-
公开(公告)号：CN104698222A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201510083131.5
申请日：2015-02-15
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明公开一种三轴单片集成谐振电容式硅微加速度计，包括玻璃基底以及键合锚点悬浮设置于玻璃基底表面中心位置的主结构；主结构包括敏感质量块框、安装于敏感质量块框中心位置的两个扭摆式质量块、电容梳齿组和四个谐振器；两个扭摆式质量块纵向排列放置，且每个扭摆式质量块均由两个质量摆横向连接构成，且每个扭摆式质量块的左右两侧分别设置有电容梳齿组；四个谐振器分别通过杠杆机构安装于敏感质量块框四个顶角的外侧；玻璃基底上设有与主结构电极相连的信号引线。本发明在X、Y、Z三个方向的加速度测量时均进行了差分输出，提高检测精度，并且X、Y轴采用谐振式，Z轴采用电容式成本低，本发明中的加工方法简单可大批量生产。
-
公开(公告)号：CN102692220A
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：CN201210161550.2
申请日：2012-06-29
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种硅基三平衡环动调陀螺转子体结构，包括一个内环、一个转子和三个独立的平衡环，所述内环、转子和平衡环均为空心圆柱体结构，所述内环与电机转子体固定连接，且设置在转子内，所述平衡环设置在内环和转子之间，并且通过内扭杆、外扭杆分别与内环、转子连接。本发明还公开了一种硅基三平衡环动调陀螺转子体结构的加工方法。本发明硅基三平衡环动调陀螺转子体结构能有效的消去单平衡环2倍频角振动带来的影响，可以提高陀螺精度，且没有双平衡环对平衡环和扭杆制造要求的那么苛刻。
-
公开(公告)号：CN118566578A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202410603315.9
申请日：2024-05-15
Applicant: 东南大学
IPC: G01R23/10
Abstract: 本发明公开了一种基于FPGA和TDC的高精度频率检测方法，采用FPGA和TDC；其中，FPGA产生预设闸门信号，通过预设闸门和被测信号控制实际闸门，在实际闸门时间内，对被测信号与标准信号进行计数，并与TDC芯片进行通信，在实际闸门关闭后，继续对标准信号进行计数并再次与TDC芯片通信。通过TDC芯片产生的输出信号与标准信号与被测信号的计数器值进行计算，从而得到被测信号频率值。本发明的有益效果在于，此方法的测频误差远小于现有技术的测频误差。
-
公开(公告)号：CN114459450B
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202210157961.8
申请日：2022-02-21
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5663 , B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种基于静电驱动新型MOEMS陀螺仪及其加工方法，MOEMS陀螺仪包括器件层、金属引线层和衬底层，金属引线层介于器件层和衬底层之间。器件层包括机械模块、静电驱动模块、光学敏感模块和支撑框架。其中机械模块由质量块、驱动弹簧梁、敏感弹簧梁和解耦框架构成；静电驱动模块由两组驱动梳齿结构组成；光学敏感模块主要由集成波导、二维光子晶体和机械敏感单元组成；质量块在静电力驱动下沿着驱动轴方向振动，在外加角速度下使机械敏感单元发生位移变化，通过光信号进入集成波导经过二维光子晶体耦合入机械敏感单元，检测输出集成波导出射的光信号变化。本发明结构集成度高、封装尺寸小、低功耗、易于制造和易于携带等特点。
-
公开(公告)号：CN112504258B
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202011221187.X
申请日：2020-11-05
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5684 , G01C19/5776
Abstract: 本发明公开了一种基于全角模式的石英半球谐振陀螺自适应控制电路及方法，该控制电路包括石英半球谐振陀螺罩子及套装在所述石英半球谐振陀螺罩子里面的石英半球谐振陀螺，所述石英半球谐振陀螺周围均匀间隔布置有检测电极和反馈电极，所述检测电极连接模拟环形二极管放大滤波电路，所述模拟环形二极管放大滤波电路连接ADC模数转换电路，所述ADC数模转换电路连接可编程逻辑门阵列及数字控制电路，所述数字控制电路连接DAC数模转换电路，所述DAC数模转换电路连接信号反馈控制电路，所述信号反馈控制电路连接所述的反馈电极，该电路结构具有稳定性好、准确性高、精度高、体积小、易于集成等特点。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113978719A
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN202111339503.8
