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公开(公告)号：CN115229647A
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202210853059.X
申请日：2022-07-20
Applicant: 华侨大学
IPC: B24B29/02 , B24B27/033 , B24B19/22 , B24B51/00 , B24B49/00 , B24B1/00 , B23K26/362
Abstract: 本发明公开了一种飞秒激光辅助抛光金刚石的装置及其抛光方法，它包括第一机台、第二机台和控制装置，第一机台能沿水平X轴移动，第二机台能沿形成正交体系的X、Y、Z轴移动并能绕Z轴转动，第一机台上设有用于装接金刚石工件的加装装置，第二机台上装接有测距传感器和飞秒激光烧蚀装置，第二机台上还装接有用于磨抛金刚石工件的磨抛砂轮，控制装置与该第一机台、第二机台、测距传感器及飞秒激光烧蚀装置信号连接并能控制该第一机台、第二机台在相应的自由度内动作以及与该测距传感器和飞秒激光烧蚀装置形成数据交互。该抛光方法包括金刚石表面平坦化过程和去石墨化过程。它具有如下优点：提高加工效率，提高加工质量。
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公开(公告)号：CN115213811A
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN202210852879.7
申请日：2022-07-20
Applicant: 华侨大学
IPC: B24B37/34 , H01L21/306 , B24B1/00 , B24B37/04 , B24B37/30
Abstract: 本申请公开了一种用于光辅助化学机械抛光的载具以及抛光加工方法，载具包括光源底座、光源聚焦装置以及晶圆安装座；光源底座与晶圆安装座分别设置于光源聚焦装置的两端；光源底座用于安装在抛光机上，光源底座上安装有光源；光源聚焦装置包括防护罩、第一凸透镜以及第二凸透镜，第一凸透镜与第二凸透镜同轴间隔设置在防护罩内，防护罩内设置有驱动件，用于驱动第二凸透镜靠近或远离第一凸透镜运动；光源通过外部红外遥控开光控制其光照强度；晶圆安装座上设置有光强传感器，光强传感器用于将信号反馈至外部处理器，外部处理器将光照强度值显示在显示器上。本申请能够提高晶圆加工质量。
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公开(公告)号：CN115128055A
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202110323211.9
申请日：2021-03-25
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种活性金属磨粒与金刚石晶圆衬底界面摩擦化学反应的检测方法，通过磁控溅射法，在纳米压痕划痕仪用的金刚石压头表面包覆一层厚度均匀可控的活性金属磨粒壳层，通过与金刚石晶圆衬底的划擦实验来控制活性金属磨粒与晶圆之间的界面作用关系，再通过扫描探针显微拉曼光谱仪对金刚石晶圆衬底表面的相互作用区域进行化学成分检测，从而明确活性金属磨粒与晶圆衬底的界面摩擦化学反应机理，其操作简单，在半导体晶圆衬底的高效超精密加工领域具有良好的应用前景。
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公开(公告)号：CN115128054A
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202110323147.4
申请日：2021-03-25
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种活性金属氧化物磨粒与金刚石晶圆衬底界面摩擦化学反应的检测方法，通过磁控溅射法，在纳米压痕划痕仪用的金刚石压头表面包覆一层厚度均匀可控的活性金属氧化物磨粒壳层，通过与金刚石晶圆衬底的划擦实验来控制活性金属氧化物磨粒与晶圆之间的界面作用关系，再通过扫描探针显微拉曼光谱仪对金刚石晶圆衬底表面的相互作用区域进行化学成分检测，从而明确活性金属氧化物磨粒与晶圆衬底的界面摩擦化学反应机理，其操作简单，在半导体晶圆衬底的高效超精密加工领域具有良好的应用前景。
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公开(公告)号：CN112941680B
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202110122167.5
申请日：2021-01-28
Applicant: 华侨大学
IPC: D02G3/02 , D01D5/00 , C01B32/168 , C01G49/06 , D06M11/49 , D06M101/40
Abstract: 本发明公开了一种碳纳米管纤维负载纳米氧化铁复合材料的制备方法，包括如下步骤：(1)将二茂铁溶解于有机溶剂中，配制二茂铁溶液；(2)将碳纳米管阵列采用阵列纺丝法先进行拉膜形成碳纳米管薄膜，再将该碳纳米管薄膜加捻制成碳纳米管纤维，在拉膜过程中，向所形成的碳纳米管薄膜的表面喷洒步骤(1)所得的二茂铁溶液；(3)在保护气氛下，将步骤(2)制得的碳纳米管纤维进行焦耳热处理。本发明制得的碳纳米管纤维负载纳米氧化铁复合材料在制备电容器、催化及电极材料等领域有良好的应用前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112142479B
