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公开(公告)号：CN117463418A
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202311530252.0
申请日：2023-11-16
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明提供一种微型细胞检测芯片的一体化制备方法，用于解决现有制备方法较为繁琐，制备得到的集成芯片中的微光学元件难以实现高质量成像，且耐高温高压性能较差等技术问题。该制备方法为：S1，根据微型细胞检测芯片的外形尺寸要求准备样品；S2，根据微型细胞检测芯片微舱室、微通道的结构及尺寸要求，编译工作台的移动路径；S3，将样品固定在工作台上；S4，启动飞秒激光器和工作台，工作台随预先编译的移动路径进行移动，飞秒激光器通过光学显微镜进行聚焦后在样品上扫描，得到微舱室和微通道的改性区域；S5，对改性区域依次进行蚀刻、抛光处理；S6，将微球置于微舱室内，组成微光学元件；S7，封装得到微型细胞检测芯片。
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公开(公告)号：CN117590500A
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202311530251.6
申请日：2023-11-16
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明提供一种玻璃微透镜的制备方法，主要解决现有技术制备得到的微透镜成像质量、耐热性能较差，分辨率不高，尺寸和形貌较为单一等技术问题。该制备方法是：步骤1，以玻璃为基底样品，并根据微透镜的形貌及尺寸要求预先准备基底样品，同时在五轴加工系统中预先编译其加工平台的移动路径；步骤2，将基底样品固定在加工平台上，并使光学显微镜的镜头聚焦到基底样品改性区的初始位置；步骤3，启动飞秒激光器，加工平台随预先编译的移动路径进行移动，飞秒激光器通过光学显微镜的镜头聚焦后，在基底样品上进行扫描改性，得到微透镜半成品；步骤4，对微透镜半成品进行蚀刻、抛光处理，得到微透镜成品。
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