公开(公告)号：CN101355056A

公开(公告)日：2009-01-28

申请号：CN200810134043.3

申请日：2008-07-22

Applicant: 三星电子株式会社 ,  株式会社东进世美肯

Inventor： 姜勋 ,  金载星 ,  郑壤镐 ,  李羲国 ,  金柄郁 ,  尹赫敏 ,  吕泰勋 ,  崔相角

IPC: H01L21/84 ,  H01L21/768 ,  G03F7/027 ,  G03F7/039 ,  G03F7/016 ,  G03F7/021

CPC classification number: H01L27/1288 ,  H01L27/1214

Abstract: 本发明涉及制造薄膜晶体管基板的方法和用在该基板中的感光组合物。公开了一种制造具有高的感光度、耐热性、抗冲击性的薄膜晶体管基板的方法以及为其所用的感光组合物，该方法包括在绝缘基板上形成数据线路，通过涂布感光组合物而在数据线路上形成有机绝缘膜，该感光组合物包含三元共聚物，其中该三元共聚物得自以下单体：不饱和羧酸、不饱和羧酸酐、或其混合物，不饱和的含有环氧基团的化合物、以及烯属化合物。

公开(公告)号：CN100445846C

公开(公告)日：2008-12-24

申请号：CN200510090789.5

申请日：2002-08-20

Applicant: 株式会社东进世美肯

Inventor： 金柄郁 ,  赵俊衍 ,  权京一 ,  朴洙晶 ,  俞载元

IPC: G02F1/1339 ,  G03F7/022

CPC classification number: G03F7/027 ,  G03F7/023 ,  G03F7/038

Abstract: 本发明涉及一种用作光刻胶的感光树脂组合物，特别涉及一种用于光刻胶的感光树脂组合物，该组合物包括：通过选择使用特定的化合物或控制未反应单体的比例以获得的丙烯酸酯共聚物，和1，2-二叠氮醌化物。该组合物在几方面性能优异，如：介电特性、平滑度、透明性、显影性能、残膜率、耐化学品性和耐热性，以及灵敏度和分辨率。特别是它促进夹层电介质中的图案易于形成，此外，由于甚至在制为厚膜时仍具有优异的透射率，它可在LCD制造过程中用作光刻胶。

公开(公告)号：CN101071266A

公开(公告)日：2007-11-14

申请号：CN200710096933.5

申请日：2007-04-19

Applicant: 株式会社东进世美肯

Inventor： 金东敏 ,  金柄郁 ,  朴大然 ,  金周赫 ,  崔基植 ,  金贞元 ,  李起范 ,  卞哲基 ,  金纹秀 ,  金炳厚 ,  边滋勋 ,  申在浩

IPC: G03F7/016 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明涉及一种适于制造液晶显示装置的电路、半导体集成电路等微细电路的光致抗蚀剂组合物，具体涉及一种包含由下述化学式1表示的酚醛清漆树脂、重氮类感光性化合物、有机溶剂的光致抗蚀剂组合物。上述化学式1中，R表示氢、羟基或甲基，n是3至20的整数。本发明的光致抗蚀剂组合物，由于加入了酚醛清漆树脂，具有优异的耐热性及分辨率，且可提高图案均匀性。所述酚醛清漆树脂由芳香族醇聚合而成，所述芳香族醇包含间甲酚、对甲酚、间苯二酚。