：CN101807897A
公开(公告)日：2010-08-18
申请号：CN201010115312.9
申请日：2010-02-11
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社 , 精工爱普生株式会社
IPC: H03H9/205
CPC classification number: H03H9/21 , H03H9/0509 , H03H9/1021
Abstract: 本发明提供振动片和振子。利用振动片的正面和背面来配置配线，容易实现振动片的小型化。该振动片具有：下部电极(21，22，23)，其设置在振动臂(11，12，13)的在厚度方向上相对的第1面(16a)和第2面(16b)中的第1面(16a)上；压电膜(31，32，33)，其形成在下部电极(21，22，23)的上方；上部电极(51，52，53)，其形成在下部电极(21，22，23)和压电膜(31，32，33)的上方；配线(28，58)，其与下部电极(21，22，23)和上部电极(51，52，53)连接，与上部电极(51，52，53)连接的配线(58)以围住振动臂(11，12，13)的方式经由振动臂(11，12，13)的侧面被引出至振动臂(11，12，13)的第2面(16b)。
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公开(公告)号：CN101488731B
公开(公告)日：2011-10-05
申请号：CN200910001307.2
申请日：2009-01-04
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社
IPC: H03H3/04
CPC classification number: H03H9/1021 , H03H3/04 , H03H9/21 , Y10T29/42 , Y10T29/49005 , Y10T29/49155 , Y10T29/49574
Abstract: 本发明涉及一种振动片的制造方法和振子的制造方法。在该振动片和振子的制造方法中准备支撑体(10)，该支撑体(10)具有彼此背向相对来确定厚度的第一及第二表面(12、14)，并包括基部(16)和从基部(16)并排延伸且与厚度方向正交的多个臂部(18)。支撑体(10)构成为：在多个臂部(18)各自的第一表面(12)上形成有下部电极膜(20)，在下部电极膜(20)上形成有压电膜(22)，在压电膜(22)上形成有上部电极膜(26)，多个臂部(18)各自的至少一部分在第二表面(14)具有露出区域(30)。对第二表面(14)的露出区域(30)进行蚀刻。通过蚀刻降低厚度，使多个臂部(18)容易沿厚度方向弯曲。
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公开(公告)号：CN101488731A
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN200910001307.2
申请日：2009-01-04
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社
IPC: H03H3/04
CPC classification number: H03H9/1021 , H03H3/04 , H03H9/21 , Y10T29/42 , Y10T29/49005 , Y10T29/49155 , Y10T29/49574
Abstract: 本发明涉及一种振动片的制造方法和振子的制造方法。在该振动片和振子的制造方法中准备支撑体(10)，该支撑体(10)具有彼此背向相对来确定厚度的第一及第二表面(12、14)，并包括基部(16)和从基部(16)并排延伸且与厚度方向正交的多个臂部(18)。支撑体(10)构成为：在多个臂部(18)各自的第一表面(12)上形成有下部电极膜(20)，在下部电极膜(20)上形成有压电膜(22)，在压电膜(22)上形成有上部电极膜(26)，多个臂部(18)各自的至少一部分在第二表面(14)具有露出区域(30)。对第二表面(14)的露出区域(30)进行蚀刻。通过蚀刻降低厚度，使多个臂部(18)容易沿厚度方向弯曲。
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公开(公告)号：CN102064790A
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN201010597292.3
申请日：2009-01-04
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社
CPC classification number: H03H9/1021 , H03H3/04 , H03H9/21 , Y10T29/42 , Y10T29/49005 , Y10T29/49155 , Y10T29/49574
Abstract: 本发明涉及一种振动片的制造方法和振子的制造方法。在该振动片和振子的制造方法中准备支撑体(10)，该支撑体(10)具有彼此背向相对来确定厚度的第一及第二表面(12、14)，并包括基部(16)和从基部(16)并排延伸且与厚度方向正交的多个臂部(18)。支撑体(10)构成为：在多个臂部(18)各自的第一表面(12)上形成有下部电极膜(20)，在下部电极膜(20)上形成有压电膜(22)，在压电膜(22)上形成有上部电极膜(26)，多个臂部(18)各自的至少一部分在第二表面(14)具有露出区域(30)。对第二表面(14)的露出区域(30)进行蚀刻。通过蚀刻降低厚度，使多个臂部(18)容易沿厚度方向弯曲。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102006024A
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：CN201010597294.2
申请日：2009-01-04
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社
IPC: H03H3/02
