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公开(公告)号:CN115078384B
公开(公告)日:2024-08-27
申请号:CN202210681120.7
申请日:2022-06-16
Applicant: 华侨大学 , 南安华大石材产业技术研究院
Abstract: 一种石材大板表面凹坑和裂缝的快速检测装置,包括:输送机构用于输送石材大板图像;采集机构架采集石材大板的图像;三维线激光扫描仪用于采集凹坑和裂缝的三维点云数据进行预处理和三维重建得到凹坑和裂缝的三维形貌;机械臂驱动三维线激光扫描仪移动;主控装置与输送机构、图像采集机构、三维线激光扫描仪和机械臂相连,用于对采集的图像进行处理得到凹坑和裂缝周围的颜色及其在石材大板上的位置和形状,根据位置控制机械臂驱动三维线激光扫描仪移动以获取凹坑和裂缝的三维形貌进行最小包围盒计算,并且对凹坑和裂缝进行容积估算。本发明可大大的提高检测速度,同时也可以获得石板表面更多的信息数据,有助于后续实现石材大板自动化补胶。
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公开(公告)号:CN117754149A
公开(公告)日:2024-03-26
申请号:CN202410076577.4
申请日:2024-01-18
Applicant: 华侨大学
IPC: B23K26/362 , B23K26/70
Abstract: 本发明提供了一种多晶金刚石薄膜厚度均匀化处理装置及方法,涉及激光精密加工技术领域。包括激光处理器、激光测厚装置以及控制系统。通过该装置能够实现多晶金刚石薄膜材料的局部可控去除与加工区域薄膜厚度的原位实时监测,最终完成多晶金刚石薄膜厚度快速均匀化。
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公开(公告)号:CN114485476B
公开(公告)日:2024-03-15
申请号:CN202210207622.6
申请日:2022-03-03
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供了一种晶圆测量设备、系统及方法,包括:减震平台、配置在减震平台上的二维运动模组、配置在二维运动模组上的晶圆放置台、配置在晶圆放置台上方的滑轨、可移动配置在滑轨上的光路产生系统、以及可移动配置在滑轨上的光路接收系统;晶圆放置台用于放置待测晶圆和基准平晶;二维运动模组用于带动所述晶圆放置台在平行与所述减震平台的平面进行二维平面运动;所述光路产生系统用于产生照射在所述待测晶圆和所述基准平晶上的准直光束;所述光路接收系统用于接收所述准直光束在所述待测晶圆和所述基准平晶反射产生的干涉图像。解决了现有技术中的测量系统无法测量面积较大的晶圆的问题和避免因光路细微的偏离,导致测量的结果存在误差。
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公开(公告)号:CN110212807B
公开(公告)日:2024-02-27
申请号:CN201910569121.0
申请日:2019-06-27
Applicant: 华侨大学
IPC: H02N2/00
Abstract: 本发明公开了非对称振动触觉反馈装置,包括壳体,壳体内设有一质量块、一叠层压电陶瓷、一弹性基片和两固定机构。弹性基片桥接在两固定机构,叠层压电陶瓷固接在弹性基片中部,质量块固设在叠层压电陶瓷。在初始位置时,弹性基片处于笔直状态,质量块与壳体顶壁之间存在间隙;当叠层压电陶瓷接收到驱动信号后纵向伸缩以使弹性基片发生弹性形变,且弹性基片在伸长时发生弹性形变的长度小于收缩时发生弹性形变的长度,弹性基片在收缩时产生的位移量大于伸长时产生的位移量,在惯性的作用下带动质量块撞击壳体。它具有如下优点:利用弹性基片上下振动时发生弹性形变的长度不同,对反馈装置的振动幅度进行放大,使得人体感受到的振动效果更加明显。
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公开(公告)号:CN110198141B
公开(公告)日:2024-02-02
申请号:CN201910570198.X
申请日:2019-06-27
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了差动箝位式尺蠖型压电直线电机,包括四箝位盘、一作动模块、两导向机构、两连接杆及两连接弹簧。四箝位盘、两连接杆和两连接弹簧组成两单元。四箝位盘都设有中心孔,每单元的两箝位盘通过中心孔套在连接杆上,每单元包括的两箝位盘分为主箝位盘和辅助箝位盘,主箝位盘和作动模块固接,辅助箝位盘通过连接弹簧与主箝位盘连接;四箝位盘的形状相等且都包括圆盘,四箝位盘的圆盘的偏心布置安装有压电陶瓷;导向机构包括C字型的套筒,套筒内壁凸设有导轨,四箝位盘外周壁凹设有导槽;两单元分别装设在两套筒内,另设预紧元件使套筒压在四箝位盘上,使导轨和导槽适配。它具有如下优点:电机在工作过程中的接触力稳定。
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公开(公告)号:CN108682647B
