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公开(公告)号：CN102785025A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201210207759.8
申请日：2012-06-21
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 利用飞秒激光增强化学刻蚀制备大规模微透镜阵列的方法，选取作为飞秒激光作用靶材的硬质材料，根据所需要加工的微透镜阵列形状，控制精密加工平台移动靶材的速率，飞秒激光在靶材表面作用100至1000个脉冲数，脉冲频率为1KHz，由于飞秒激光特殊的加工特性，在靶材上以飞秒激光作用焦点为中心产生一个光破坏区；利用体积浓度为1％至10％的氢氟酸溶液对飞秒激光加工后的靶材进行化学腐蚀，并且用超声波水浴加热辅助，加热温度为30～80摄氏度，加热时间为40～80分钟；将腐蚀之后的靶材在去离子水中彻底清洗干净，即为一块大规模微透镜阵列的模板成品，本发明结合传统化学刻蚀工艺，最终实现大规模微透镜阵列低成本、高效率的批量生产。
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公开(公告)号：CN102785025B
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201210207759.8
申请日：2012-06-21
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 利用飞秒激光增强化学刻蚀制备大规模微透镜阵列的方法，选取作为飞秒激光作用靶材的硬质材料，根据所需要加工的微透镜阵列形状，控制精密加工平台移动靶材的速率，飞秒激光在靶材表面作用100至1000个脉冲数，脉冲频率为1KHz，由于飞秒激光特殊的加工特性，在靶材上以飞秒激光作用焦点为中心产生一个光破坏区；利用体积浓度为1％至10％的氢氟酸溶液对飞秒激光加工后的靶材进行化学腐蚀，并且用超声波水浴加热辅助，加热温度为30~80摄氏度，加热时间为40~80分钟；将腐蚀之后的靶材在去离子水中彻底清洗干净，即为一块大规模微透镜阵列的模板成品，本发明结合传统化学刻蚀工艺，最终实现大规模微透镜阵列低成本、高效率的批量生产。
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公开(公告)号：CN102759763A
公开(公告)日：2012-10-31
申请号：CN201210208216.8
申请日：2012-06-21
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 一种复眼结构微透镜阵列的微纳制备方法，将用于制备微透镜阵列模板的硬质材料固定在三维精密位移台上，使超短脉冲激光作用于材料表面，烧蚀出所需的弹坑阵列；将烧蚀出弹坑阵列的硬质材料置于氢氟酸稀释液中进行腐蚀，采用平面浇铸工艺将PMMA氯仿溶液均匀涂覆在模板表面，自然干燥固化；将小球加热，用球冠对PMMA薄膜的背面进行均匀挤压，直到薄膜包覆住半球，形成半球壳状结构，即可得到复眼结构微透镜阵列；本发明实现了复眼结构微透镜阵列的高重复性、低成本批量生产，同时相关参数灵活可调。
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