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公开(公告)号：CN115128054B
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202110323147.4
申请日：2021-03-25
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种活性金属氧化物磨粒与金刚石晶圆衬底界面摩擦化学反应的检测方法，通过磁控溅射法，在纳米压痕划痕仪用的金刚石压头表面包覆一层厚度均匀可控的活性金属氧化物磨粒壳层，通过与金刚石晶圆衬底的划擦实验来控制活性金属氧化物磨粒与晶圆之间的界面作用关系，再通过扫描探针显微拉曼光谱仪对金刚石晶圆衬底表面的相互作用区域进行化学成分检测，从而明确活性金属氧化物磨粒与晶圆衬底的界面摩擦化学反应机理，其操作简单，在半导体晶圆衬底的高效超精密加工领域具有良好的应用前景。
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公开(公告)号：CN112941596A
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN202110116978.4
申请日：2021-01-28
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种细粒度镀覆金刚石碳纳米管纤维复合材料的制备方法，包括如下步骤：(1)通过真空镀覆在粒径为1‑3μm的金刚石表面镀覆活性金属，获得镀覆金刚石；(2)将步骤(1)所得的镀覆金刚石进行清洗后，超声分散于蒸馏水或无水乙醇中，制成金刚石分散液；(3)以碳纳米管纤维为正极，不锈钢为负极，通过电泳共沉积，将步骤(2)制得的金刚石分散液的镀覆金刚石通过化学键均匀的粘附在碳纳米管纤维的表面；(4)在保护气氛下，将步骤(3)所得的物料进行焦耳热处理，即得所述细粒度镀覆金刚石碳纳米管纤维复合材料。本发明制得的细粒度镀覆金刚石碳纳米管纤维复合材料的力学和电化学性能都得到明显增强，在制备磨料工具、电极材料等方面有良好的应用前景。
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公开(公告)号：CN106744932B
公开(公告)日：2018-11-27
申请号：CN201611121181.9
申请日：2016-12-08
Applicant: 华侨大学
IPC: C01B32/28
Abstract: 本发明公开了一种超细金刚石‑石墨烯复合材料的制备方法，是将超细金刚石与石墨烯混合形成分散液，通过抽滤装置抽滤成膜后，在800～1200℃真空热处理0.5～2h得到超细金刚石‑石墨烯复合材料。通过本发明的方法制备的超细金刚石‑石墨烯复合材料，金刚石表面石墨化，与石墨烯形成碳碳键合，性能稳定。该复合材料对实现金刚石和石墨烯在超细磨料工具、超级电容器、场致发射显示器、半导体器件等领域的应用具有十分重要的科学意义和工程价值。
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公开(公告)号：CN112941680A
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN202110122167.5
申请日：2021-01-28
Applicant: 华侨大学
IPC: D02G3/02 , D01D5/00 , C01B32/168 , C01G49/06 , D06M11/49 , D06M101/40
Abstract: 本发明公开了一种碳纳米管纤维负载纳米氧化铁复合材料的制备方法，包括如下步骤：(1)将二茂铁溶解于有机溶剂中，配制二茂铁溶液；(2)将碳纳米管阵列采用阵列纺丝法先进行拉膜形成碳纳米管薄膜，再将该碳纳米管薄膜加捻制成碳纳米管纤维，在拉膜过程中，向所形成的碳纳米管薄膜的表面喷洒步骤(1)所得的二茂铁溶液；(3)在保护气氛下，将步骤(2)制得的碳纳米管纤维进行焦耳热处理。本发明制得的碳纳米管纤维负载纳米氧化铁复合材料在制备电容器、催化及电极材料等领域有良好的应用前景。
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公开(公告)号：CN113084694B
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202110378440.0
申请日：2021-04-08
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了磨料与晶圆衬底摩擦化学反应的实现装置及其实现方法，实现装置包括主轴模块、液池模块及装夹模块；该主轴模块包括主轴、转接盘、供晶圆衬底固设其上的样品台和加热器；该液池模块包括液池、盖板、固定环及进液管，该液池包括设有安装通孔的池底、池内壳、池外壳和设有样品口的池盖；该装夹模块包括加载装置、样品夹杆和硬质磨料压头。它具有如下优点：通过硬质磨料压头与晶圆衬底的划擦实验，还原加工过程中划擦速度、载荷、温度和润滑状态，进而研究硬质磨粒与晶圆之间的界面作用关系，有助于揭示硬质磨料与晶圆衬底界面摩擦化学反应的作用机制，在半导体晶圆衬底的高效超精密加工领域具有良好的应用前景，且装置简单、操作方便。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115128055B
