一种在金属材料表面沉积氧化镍薄膜的方法

    公开(公告)号:CN107513686A

    公开(公告)日:2017-12-26

    申请号:CN201710707697.X

    申请日:2017-08-17

    Inventor: 张美红

    Abstract: 本发明公开了一种在金属材料表面沉积氧化镍薄膜的方法,包括如下步骤:a:将金属材料表面进行抛光、清洗等预处理;b:将金属材料置于绝缘夹具中进行绝缘处理;c:将金属材料进行电镀处理,形成锌过渡层;d:电镀后,将绝缘夹具松懈取下;e:将金属材料实施共溅射处理,利用氧化镍靶在锌过渡层上沉积氧化镍薄膜;f:将沉积有氧化镍薄膜的金属材料焙烧、保温、冷却,即得。本发明金属材料在电沉积陶瓷薄膜前,采用电镀锌的方式在金属表面形成锌过渡层打底,克服金属材料与陶瓷薄膜的结合力弱、薄膜易剥落失效等弊端,且氧化镍薄膜能够显著增强金属材料的缓冲力度,减磨效果显著,而且工艺简单,产业化成本低,利于提高经济和社会效益。

    一种Ti掺杂CoSb3热电薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN107460443A

    公开(公告)日:2017-12-12

    申请号:CN201710646626.3

    申请日:2017-08-01

    Applicant: 深圳大学

    CPC classification number: C23C14/3464 C23C14/025 C23C14/165 C23C14/185

    Abstract: 本发明公开一种Ti掺杂CoSb3热电薄膜及其制备方法,方法包括步骤:选择纯度为99.99%的Ti靶材和纯度为99.99%的CoSb3靶材作为原料,将Ti靶材和CoSb3靶材分别置于溅射系统的工位靶材架上;将溅射系统本底真空度抽至8.0×10-4 Pa,通入惰性气体,将所述溅射系统的压强控制在0.4Pa及以下;采用溅射沉积方法首先在基板上沉积Ti薄膜,然后在Ti薄膜上沉积CoSb3薄膜;将上述沉积好的薄膜进行热处理,得到Ti掺杂CoSb3热电薄膜。本发明可通过控制Ti薄膜厚度的方式,实现Ti的掺杂量的有效控制;通过控制制备参量,调控薄膜的纳米结构尺度,实现薄膜热电性能的大幅度提高。

    复合镀金薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN107313013A

    公开(公告)日:2017-11-03

    申请号:CN201710482095.9

    申请日:2017-06-22

    Inventor: 王强

    Abstract: 本发明涉及一种复合镀金薄膜及其制备方法。该复合镀金薄膜包括:层叠于基材表面的金属打底层;层叠于所述金属打底层之上的第一过渡层,该第一过渡层的材料为TiN/TiCN;层叠于所述第一过渡层之上的第二过渡层,该第二过渡层的材料为TiN/Au;层叠于所述第二过渡层之上的镀金层。本发明的复合镀金薄膜,能够较现有技术显著提高镀金层与其余层之间的结合力,不易磨损,经测试具有高亮度、耐温、耐腐蚀、耐磨的优点,满足对镀金薄膜性能和色彩两方面的要求。

    高功率脉冲磁控溅射CrAlSiN纳米复合涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN107130222A

    公开(公告)日:2017-09-05

    申请号:CN201710518517.3

    申请日:2017-06-30

    CPC classification number: C23C14/352 C23C14/022 C23C14/025 C23C14/0641

    Abstract: 本发明涉及一种纳米复合涂层及其制备技术,具体地说是一种CrAlSiN纳米复合涂层的制备工艺。采用高功率脉冲与直流脉冲共溅射技术在金属或硬质合金基体上制备CrAlSiN纳米复合涂层。选用纯金属Cr、Al和Si(纯度均为99.99 wt.%)作为靶材,其中,高功率脉冲选用Cr靶,直流脉冲溅射选用Al靶和Si靶。镀膜前先通入Ar气,采用‑800 V偏压,对基片进行辉光清洗10~30 min。随后开启三个靶材,对基体和靶材表面进行轰击清洗,并逐渐降低偏压至‑30~100V。关闭Al靶和Si靶,沉积纯Cr过渡层10~40min。通入反应气体N2,并开启Al靶和Si靶,沉积CrAlSiN涂层120~360 min。本发明涉及的CrAlSiN纳米复合涂层综合性能好,制备工艺简单,成分可控,重复性好,容易工业化生产。

    一种纳米复合锆铝铬氮化物刀具涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN107119257A

    公开(公告)日:2017-09-01

    申请号:CN201710556278.0

    申请日:2017-07-10

    CPC classification number: C23C14/0641 C23C14/0036 C23C14/025 C23C14/3464

    Abstract: 本发明属于金属表面涂层技术领域,公开了一种在WC/CO硬质合金基体上沉积纳米复合锆铝铬氮化物涂层及其制备方法。本发明所述的锆铝铬氮化物涂层分为两层,一层为Cr/CrN打底层,厚度为100~400纳米;一层为纳米复合锆铝铬氮化物涂层,厚度为2.8~3.4微米;涂层总厚度为2.9~3.8微米。本发明所述的涂层采用多弧离子镀技术沉积。涂层中含有锆、铝、铬和氮四种元素,涂层显微硬度达到34.6GPa,耐高温氧化温度可达1260℃,划痕法测得涂层与基体见的结合力可达120N。通过本发明制备的硬质合金刀具有较高的膜基结合力,可实现对高硬度的金属材料进行高速干切削。

Patent Agency Ranking