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公开(公告)号：CN114083139A
公开(公告)日：2022-02-25
申请号：CN202111675170.6
申请日：2021-12-31
Applicant: 华侨大学
IPC: B23K26/362 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了激光诱导活性离子刻蚀金刚石的加工装置及加工方法，加工装置包括激光器、聚焦物镜、金刚石、样品夹具、活性靶材和工作台；该活性靶材固装在工作台上，该样品夹具夹接金刚石，且金刚石和活性靶材上下布置；该激光器发出的激光束经聚焦物镜、金刚石辐射聚焦在活性靶材上并激光诱导出向金刚石背面转移的活性离子体，该活性离子体与金刚石表面的碳原子化学反应生成金属碳化物，生成的金属碳化物被后续活性离子体撞击剥离去除。它具有如下优点：热损伤小、加工质量好、稳定性高、加工成本低、高效快捷、操作简单，减小加工热影响，是一种高效稳定低耗的微细加工技术，为金刚石高效加工提供了一种新的途径。
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公开(公告)号：CN114336280B
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN202111562348.6
申请日：2021-12-20
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了基于金属腔表面等离激元激光可控输出装置及其输出方法，输出装置包括表面等离激元激光器及激光输出波导；表面等离激元激光器包括金属腔和表面等离激元波导；金属腔包括第一腔镜和第二腔镜，第一腔镜开设输出窗口；表面等离激元波导包括透明衬底层、位于透明衬底层上的增益介质层、位于增益介质层上的绝缘介质层和位于绝缘介质层上的金属膜层；金属腔和表面等离激元波导是利用刻蚀技术嵌入在表面等离激元激光器中，且刻蚀深度延伸至透明衬底层；激光输出波导和第一腔镜的输出窗口相连，通过输出窗口输出激光及控制激光能量，通过激光输出波导控制激光传输方向。它具有如下优点：不仅能输出激光而且激光输出的能量及方向可控。
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公开(公告)号：CN114083139B
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202111675170.6
申请日：2021-12-31
Applicant: 华侨大学
IPC: B23K26/362 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了激光诱导活性离子刻蚀金刚石的加工装置及加工方法，加工装置包括激光器、聚焦物镜、金刚石、样品夹具、活性靶材和工作台；该活性靶材固装在工作台上，该样品夹具夹接金刚石，且金刚石和活性靶材上下布置；该激光器发出的激光束经聚焦物镜、金刚石辐射聚焦在活性靶材上并激光诱导出向金刚石背面转移的活性离子体，该活性离子体与金刚石表面的碳原子化学反应生成金属碳化物，生成的金属碳化物被后续活性离子体撞击剥离去除。它具有如下优点：热损伤小、加工质量好、稳定性高、加工成本低、高效快捷、操作简单，减小加工热影响，是一种高效稳定低耗的微细加工技术，为金刚石高效加工提供了一种新的途径。
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公开(公告)号：CN114336280A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111562348.6
申请日：2021-12-20
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了基于金属腔表面等离激元激光可控输出装置及其输出方法，输出装置包括表面等离激元激光器及激光输出波导；表面等离激元激光器包括金属腔和表面等离激元波导；金属腔包括第一腔镜和第二腔镜，第一腔镜开设输出窗口；表面等离激元波导包括透明衬底层、位于透明衬底层上的增益介质层、位于增益介质层上的绝缘介质层和位于绝缘介质层上的金属膜层；金属腔和表面等离激元波导是利用刻蚀技术嵌入在表面等离激元激光器中，且刻蚀深度延伸至透明衬底层；激光输出波导和第一腔镜的输出窗口相连，通过输出窗口输出激光及控制激光能量，通过激光输出波导控制激光传输方向。它具有如下优点：不仅能输出激光而且激光输出的能量及方向可控。
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