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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102759800A
公开(公告)日：2012-10-31
申请号：CN201210207940.9
申请日：2012-06-21
Applicant: 西安交通大学
IPC: G02B27/09
Abstract: 飞秒激光增强化学刻蚀制备微透镜阵列光束整形器的方法，选用石英玻璃作为样品材料；通过飞秒激光在其表面加工得到微透镜阵列弹坑；将已加工出的微透镜阵列弹坑放入氟化氢溶液中辅助刻蚀，即可完成微透镜阵列光束整形器的制备；本发明利用飞秒激光增强化学刻蚀制备微透镜阵列，具有所制得的微透镜阵列形貌可控的优点。其中，透镜的形貌可以通过激光脉冲作用点的合理排列进行控制，透镜的焦距则可以通过激光参数进行调控；该方法能够实现高填充比、大面积微透镜阵列的高效率加工；而且所制备出的微透镜阵列能够简单、便捷的实现使高斯光束的空间光强均匀分布。
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公开(公告)号：CN102785025A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201210207759.8
申请日：2012-06-21
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 利用飞秒激光增强化学刻蚀制备大规模微透镜阵列的方法，选取作为飞秒激光作用靶材的硬质材料，根据所需要加工的微透镜阵列形状，控制精密加工平台移动靶材的速率，飞秒激光在靶材表面作用100至1000个脉冲数，脉冲频率为1KHz，由于飞秒激光特殊的加工特性，在靶材上以飞秒激光作用焦点为中心产生一个光破坏区；利用体积浓度为1％至10％的氢氟酸溶液对飞秒激光加工后的靶材进行化学腐蚀，并且用超声波水浴加热辅助，加热温度为30～80摄氏度，加热时间为40～80分钟；将腐蚀之后的靶材在去离子水中彻底清洗干净，即为一块大规模微透镜阵列的模板成品，本发明结合传统化学刻蚀工艺，最终实现大规模微透镜阵列低成本、高效率的批量生产。
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公开(公告)号：CN102785025B
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201210207759.8
申请日：2012-06-21
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 利用飞秒激光增强化学刻蚀制备大规模微透镜阵列的方法，选取作为飞秒激光作用靶材的硬质材料，根据所需要加工的微透镜阵列形状，控制精密加工平台移动靶材的速率，飞秒激光在靶材表面作用100至1000个脉冲数，脉冲频率为1KHz，由于飞秒激光特殊的加工特性，在靶材上以飞秒激光作用焦点为中心产生一个光破坏区；利用体积浓度为1％至10％的氢氟酸溶液对飞秒激光加工后的靶材进行化学腐蚀，并且用超声波水浴加热辅助，加热温度为30~80摄氏度，加热时间为40~80分钟；将腐蚀之后的靶材在去离子水中彻底清洗干净，即为一块大规模微透镜阵列的模板成品，本发明结合传统化学刻蚀工艺，最终实现大规模微透镜阵列低成本、高效率的批量生产。
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公开(公告)号：CN102759800B
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：CN201210207940.9
申请日：2012-06-21
Applicant: 西安交通大学
IPC: G02B27/09
Abstract: 飞秒激光增强化学刻蚀制备微透镜阵列光束整形器的方法，选用石英玻璃作为样品材料；通过飞秒激光在其表面加工得到微透镜阵列弹坑；将已加工出的微透镜阵列弹坑放入氟化氢溶液中辅助刻蚀，即可完成微透镜阵列光束整形器的制备；本发明利用飞秒激光增强化学刻蚀制备微透镜阵列，具有所制得的微透镜阵列形貌可控的优点。其中，透镜的形貌可以通过激光脉冲作用点的合理排列进行控制，透镜的焦距则可以通过激光参数进行调控；该方法能够实现高填充比、大面积微透镜阵列的高效率加工；而且所制备出的微透镜阵列能够简单、便捷的实现使高斯光束的空间光强均匀分布。
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公开(公告)号：CN101359067A
公开(公告)日：2009-02-04
申请号：CN200810150569.0
申请日：2008-08-08
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种利用飞秒激光制备布拉格光纤光栅的方法及装置，利用飞秒激光瞬态相干技术在光纤内部制备布拉格光栅的方法。光纤布拉格光栅制备时，先将去除掉包层的光纤纤芯固定在三维精密移动平台上，然后将两束飞秒激光分别经透镜聚焦，并使之产生干涉后作用于光纤纤芯上，通过光致折射率变化在光纤纤芯内部产生布拉格光栅结构。本发明具有制备效率高、稳定性好、设备装置简单，且制得的光纤布拉格光栅不会消退等优点。
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