公开(公告)号：CN111272089B

公开(公告)日：2022-06-28

申请号：CN202010138013.0

申请日：2020-03-03

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 罗先刚 ,  王长涛 ,  赵承伟 ,  龚天诚 ,  罗云飞 ,  张逸云

IPC: G01B11/14

Abstract: 本发明公开了一种原位间隙检测装置与检测方法。该装置包括：用于支撑整体结构的外围框架；用于精密定位、调平、间隙控制和承载样片的工件台模块；用于装载母板、检测调平精度的承载模块；用于测量原位间隙的原位间隙检测模块；用于数据采集、处理与反馈控制的控制系统。该发明基于白光干涉间隙测量方法，通过外围三点监测母板与样片之间的间隙，并反馈控制工件台模块进行精密调平与间隙控制。同时结合白光干涉间隙测量方法与显微成像方法，对母板与样片中间工作区域进行横向分辨力高、检测精度高的原位间隙检测。

公开(公告)号：CN109668631B

公开(公告)日：2021-06-01

申请号：CN201811509702.7

申请日：2018-12-11

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 罗先刚 ,  蒲明博 ,  马晓亮 ,  罗云飞 ,  王长涛

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明公开了一种大面积、低成本的超导纳米线单光子探测器的制备方法，在基底表面制备一层超导薄膜材料；在超导薄膜上制备一层反射辅助成像膜层，反射辅助层结构主要起增强放大成像信息中的倏逝波成分；在反射辅助成像膜层上制备一层成像层；接着制备一层透射辅助成像膜层，该层主要起激发表面等离子体波，将高级次衍射波耦合进表面等离子体当中；利用表面等离子体光刻技术，通过光刻工艺获得设计的超导纳米线单光子探测器结构；通过刻蚀传递方法，将成像层中的纳米线探测器结构传递到下层超导薄膜层，获得最终的超导纳米线单光子探测器。本发明有效克服目前纳米线单光子探测器件加工依赖电子束曝光耗时较长、成本较高的难题。

公开(公告)号：CN103472689B

公开(公告)日：2016-03-30

申请号：CN201310439950.X

申请日：2013-09-24

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 罗先刚 ,  王长涛 ,  赵泽宇 ,  王彦钦 ,  胡承刚 ,  蒲明薄 ,  李雄 ,  黄成 ,  何家玉 ,  罗云飞

IPC: G03F7/20

Abstract: 提供了增强照明数值孔径超分辨光刻成像设备及光刻成像方法。一示例光刻成像设备可以包括照明光束产生装置，配置为产生照明光束，该照明光束具有数值孔径NA>0的照明场。照明光束可以通过掩模和成像层，将掩模图形成像在感光层空间。

公开(公告)号：CN103901629A

公开(公告)日：2014-07-02

申请号：CN201410166064.9

申请日：2014-04-23

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 罗先刚 ,  王长涛 ,  赵泽宇 ,  王彦钦 ,  胡承刚 ,  蒲明薄 ,  王炯 ,  黄成 ,  刘玲 ,  罗云飞

IPC: G02B27/58

Abstract: 本发明提供了一种实现远场超分辨成像的方法和装置。该方法首先将激发光和STED光同时耦合进入单模光纤以实现合束效果，然后将经过合束的激发光和STED光依次通过起偏器和双波长波片，调制成偏振方向相互垂直的线偏振光，再采用液晶偏振转换器，将激发光和STED光分别转换为径向偏振光和角向偏振光。实现该方法的装置包括：激发光源、STED光源、准直透镜、起偏器、双波长波片、液晶偏振转换器、二向色镜、高数值孔径物镜、三维纳米位移台、聚焦透镜以及光强探测器。本发明通过单模光纤的耦合作用以及高数值孔径下径向偏振光和角向偏振光不同的聚焦特性，使得聚焦于样品表面的圆形激发光斑和环状STED光斑自动重合，从而有效降低STED超分辨成像的实现难度。