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公开(公告)号：CN1119731A
公开(公告)日：1996-04-03
申请号：CN94115791.1
申请日：1994-08-26
Applicant: FSI国际有限公司
IPC: F25D29/00
CPC classification number: H01L21/67109 , B01L7/00 , G03F7/16 , G03F7/26 , G03F7/70858 , G03F7/70875 , G03F7/70891 , G05D23/1919 , G05D23/1934
Abstract: 用于把工作站和在工作站的工作介质的温度调节到预定温度的温度控制器和方法。该温度控制器包括一个诸如热交换器的冷却器、一个致冷剂温度检测器和控制器、一个诸如导管的流体致冷剂源、一个再循环泵、一个用于将致冷剂循环到工作站的流动管线——该流动管线包含一个流量调节器和一个加热器、一个用于对该流量调节器和加热器进行旁路的旁路阀以及一个工作站温度检测器和控制器。
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公开(公告)号：CN1075825A
公开(公告)日：1993-09-01
申请号：CN92112984.X
申请日：1992-11-06
Applicant: E·I·内穆尔杜邦公司
Inventor： 约翰·詹姆斯·法尔顿 , 瓦尔特·雷蒙德·黑特勒 , 马叔华
CPC classification number: H01L21/02118 , G03F7/039 , G03F7/26 , H01L21/02282 , H01L21/02334 , H01L21/312 , H05K3/02
Abstract: 本发明涉及用作制图案有机层的方法，它包括下列步骤：A.向基底上施加一层固体酸不稳定聚合物的非制图层；B.向非制图层基上施加一层包括有机酸的液体溶液及挥发溶剂的制图案第二层；C.加热制图层从而从层中除去挥发溶剂并让有机酸扩散至下面第一层中；D.用碱水溶涤液洗涤各层以便从各层的制图区域中除去溶解了的酸不稳定聚合物。
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公开(公告)号：CN108027562B
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201680055814.2
申请日：2016-09-21
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/037 , G03F7/075 , H01L51/50 , H05B33/10 , H05B33/12 , H05B33/22 , C08G73/06 , G03F7/004 , G03F7/027 , G03F7/031 , G03F7/038
CPC classification number: G03F7/0387 , C08G69/32 , C08G73/1039 , C08G73/1053 , C08G73/1071 , C08G73/14 , C08G73/22 , C09D179/04 , C09D179/08 , C09K19/04 , G03F7/0007 , G03F7/0046 , G03F7/0048 , G03F7/031 , G03F7/037 , G03F7/105 , G03F7/16 , G03F7/20 , G03F7/26 , G03F7/40 , H01L27/3258
Abstract: 本发明提供耐热性优异且可形成正锥形的固化膜的负型着色感光性树脂组合物。该负型着色感光性树脂组合物含有(A)碱溶性树脂、(B)光聚合引发剂、(C)光聚合性化合物及(D)着色剂，上述(A)碱溶性树脂含有(A‑1)聚酰亚胺前体、聚苯并噁唑前体及/或它们的共聚物，上述(A‑1)树脂在主链骨架中具有三氟甲基。
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公开(公告)号：CN109791374A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201780060322.7
申请日：2017-08-23
Applicant: 深圳市柔宇科技有限公司
Inventor： 区炜锋
IPC: G03F7/26
CPC classification number: G03F7/26
Abstract: 提供了显影液回收系统，该系统包括：显影液储罐，所述显影液储罐具有显影液入口和显影液出口；显影机，所述显影机具有显影液喷头、印版入口和显影后液出口，所述显影液喷头与所述显影液出口相连，所述显影后液出口与所述显影液储罐相连；显影液回收罐，所述显影液回收罐具有显影回收液入口和显影回收液出口，所述显影液入口与所述显影液储罐相连；光刻胶过滤装置，所述光刻胶过滤装置具有回收液入口、过滤后液出口和光刻胶出口，所述回收液入口与所述显影回收液出口相连，所述过滤后液出口与所述显影液入口相连，所述显影液回收罐上的出液口和所述光刻胶出口中的至少之一与所述显影液储罐相连。
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公开(公告)号：CN108699344A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201780012745.1
申请日：2017-02-13
Applicant: 富士胶片株式会社
CPC classification number: G03F7/105 , B41C1/10 , B41C1/1008 , B41C2201/02 , B41C2210/08 , B41N1/14 , C09B11/24 , C09B23/0008 , C09B23/0016 , C09B23/0025 , C09B23/0066 , G03F7/0045 , G03F7/027 , G03F7/0295 , G03F7/033 , G03F7/16 , G03F7/168 , G03F7/2004 , G03F7/2006 , G03F7/26
Abstract: 本发明提供一种显色组合物，所述显色组合物通过含有由下述式(1)表示的化合物的显色组合物、在图像记录层含有上述显色组合物的平版印刷版原版，而显色性优异，并且经时引起的褪色少，其中，式中，各符号如说明书中所记载。并且，能够提供一种基于显色的可见性优异，经时也能够维持优异的可见性，显示良好的机上显影性，白灯稳定性优异，且印刷耐久性及色调再现性中也良好的平版印刷版原版及使用上述平版印刷版原版的平版印刷版的制造方法。而且，能够提供一种显色性优异，并且经时引起的褪色少的显色性化合物。由式1表示的化合物中，作为R4或R5，或者在R1、Ar1或Ar2中具有至少1个由下述式(2)～(4)表示的基团，其中，式中，各符号如说明书中所记载。[化学式1][化学式2]
