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公开(公告)号：CN101355056A
公开(公告)日：2009-01-28
申请号：CN200810134043.3
申请日：2008-07-22
CPC classification number: H01L27/1288 , H01L27/1214
Abstract: 本发明涉及制造薄膜晶体管基板的方法和用在该基板中的感光组合物。公开了一种制造具有高的感光度、耐热性、抗冲击性的薄膜晶体管基板的方法以及为其所用的感光组合物，该方法包括在绝缘基板上形成数据线路，通过涂布感光组合物而在数据线路上形成有机绝缘膜，该感光组合物包含三元共聚物，其中该三元共聚物得自以下单体：不饱和羧酸、不饱和羧酸酐、或其混合物，不饱和的含有环氧基团的化合物、以及烯属化合物。
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公开(公告)号：CN108572516B
公开(公告)日：2023-10-17
申请号：CN201810195286.1
申请日：2018-03-09
Applicant: 株式会社东进世美肯
Abstract: 本发明涉及正型感光性树脂组合物、显示器件及其图案形成方法，更详细地，涉及包含a)下述化学式1或化学式2的1，2‑醌二叠氮化合物；b)丙烯酸类共聚物；c)硅烷偶联剂；以及d)溶剂的正型感光性树脂组合物，所述化学式1的R1、化学式2的R3分别独立地为氢原子或1，2‑醌二叠氮类磺酸酯，化学式1的R2、化学式2的R4分别独立地表示氢原子或碳数为1至20的烃基，所述R1、R3中的至少一个为1，2‑醌二叠氮类磺酸酯。化学式1：#imgabs0#化学式2：#imgabs1#
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公开(公告)号：CN105759568B
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN201510940417.0
申请日：2015-12-16
Abstract: 阳性光敏硅氧烷树脂组合物包括：a)通过在催化剂下进行i)至少一种由下列化学式1表示的反应性硅烷和ii)至少一种由下列化学式2表示的4‑官能反应性硅烷的水解和缩合聚合而获得的硅氧烷类共聚物，所述共聚物具有1,000至20,000的聚苯乙烯转换的重均分子量Mw；b)1,2‑二叠氮醌化合物；和c)溶剂，(R1)nSi(R2)4‑n [化学式1]Si(R3)4 [化学式2]其中R1可各自独立地为具有1至10个碳原子的烷基和具有6至15个碳原子的芳基中的任一种，R2可以各自独立地为具有1至4个碳原子的烷氧基、苯氧基和乙酰氧基中的任一种，R3可各自独立地为具有1至4个碳原子的烷氧基、苯氧基和乙酰氧基中的任一种，且n可以为1至3的自然数。
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公开(公告)号：CN105190782B
公开(公告)日：2017-07-21
申请号：CN201480020441.6
申请日：2014-04-07
Applicant: 株式会社东进世美肯
Abstract: 本发明涉及负型感光性有机‑无机混合绝缘膜组合物，根据本发明的负型感光性有机‑无机混合绝缘膜组合物可通过将以往的SiNx钝化(Passivation)/丙烯酸系感光性有机绝缘膜的双层结构形成为单层(layer)来实现工序简化和生产费用降低，不仅灵敏度、分辨率、工艺窗口、透明性、耐热变色性、平坦度等性能优异，尤其能够实现低电容率绝缘膜，从而能够降低耗电，并且能够消除残影、串扰(Crosstalk)和阈值电压的位移(Shift)现象。此外，由于以优异的耐热性而能够实现低脱气(Outgassing)，因此能够确保优异的面板(Panel)可靠性。由此，在多种多样的显示器中不仅能够有效地用于钝化绝缘膜、栅极绝缘膜，还能够用于平坦化膜等。
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公开(公告)号：CN102576192B
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN201080048213.1
申请日：2010-10-21
Applicant: 株式会社东进世美肯
CPC classification number: G03F7/0007 , G03F7/0233
Abstract: 本发明涉及感光性树脂组合物，特别是涉及一种感光性树脂组合物，其为用于形成层间有机绝缘膜的正型感光性树脂组合物，其特征在于，含有选自a)UV稳定剂、b)自由基清除剂、以及c)抗氧化剂中的1种以上的化合物。本发明的感光性树脂组合物用作TFT-LCD的层间有机绝缘膜，不仅能在光取向用液晶工序中进行过渡曝光时改善液晶变形现象，而且容易调节图案的分辨率，特别适合层间有机绝缘膜的平坦化膜形成。
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公开(公告)号：CN108572516A
公开(公告)日：2018-09-25
申请号：CN201810195286.1
申请日：2018-03-09
Applicant: 株式会社东进世美肯
CPC classification number: G03F7/039 , G03F7/008 , G03F7/0751 , G03F7/0755
Abstract: 本发明涉及正型感光性树脂组合物、显示器件及其图案形成方法，更详细地，涉及包含a)下述化学式1或化学式2的1，2-醌二叠氮化合物；b)丙烯酸类共聚物；c)硅烷偶联剂；以及d)溶剂的正型感光性树脂组合物，所述化学式1的R1、化学式2的R3分别独立地为氢原子或1，2-醌二叠氮类磺酸酯，化学式1的R2、化学式2的R4分别独立地表示氢原子或碳数为1至20的烃基，所述R1、R3中的至少一个为1，2-醌二叠氮类磺酸酯。化学式1： 化学式2：
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公开(公告)号：CN107533293A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201680023800.2
申请日：2016-05-02
Applicant: 株式会社东进世美肯
Abstract: 根据本发明的一实施例的正型感光性树脂组合物包含a)下述化学式1所表示的共聚物、b‑1)肟系光产酸剂、b‑2)三嗪系光产酸剂、c)有机碱、及d)溶剂。下述化学式1中，下述R1为缩醛和缩酮中的任一种，下述x+y+z＝1。
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公开(公告)号：CN101315521B
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN200810109365.2
申请日：2008-06-02
Applicant: 株式会社东进世美肯
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物，该感光性树脂组合物能够实现显影后的平整度、分辨率、耐热性、透过率等性能优异的有机绝缘膜，特别是能够实现高灵敏度的有机绝缘膜，由此通过缩短工序时间而能够提高生产率，不仅如此，同时该感光性树脂组合物能够使膜柔软而提高耐冲击性。本发明涉及感光性树脂组合物，特别是涉及一种感光性树脂组合物，其特征在于，该感光性树脂组合物包含0.1重量％～10重量％的选自由邻苯二甲酸二辛酯、邻苯二甲酸二异壬酯、己二酸二辛酯、磷酸三甲苯酯以及2，2，4-三甲基-1，3-戊二醇单异丁酸酯组成的组中的一种以上的化合物作为灵敏度增强剂。
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公开(公告)号：CN102576192A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201080048213.1
申请日：2010-10-21
Applicant: 株式会社东进世美肯
CPC classification number: G03F7/0007 , G03F7/0233
Abstract: 本发明涉及感光性树脂组合物，特别是涉及一种感光性树脂组合物，其为用于形成层间有机绝缘膜的正型感光性树脂组合物，其特征在于，含有选自a)UV稳定剂、b)自由基清除剂、以及c)抗氧化剂中的1种以上的化合物。本发明的感光性树脂组合物用作TFT-LCD的层间有机绝缘膜，不仅能在光取向用液晶工序中进行过渡曝光时改善液晶变形现象，而且容易调节图案的分辨率，特别适合层间有机绝缘膜的平坦化膜形成。
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