公开(公告)日:2024-02-02
申请号:CN201810778032.2
申请日:2018-07-16
Applicant: 华侨大学
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明提供了一种晶片侧面打码读码存储一体机及其使用方法,包括真空吸附平台、打码器、读码器、移动载体、位置调节装置、控制装置;所述打码器设置于移动载体上,所述移动载体包括第一移动载体、第二移动载体;所述读码器设置于所述位置调节装置上,所述位置调节装置包括第一位置调节装置、第二位置调节装置;所述控制装置控制所述第一移动载体、第二移动载体、第一位置调节装置和第二位置调节装置滑动;所述真空吸附平台用于放置和固定晶圆片。应用本技术方案可实现对晶圆片制备及后续芯片制作过程的全流程质量跟踪和监控。
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公开(公告)号:CN112595673B
公开(公告)日:2023-06-20
申请号:CN202011296318.0
申请日:2020-11-18
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种单晶金刚石衬底光学常数测量方法,包括:采用透射式椭偏测量方式和反射式椭偏测量方式分别测量单晶金刚石衬底;通过上述测量分别获得透射光谱(ψt、Δt)和反射光谱(ψr、Δr);依据上述测量获得光谱数据,采用Cauchy模型分别计算以获衬底光学常数,该光学常数至少包括衬底折射率n和消光系数k;评估拟合误差σ,当拟合误差超过预定条件,则优化光学模型或介电函数;比对优化后模型的拟合误差,选择一模型及测量方式以确定金刚石衬底的光学常数。它具有如下优点:光学常数测量更精准。
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公开(公告)号:CN114996785A
公开(公告)日:2022-09-02
申请号:CN202210661031.6
申请日:2022-06-13
Applicant: 华侨大学 , 南安华大石材产业技术研究院
IPC: G06F30/10
Abstract: 本发明公开了一种石板排版的智能选材方法及石板的排版方法,该石板的排版方法包括步骤一,设计石板的排版样图;步骤二,根据石板排版的智能选材方法从计算机数据库中找出与该排版样板图相似度最大的单块石板图;步骤三,通过计算机将步骤二找出的石板图按照相同的摆放朝向依次拼接得到实际的石板样板图。石板排版的智能选材方法结合了色彩相似度和灰度相似度两种判据从计算机数据库中找出与该排版样板图相似度最大的单块石板图。该智能选材方法巧妙、准确、方便,也促成了整个排版过程的简单、方便、快捷,且效果好。
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公开(公告)号:CN111240271B
公开(公告)日:2022-06-07
申请号:CN202010161274.4
申请日:2020-03-10
Applicant: 华侨大学
IPC: G05B19/4099 , G05B19/19
Abstract: 本发明公开了一种基于柔性磨粒机械切割的曲面粗加工方法,针对脆性材料初始毛坯高效获得适用于精加工的形状。首先根据待加工件的三维数字模型,采用包络贴近的方法构造出待加工件的曲面拟合模型;其次,将构造后的曲面拟合模型利用逆运动学方程反向求出待加工件或柔性磨粒机械的运动轨迹;再者,根据得到的运动轨迹,建立待加工件或柔性磨粒机械的数控代码;最后,通过数控系统实现待加工件的曲面切割加工。本发明克服了当前非导电材料常用铣(磨)等点加工方法所引起的加工效率低、去除材料无法再利用的问题,特别适用于天然脆硬材料以及人工晶体材料等无法直接获得较好初始毛坯形状的材料加工,扩展了线锯加工的适用范围。
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公开(公告)号:CN114485472A
公开(公告)日:2022-05-13
申请号:CN202210131938.1
申请日:2022-02-14
Applicant: 华侨大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供了一种实现高度误差分离的形貌测量装置及方法、系统,包括二维运动模组、配置在二维运动模组上测量桥组件和高度误差分离模块;高度误差分离模块包括外置基准光学平晶和误差光学测量组件,外置基准光学平晶固定在误差光学测量组件上端,误差光学测量组件配置在测量桥组件第一端面,外置基准光学平晶下表面与误差光学测量组件上表面耦合形成薄膜气隙,测量桥组件随二维运动模组作二维直线运动,带动误差光学测量组件作二维运动;误差光学测量组件配置为将外置基准光学平晶下表面与误差光学测量组件发生靠近或远离位移转值;位移转值用于补偿测量桥组件采集待测工件形貌值。旨在解决现有光学三维测量方案存在测量精度低,成本高昂的问题。
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