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202010925580.0
申请日：2020-09-04
Applicant: 华侨大学
IPC: C04B35/626 , C04B35/565
Abstract: 本发明公开了一种SiC@Ti(C，N)核壳结构陶瓷粉体的制备方法，包括如下步骤：(1)将硫酸氧钛溶于蒸馏水中，获得硫酸氧钛水溶液；(2)将SiC粉末、有机溶剂和蒸馏水混合分散，获得混合溶液；(3)在上述混合溶液中加入碳氮原料，同时加入上述硫酸氧钛水溶液，水浴搅拌至沉淀全部析出后，室温静置；(4)将步骤(3)所得的物料进行离心，获得沉淀，用蒸馏水和无水乙醇充分洗涤后，经干燥和研磨，获得SiC@Ti(C，N)前驱体粉末；(5)将上述SiC@Ti(C，N)前驱体粉末于氮气气氛下煅烧，再经高温退火，即得。本发明简便易操作，具有制备温度低，成本较低，节能环保等优点。
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公开(公告)号：CN112692956B
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN202011586855.9
申请日：2020-12-28
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种蜂窝状金刚石工具的浆料直写成型方法，该蜂窝状金刚石工具为一直径为80‑150mm且高度为50‑120mm的圆柱体，其上下顶面具有若干六边形蜂窝状通孔，该六边形蜂窝状通孔的边长为2‑3mm，且若干六边形蜂窝状通孔占的总面积为该圆柱体上顶面的总面积的30‑40％。本发明可以制备传统方法难以成型的复杂蜂窝结构，并可以根据磨削要求调整蜂窝孔的打印尺寸，这些多孔蜂窝状结构能提高容屑排屑空间，有效排除磨削产生的碎屑，加快散热，自锐性好，避免堵塞造成的热损伤。
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公开(公告)号：CN114280333A
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202110322997.2
申请日：2021-03-25
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种超细磨料与半导体晶圆的粘附力的测试方法，包括如下步骤：(1)获得磨料分散液；(2)吸取上述磨料分散液滴在载玻片上并干燥，然后将胶水均匀滴在载玻片上；(3)观测干燥的分散液中的磨粒的状态、分布情况以及胶水的位置，同时选择磨粒并记录其位置；(4)手动调节探针下降至胶水的位置，使探针蘸取胶水；(5)将蘸取胶水的探针移动至磨粒所处的位置的上方，调节探针下降以粘取该磨粒；(6)使胶水原位固化，获得磨粒固化探针；(7)用磨粒固化探针在拉曼原子力显微连用系统进行在线测试实验。本发明的方法可以在拉曼模式下对磨粒进行可视化挑选，原子力显微模式下实现原子层面间的粘附力检测。
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公开(公告)号：CN114083139A
公开(公告)日：2022-02-25
申请号：CN202111675170.6
申请日：2021-12-31
Applicant: 华侨大学
IPC: B23K26/362 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了激光诱导活性离子刻蚀金刚石的加工装置及加工方法，加工装置包括激光器、聚焦物镜、金刚石、样品夹具、活性靶材和工作台；该活性靶材固装在工作台上，该样品夹具夹接金刚石，且金刚石和活性靶材上下布置；该激光器发出的激光束经聚焦物镜、金刚石辐射聚焦在活性靶材上并激光诱导出向金刚石背面转移的活性离子体，该活性离子体与金刚石表面的碳原子化学反应生成金属碳化物，生成的金属碳化物被后续活性离子体撞击剥离去除。它具有如下优点：热损伤小、加工质量好、稳定性高、加工成本低、高效快捷、操作简单，减小加工热影响，是一种高效稳定低耗的微细加工技术，为金刚石高效加工提供了一种新的途径。
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公开(公告)号：CN110774118B
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：CN201911010812.3
申请日：2019-10-23
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种大尺寸单晶金刚石的磨削方法，利用大尺寸单晶金刚石的碳原子和活性磨料在特定的磨削条件下发生化学反应生成碳化物，再以硬质磨料去除生成的碳化物，实现高效高质量磨削金刚石表面的目的。本发明采用的磨削液为去离子水，对环境无污染且本发明的磨削工艺参数(转速)远低于动摩擦加工的要求。本发明与传统的金刚石石墨化去除方式不同，能够得到表面粗糙度更低，裂纹更少，沟槽更浅的高质量金刚石表面。本发明的磨削方法有效降低加工成本，为大尺寸单晶金刚石在高新技术领域应用奠定良好的基础。
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