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公开(公告)号:CN103018799A
公开(公告)日:2013-04-03
申请号:CN201210548434.6
申请日:2012-12-17
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 利用飞秒激光湿法刻蚀技术制备大规模准周期微透镜阵列的方法,根据所需要加工的准周期微透镜个体平均尺寸,控制精密加工平台移动靶材的速率,飞秒激光每隔固定时间在靶材表面作用1个脉冲,在靶材上以飞秒激光脉冲作用焦点为中心产生一个光破坏区;利用体积浓度为1%至10%的氢氟酸溶液对飞秒激光加工后的靶材进行化学腐蚀,并且用超声波水浴加热辅助,将腐蚀之后的靶材在去离子水中彻底清洗干净,即为一块大规模准周期微透镜阵列的模板成品;本发明具有高效率、低成本、微透镜个体形貌尺寸可控等优点,并且能够有效避免匀光过程中产生的激光聚焦空气击穿效应、周期光场耦合叠加效应等负面影响。
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公开(公告)号:CN102785025A
公开(公告)日:2012-11-21
申请号:CN201210207759.8
申请日:2012-06-21
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 利用飞秒激光增强化学刻蚀制备大规模微透镜阵列的方法,选取作为飞秒激光作用靶材的硬质材料,根据所需要加工的微透镜阵列形状,控制精密加工平台移动靶材的速率,飞秒激光在靶材表面作用100至1000个脉冲数,脉冲频率为1KHz,由于飞秒激光特殊的加工特性,在靶材上以飞秒激光作用焦点为中心产生一个光破坏区;利用体积浓度为1%至10%的氢氟酸溶液对飞秒激光加工后的靶材进行化学腐蚀,并且用超声波水浴加热辅助,加热温度为30~80摄氏度,加热时间为40~80分钟;将腐蚀之后的靶材在去离子水中彻底清洗干净,即为一块大规模微透镜阵列的模板成品,本发明结合传统化学刻蚀工艺,最终实现大规模微透镜阵列低成本、高效率的批量生产。
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公开(公告)号:CN100462181C
公开(公告)日:2009-02-18
申请号:CN200610104819.8
申请日:2006-10-30
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种飞秒激光真三维微纳加工中心,沿飞秒激光产生放大系统的输出光束方向上设置反射镜,反射镜与输出光束的负向夹角为45°,沿反射后的光轴方向在反射镜下方设置多轴联动微动工作台,在反射镜和多轴联动微动工作台中间的光轴方向上设置聚焦透镜,并在反射镜上方设置CCD传感器,飞秒激光产生放大系统、多轴联动微动工作台、CCD传感器和LCD监视器连接在工控机上。该加工中心能够加工高熔点、高硬度和高脆性等特种功能材料的微纳尺度真三维结构件。
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公开(公告)号:CN101329508A
公开(公告)日:2008-12-24
申请号:CN200810150464.5
申请日:2008-07-25
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种利用飞秒激光制备微纳压印模版的方法,该方法将适合制作微纳压印模具的硬质材料固定在三维精密平移台上,利用显微物镜将一束飞秒激光聚焦在样品表面,根据微纳结构与器件压印模斑的结构设计,通过飞秒激光刻蚀和三维精密移动平台的配合运动对材料进行微纳加工,实现微纳压印模版的制备。该发明将飞秒激光微纳加工技术同成熟的压印成型技术结合,可以批量制备出复杂及三维的微纳结构与器件,大大提高了微纳结构与器件的制备效率,促进了微纳压印技术与飞秒激光微纳加工技术的发展。
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公开(公告)号:CN101311358A
公开(公告)日:2008-11-26
申请号:CN200810017839.0
申请日:2008-03-28
Applicant: 西安交通大学
IPC: C30B29/16 , C30B28/02 , H01L31/0296
Abstract: 本发明公开了一种飞秒激光制备氧化锌纳米线阵列的方法及其装置,属于微纳米材料制备和飞秒激光微加工技术领域,与氧化锌材料的周期性纳米微结构有关,特别是一种利用飞秒激光辐射场在氧化锌靶材上制备周期性纳米线阵列的方法。氧化锌纳米线阵列制备时先将氧化锌靶材固定在二维精密位移台上,然后将一束光飞秒激光经透镜聚焦,并使之作用于氧化锌靶材上,通过飞秒诱导和二维精密位移台配合扫描,产生氧化锌周期性纳米线阵列。本发明具有制备效率高,适用范围广,处理得到的氧化锌纳米线阵列排列整齐、均匀。
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公开(公告)号:CN1947917A