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108431696A
公开(公告)日：2018-08-21
申请号：CN201680064221.2
申请日：2016-10-18
Applicant: 麦克德米德图像方案股份有限公司
Inventor： R·W·维斯特
CPC classification number: G03F7/20 , B41N1/06 , G03F7/2022 , G03F7/2055 , G03F7/26
Abstract: 本发明涉及一种将液态感光聚合物印刷坯板有选择地曝光于光化辐射以形成凸纹图像印刷版的方法，该方法包括以下步骤：(1)将可编程屏幕定位在顶部玻璃和上部光化辐射源之间，其中所述可编程屏幕用所希望图像的图像文件进行了编程；(2)将液态感光聚合物层通过可编程屏幕暴露于来自上部光化辐射源的光化辐射一段时间，以交联和固化邻近背衬片的至少一部分液态感光聚合物并在其中形成底层；以及(3)将液态感光聚合物层成像曝光于来自下部光化辐射源的光化辐射中，通过液态感光聚合物印刷坯板的底部透过凸纹图像的负片以有选择地交联和固化底层上的部分液态感光聚合物，并在其中产生凸纹图像。本申请还涉及一种液态制版曝光系统。
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公开(公告)号：CN108292098A
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201680070329.2
申请日：2016-11-30
Applicant: 日产化学工业株式会社
Abstract: 一种抗蚀剂下层膜形成用组合物，其包含下述聚合物，所述聚合物包含下述式(1)所示的单元结构，(式(1)中，A表示具有至少2个氨基的2价基团，该基团是由下述化合物衍生的基团，所述化合物具有稠环结构并且具有将该稠环上的氢原子取代的芳香族基团，B1、B2各自独立地表示氢原子、烷基、苯环基、稠环基或它们的组合，或者B1与B2可以与它们所结合的碳原子一起形成环。)。
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公开(公告)号：CN106842824B
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201710108371.5
申请日：2017-02-27
Applicant: 京东方科技集团股份有限公司
Inventor： 黎午升
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F1/44 , G01B21/02 , G01B21/16 , G03F1/84 , G03F7/0035 , G03F7/095 , G03F7/162 , G03F7/168 , G03F7/20 , G03F7/26
Abstract: 本发明实施例公开了一种图形失真的检测方法及结构。该方案中，对第一感光材料通过曝光显影形成所需的待检测图形的同时，在待检测图形的预设检测区域形成具有两个不同高度的水平面的检测台阶，然后通过相同的曝光机参数对第二感光材料在检测区域内形成用于检测曝光失焦的检测图形，如果检测图形在检测台阶的两个水平面上的预设尺寸参数是一致的，说明所采用的曝光机参数曝光时，第二感光材料在焦深范围内，由于第一感光材料与第二感光材料所采用的曝光机参数相同，那么，第一感光材料也在焦深范围内，就没有曝光失焦，形成的待检测图形就不会因曝光失焦而失真，反之，则因曝光失焦而失真。这样，可以及时发现解决曝光失焦及其导致的图形失真问题。
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公开(公告)号：CN108027557A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201680052638.7
申请日：2016-09-20
Applicant: 东丽株式会社
CPC classification number: G03F7/0387 , C08G69/02 , C08G69/40 , G03F7/0226 , G03F7/023 , G03F7/0233 , G03F7/16 , G03F7/161 , G03F7/168 , G03F7/20 , G03F7/26 , G03F7/40 , H01L23/293 , H01L23/3192 , H01L23/562 , H01L24/02 , H01L24/03 , H01L24/05 , H01L24/13 , H01L2224/02331 , H01L2224/024 , H01L2224/03462 , H01L2224/03515 , H01L2224/0362 , H01L2224/0401 , H01L2224/05008 , H01L2224/13022 , H01L2224/13024 , H01L2224/13026 , H01L2224/131 , H01L2924/0695 , H01L2924/3511 , H01L2924/014
Abstract: 本发明提供高伸长性、低应力性、金属铜高密合性的固化膜。本发明的固化膜是将感光性树脂组合物固化而得到的固化膜，其特征在于，所述感光性树脂组合物含有聚羟基酰胺，所述固化膜中的所述聚羟基酰胺的闭环率为10％以下。
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公开(公告)号：CN107974101A
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：CN201710995499.8
申请日：2017-10-23
Applicant: 东京应化工业株式会社
CPC classification number: G03F7/0755 , C09B5/62 , C09B57/00 , C09B67/0069 , G03F7/0007 , G03F7/027 , G03F7/028 , G03F7/038 , G03F7/105 , G03F7/16 , G03F7/20 , G03F7/26 , C09B67/0066 , C09B67/0084 , G03F7/004 , H01L51/0093 , H01L51/50
Abstract: 本发明涉及着色剂分散液、感光性树脂组合物及其制造方法、固化物、有机EL元件、和图案形成方法。本发明的课题在于提供：包含经良好地分散的颜料、且在配合至感光性树脂组合物中时能提供可形成气体产生量少的固化膜的感光性树脂组合物的着色剂分散液；包含该着色剂分散液的感光性树脂组合物；该感光性树脂组合物的固化物；具有该固化物的有机EL元件；使用了上述的感光性树脂组合物的图案的形成方法；和使用了上述的着色剂分散液的感光性树脂组合物的制造方法。在含有包含颜料(E1)和分散剂(E2)的着色剂(E)的着色剂分散液中，使用包含特定结构的倍半硅氧烷化合物的分散剂(E2)。
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