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202110323211.9
申请日：2021-03-25
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种活性金属磨粒与金刚石晶圆衬底界面摩擦化学反应的检测方法，通过磁控溅射法，在纳米压痕划痕仪用的金刚石压头表面包覆一层厚度均匀可控的活性金属磨粒壳层，通过与金刚石晶圆衬底的划擦实验来控制活性金属磨粒与晶圆之间的界面作用关系，再通过扫描探针显微拉曼光谱仪对金刚石晶圆衬底表面的相互作用区域进行化学成分检测，从而明确活性金属磨粒与晶圆衬底的界面摩擦化学反应机理，其操作简单，在半导体晶圆衬底的高效超精密加工领域具有良好的应用前景。
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公开(公告)号：CN113084694A
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN202110378440.0
申请日：2021-04-08
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了磨料与晶圆衬底摩擦化学反应的实现装置及其实现方法，实现装置包括主轴模块、液池模块及装夹模块；该主轴模块包括主轴、转接盘、供晶圆衬底固设其上的样品台和加热器；该液池模块包括液池、盖板、固定环及进液管，该液池包括设有安装通孔的池底、池内壳、池外壳和设有样品口的池盖；该装夹模块包括加载装置、样品夹杆和硬质磨料压头。它具有如下优点：通过硬质磨料压头与晶圆衬底的划擦实验，还原加工过程中划擦速度、载荷、温度和润滑状态，进而研究硬质磨粒与晶圆之间的界面作用关系，有助于揭示硬质磨料与晶圆衬底界面摩擦化学反应的作用机制，在半导体晶圆衬底的高效超精密加工领域具有良好的应用前景，且装置简单、操作方便。
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公开(公告)号：CN119609961A
公开(公告)日：2025-03-14
申请号：CN202510153341.0
申请日：2025-02-12
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明提供了一种用于制备抛光垫的可图案化自动涂覆刮膜装置，涉及抛光垫设备技术领域。包括：搅拌装置、加料装置、支撑装置、磁吸转盘装置、滚轴刮刀装置和废料收集装置。通过本方案可进行图案化设计的抛光垫磨料涂覆装置，在保证磨料涂覆定量定速滴加的同时，可保证磨料层的图案化、均匀性和平整性，从而提高抛光垫的制作效率，丰富制作的种类，拓展其应用领域。
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公开(公告)号：CN115128055A
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202110323211.9
申请日：2021-03-25
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种活性金属磨粒与金刚石晶圆衬底界面摩擦化学反应的检测方法，通过磁控溅射法，在纳米压痕划痕仪用的金刚石压头表面包覆一层厚度均匀可控的活性金属磨粒壳层，通过与金刚石晶圆衬底的划擦实验来控制活性金属磨粒与晶圆之间的界面作用关系，再通过扫描探针显微拉曼光谱仪对金刚石晶圆衬底表面的相互作用区域进行化学成分检测，从而明确活性金属磨粒与晶圆衬底的界面摩擦化学反应机理，其操作简单，在半导体晶圆衬底的高效超精密加工领域具有良好的应用前景。
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公开(公告)号：CN115128054A
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202110323147.4
申请日：2021-03-25
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种活性金属氧化物磨粒与金刚石晶圆衬底界面摩擦化学反应的检测方法，通过磁控溅射法，在纳米压痕划痕仪用的金刚石压头表面包覆一层厚度均匀可控的活性金属氧化物磨粒壳层，通过与金刚石晶圆衬底的划擦实验来控制活性金属氧化物磨粒与晶圆之间的界面作用关系，再通过扫描探针显微拉曼光谱仪对金刚石晶圆衬底表面的相互作用区域进行化学成分检测，从而明确活性金属氧化物磨粒与晶圆衬底的界面摩擦化学反应机理，其操作简单，在半导体晶圆衬底的高效超精密加工领域具有良好的应用前景。
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