公开(公告)日:2007-04-18
申请号:CN200610104819.8
申请日:2006-10-30
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种飞秒激光真三维微纳加工中心,沿飞秒激光产生放大系统的输出光束方向上设置反射镜,反射镜与输出光束的负向夹角为45°,沿反射后的光轴方向在反射镜下方设置多轴联动微动工作台,在反射镜和多轴联动微动工作台中间的光轴方向上设置聚焦透镜,并在反射镜上方设置CCD传感器,飞秒激光产生放大系统、多轴联动微动工作台、CCD传感器和LCD监视器连接在工控机上。该加工中心能够加工高熔点、高硬度和高脆性等特种功能材料的微纳尺度真三维结构件。
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公开(公告)号:CN1414424A
公开(公告)日:2003-04-30
申请号:CN02139544.6
申请日:2002-11-26
Applicant: 西安交通大学
IPC: G02F3/00
Abstract: 本发明公开了一种细菌视紫红质材料制作的光子逻辑与门装置,包括信号光源、信号扩束镜、信号滤波器、信号准直镜、第一半反半透镜、第一电寻址空间光调制器、信号成像镜头、第二半反半透镜、细菌视紫红质分子膜器件、第一窄带全反镜、输出成像镜头、第二窄带全反镜、第三窄带全反镜、信号成像镜头、第二电寻址空间光调制器、第四窄带全反镜、调制准直镜、调制滤波器、调制扩束镜、调制光源、底板构成,细菌视紫红质来自嗜盐菌的细胞膜上的一种光敏蛋白分子,繁殖能力强,材料来源不受限制,具有分辨率高,响应速度快,对比度高,感光灵敏度高,循环使用次数多,材料成本低等多方面的优势,能够满足目前超高密度信息存储和大容量信息处理的需要。
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公开(公告)号:CN117867499A
公开(公告)日:2024-04-12
申请号:CN202410036970.0
申请日:2022-09-30
Applicant: 西安交通大学
IPC: C23C26/00 , C09D183/04 , C25D1/00
Abstract: 本发明提供了一种具有强稳定性的涂层结构,用以解决现有涂层存在的与基体结合力强度不足、耐磨、耐冲击性较低的技术问题。本发明提供的一种具有强稳定性的涂层结构,包括基体和设置在基体上表面的涂层;所述涂层内部朝向基体上表面的方向设置有多个支撑体;支撑体靠近基体的一端与基体上表面连接;由于涂层内部嵌入了支撑体结构,支撑体与涂层紧密贴合,使涂层受到挤压、摩擦、剥离等作用力时,支撑体承受大部分作用力,大大提高了涂层的耐冲击性、耐摩擦性和耐剥离性,延长了涂层的使用寿命。
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公开(公告)号:CN114859444B
公开(公告)日:2024-03-19
申请号:CN202210488361.X
申请日:2022-05-06
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明涉及折射型红外微光学器件制备技术,具体涉及一种硫系玻璃红外复眼的制备方法。本发明采用“两步法”制备硫系玻璃红外复眼,包括以下步骤:1)样品清洗;2)通过飞秒激光改性,在曲面K9玻璃基板的表面形成烧蚀弹坑;3)曲面湿法刻蚀工艺,通过超声水浴化学腐蚀,得到曲面K9玻璃复眼模板;4)通过高温模压工艺制备硫系玻璃曲面复眼预制体;5)通过高温模压工艺制备硫系玻璃红外复眼。本发明解决了现有复眼制备工艺生产成本高、加工效率低、成品质量差等问题,制备的红外玻璃复眼具有优异的光学性能,可以实现红外热成像,大视场成像且分辨率高,可以被广泛应用于无人驾驶、机器人视觉和红外遥感监测等领域。
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公开(公告)号:CN117590500A
公开(公告)日:2024-02-23
申请号:CN202311530251.6
申请日:2023-11-16
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明提供一种玻璃微透镜的制备方法,主要解决现有技术制备得到的微透镜成像质量、耐热性能较差,分辨率不高,尺寸和形貌较为单一等技术问题。该制备方法是:步骤1,以玻璃为基底样品,并根据微透镜的形貌及尺寸要求预先准备基底样品,同时在五轴加工系统中预先编译其加工平台的移动路径;步骤2,将基底样品固定在加工平台上,并使光学显微镜的镜头聚焦到基底样品改性区的初始位置;步骤3,启动飞秒激光器,加工平台随预先编译的移动路径进行移动,飞秒激光器通过光学显微镜的镜头聚焦后,在基底样品上进行扫描改性,得到微透镜半成品;步骤4,对微透镜半成品进行蚀刻、抛光处理,得到微透镜成品。
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