申请日：2021-11-12
Applicant: 东南大学
IPC: B64C33/02 , C22C19/03 , B22F9/08 , B22F10/28 , B22F10/64 , B33Y10/00 , B33Y70/00 , B33Y80/00 , C22F1/10
Abstract: 本发明公开了一种基于形状记忆合金的翅翼作动器及其加工方法，本发明的基于形状记忆合金的翅翼作动器包括翅翼作动器框架、用于给所述翅翼作动器框架供电的电源以及控制电路通断的开关器；所述翅翼作动器框架由若干线条形镍钛形状记忆合金、若干弧条形镍钛形状记忆合金构成含有不同形状网格结构的翅翼作动器框架，且每个线条形镍钛形状记忆合金和弧条形镍钛形状记忆合金的宽度和厚度完全一致。通过外加电来调控翅翼作动器的内部电阻热量，进而有效地控制翅翼作动器变形情况。本发明翅翼作动器框架易于设计，体积小，重量轻，易于控制，加工方法效率高等优势，在军用和民用中潜在广泛的应用前景。
-
公开(公告)号：CN110491824B
公开(公告)日：2021-10-19
申请号：CN201910725322.5
申请日：2019-08-07
Applicant: 东南大学
IPC: H01L21/687 , H01L21/67
Abstract: 本发明公开了一种可在湿法腐蚀下实现样片单面保护的夹具及其加工装配方法，夹具包括一对单面保护装置、底座和外容器，其中，每个单面保护装置上均装配一个待腐蚀样片，一对单面保护装置平行对称固定在底座上，单面保护装置与底座组装完成后放置于外容器内。本发明采用单面保护装置只允许样片单面暴露在腐蚀溶液中；在单面保护装置两处分别刻有刻度线，用以定时定量旋转刻度转盘的角度，于此同时，底座槽型孔中的磁珠旋转对溶液进行搅拌，两者同时作用以达到均匀溶液浓度，实现更好地对样片单面腐蚀的目的。
-
公开(公告)号：CN108489476B
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN201810140314.X
申请日：2018-02-11
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5698
Abstract: 本发明公开一种基于声光耦合效应的光声波陀螺仪及其加工方法，光声波陀螺仪包括SOI主体结构、硅盖帽、谐振子、金属电极和光通路；SOI主体结构与硅盖帽键合，SOI主体结构包括SOI衬底和SOI器件层，SOI衬底设在SOI器件层下方；SOI器件层顶面中心部设有圆槽，谐振子为圆盘状，设在圆槽中心，金属电极均匀分布在谐振子外周，光通路均匀分布在相邻两金属电极之间；硅盖帽下表面对应谐振子位置设有凹槽；硅盖帽上设有与金属电极数量相等的电极通孔，电极通孔底部设有金属焊盘，电极通孔与金属电极位置一一对应且相接。本发明利用光来检测角速度，质量小、测量精度高、不受电磁干扰，应用范围广，有着良好的市场前景。
-
公开(公告)号：CN112815934A
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN202110012101.0
申请日：2021-01-06
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5691 , H02M1/14 , H02M5/12 , H02M7/06
Abstract: 本发明公开了一种自带AGC的微半球陀螺仪的高压直流驱动电路，包括依次串联连接的三角波产生电路、比较器电路、驱动电路、推挽电路、整流滤波电路、HIV分压电路、PID电路和加法电路，还包括3V基准电压电路，其中，3V基准电压电路的第一输出与加法电路的另一输入端连接，第二输出与PID电路的另一输入端连接，且加法电路的输出与比较器电路的另一输入端连接；本发明通过分压电路、3V基准电压电路、PID电路、加法电路以及比较器电路得到占空比可调的PWM波，再输入驱动电路实现对不稳定高压的控制；并通用集成芯片、二极管与RC辅助电路的配合，实现了电源的升压稳压输出，电路结构简单，而且外围参数配置容易，可推广应用。
-
公开(公告)号：CN110514194B
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：CN201910799591.6
申请日：2019-08-28
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种高度可调的磁控加热一体式装置及其制备方法，该装置由硅晶圆片、聚酰亚胺以及金属材料通过MEMS工艺制备而成。所述装置包括：作为顶部盖板和底部底板的加热板，加热板正反两面上溅射了特殊布线的加热线圈，以实现低磁场加热；分布在四周的四个磁壁，磁壁上溅射一层金属作为磁场线圈，四个磁壁的对称分布实现磁场中心的高均匀性；四个位于侧面的支撑壁，通过刻蚀实现的凹槽可以调节磁壁的高度，从而调节磁场均匀点高度，板壁间通过聚酰亚胺作为铰链实现链接，从而使得应用中磁场中心的调节以及光路对准更为便利，同时可应用在不同规格的原子气室上，应用范围广。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
109
records
(took 0.021 seconds)
