公开(公告)号：CN103968770A

公开(公告)日：2014-08-06

申请号：CN201410192906.8

申请日：2014-05-08

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 罗先刚 ,  王长涛 ,  王彦钦 ,  赵泽宇 ,  胡承刚 ,  蒲明薄 ,  李雄 ,  黄成 ,  何家玉 ,  罗云飞

IPC: G01B11/14

Abstract: 本发明提供一种基于表面等离子体共振的高精度纳米间隙检测结构及方法，属于纳米光学技术领域，可解决现有技术测量精度低，无法动态测量等问题。本发明中光源输出光经过准直镜、宽带偏振器入射到分束器；经过分束镜的透射光与纳米间隙检测结构及基底相互作用后，反射光回至分束器；经分束器反射并由透镜会聚后入射至光谱探测器，探测器将探测得到的数据传到计算机，经计算机处理得到间隙值，实现纳米间隙的检测。本发明采用光谱探测的方法可以实现纳米量级间隙的高精度动态检测，为纳米加工、纳米测量领域提供一种全新的测试技术；并有望在包括近场光学，近场物理在内的多个研究领域发挥重要作用。

公开(公告)号：CN103968770B

公开(公告)日：2017-01-25

申请号：CN201410192906.8

申请日：2014-05-08

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 罗先刚 ,  王长涛 ,  王彦钦 ,  赵泽宇 ,  胡承刚 ,  蒲明薄 ,  李雄 ,  黄成 ,  何家玉 ,  罗云飞

IPC: G01B11/14

Abstract: 本发明提供一种基于表面等离子体共振的高精度纳米间隙检测结构及方法，属于纳米光学技术领域，可解决现有技术测量精度低，无法动态测量等问题。本发明中光源输出光经过准直镜、宽带偏振器入射到分束器；经过分束镜的透射光与纳米间隙检测结构及基底相互作用后，反射光回至分束器；经分束器反射并由透镜会聚后入射至光谱探测器，探测器将探测得到的数据传到计算机，经计算机处理得到间隙值，实现纳米间隙的检测。本发明采用光谱探测的方法可以实现纳米量级间隙的高精度动态检测，为纳米加工、纳米测量领域提供一种全新的测试技术；并有望在包括近场光学，近场物理在内的多个研究领域发挥重要作用。

公开(公告)号：CN103472689B

公开(公告)日：2016-03-30

申请号：CN201310439950.X

申请日：2013-09-24

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 罗先刚 ,  王长涛 ,  赵泽宇 ,  王彦钦 ,  胡承刚 ,  蒲明薄 ,  李雄 ,  黄成 ,  何家玉 ,  罗云飞

IPC: G03F7/20

Abstract: 提供了增强照明数值孔径超分辨光刻成像设备及光刻成像方法。一示例光刻成像设备可以包括照明光束产生装置，配置为产生照明光束，该照明光束具有数值孔径NA>0的照明场。照明光束可以通过掩模和成像层，将掩模图形成像在感光层空间。

公开(公告)号：CN103472689A

公开(公告)日：2013-12-25

申请号：CN201310439950.X

申请日：2013-09-24

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 罗先刚 ,  王长涛 ,  赵泽宇 ,  王彦钦 ,  胡承刚 ,  蒲明薄 ,  李雄 ,  黄成 ,  何家玉 ,  罗云飞

IPC: G03F7/20

Abstract: 提供了增强照明数值孔径超分辨光刻成像设备及光刻成像方法。一示例光刻成像设备可以包括照明光束产生装置，配置为产生照明光束，该照明光束具有数值孔径NA>0的照明场。照明光束可以通过掩模和成像层，将掩模图形成像在感光层空间。