CPC classification number: H03H9/1021 , H03H3/04 , H03H9/21 , Y10T29/42 , Y10T29/49005 , Y10T29/49155 , Y10T29/49574
Abstract: 本发明涉及一种振动片的制造方法和振子的制造方法。在该振动片和振子的制造方法中准备支撑体(10)，该支撑体(10)具有彼此背向相对来确定厚度的第一及第二表面(12、14)，并包括基部(16)和从基部(16)并排延伸且与厚度方向正交的多个臂部(18)。支撑体(10)构成为：在多个臂部(18)各自的第一表面(12)上形成有下部电极膜(20)，在下部电极膜(20)上形成有压电膜(22)，在压电膜(22)上形成有上部电极膜(26)，多个臂部(18)各自的至少一部分在第二表面(14)具有露出区域(30)。对第二表面(14)的露出区域(30)进行蚀刻。通过蚀刻降低厚度，使多个臂部(18)容易沿厚度方向弯曲。
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公开(公告)号：CN116804845A
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN202310280360.0
申请日：2023-03-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 舟川刚夫
Abstract: 钟表用部件、钟表用机芯以及钟表。颜色的表现范围较宽、装饰性优异。钟表用部件具有：基材，其以硅为主成分；以及光反射层，其是在所述基材上依次层叠第1氧化硅层、硅层和第2氧化硅层而成的，在俯视所述光反射层时，所述光反射层具有第1区域和第2区域，所述第1氧化硅层在所述第1区域中的厚度与在所述第2区域中的厚度、或者所述第2氧化硅层在所述第1区域中的厚度与在所述第2区域中的厚度中的至少一方不同。
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公开(公告)号：CN112241119A
公开(公告)日：2021-01-19
申请号：CN202010672646.X
申请日：2020-07-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 舟川刚夫
Abstract: 提供钟表用部件、钟表用机芯以及钟表，其装饰性优异。例如，作为钟表用部件的擒纵齿轮部(100)具有：基材(8)，其以硅为主成分；以及光反射层(10A)，其是在基材(8)上依次层叠第1氧化硅层(2)、硅层(4)以及第2氧化硅层(6)而成的，在俯视观察光反射层(10A)时，光反射层(10A)具有第1区域(F1)和第2区域(F2)，第1区域(F1)中的硅层(4)的厚度(D41)与第2区域(F2)中的硅层(4)的厚度(D42)不同。
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公开(公告)号：CN102914867A
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201210417785.3
申请日：2009-12-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02B26/00
CPC classification number: G02B26/001 , G02B5/284
Abstract: 提供一种滤光器及具备该滤光器的光学模块，即使在使反光镜间的间隙可变的情况下，也能够取出分光特性优异的光，而且能够不使取出的光的分光特性降低地良好地进行维持。本发明的滤光器(1)特征在于具有第一基板(2)、形成于所述第一基板(2)的第一反光镜(4A)、与所述第一基板(2)接合或粘结且形成有凹部(5)的第二基板(3)、形成于所述第二基板(3)的所述凹部(5)且形成在与所述第一反光镜(4A)对置的位置的第二反光镜(4B)、形成于所述第一基板(2)且形成在所述第一反光镜(4A)的周围的第一电极(6A)和形成于所述第二基板(3)且形成在与所述第一电极(6A)对置的位置的第二电极(6B)，所述第一基板(2)具有位于所述第一反光镜(4A)上的第一部分、位于所述第一部分的周围的第二部分(9)、位于所述第二部分的周围的第三部分和位于所述第三部分的周围的第四部分(8)，所述第二部分(9)的厚度和所述第四部分(8)的厚度比所述第一部分的厚度小。
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公开(公告)号：CN102902061B
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201210418067.8
申请日：2009-12-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02B26/00
CPC classification number: G02B26/001 , G02B5/284
Abstract: 提供一种滤光器及具备该滤光器的光学模块，即使在使反光镜间的间隙可变的情况下，也能够取出分光特性优异的光，而且能够不使取出的光的分光特性降低地良好地进行维持。本发明的滤光器(1)特征在于具有第一基板(2)、形成于所述第一基板(2)的第一反光镜(4A)、与所述第一基板(2)接合或粘结且形成有凹部(5)的第二基板(3)、形成于所述第二基板(3)的所述凹部(5)且形成在与所述第一反光镜(4A)对置的位置的第二反光镜(4B)、形成于所述第一基板(2)且形成在所述第一反光镜(4A)的周围的第一电极(6A)和形成于所述第二基板(3)且形成在与所述第一电极(6A)对置的位置的第二电极(6B)，所述第一基板(2)具有位于所述第一反光镜(4A)上的第一部分、位于所述第一部分的周围的第二部分(9)、位于所述第二部分的周围的第三部分和位于所述第三部分的周围的第四部分(8)，所述第二部分(9)的厚度和所述第四部分(8)的厚度比所述第一部分的厚度小。
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