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公开(公告)号：CN110983282A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201911252415.7
申请日：2019-12-09
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种替代激光直接成形技术的装置，基体样品通过传输带进入准备室，准备室内有吹干系统保证样品的干净和干燥；基体样品干燥后通过传送带进入预抽室；抽气完成后通过传送带进入缓冲室，缓冲室通过分子泵进行高真空抽气；最后进入处理室，在处理室内进行高能离子注入和低能离子束沉积操作，最后进行样品收集，完成处理流程。本发明提供了一种替代激光直接成形技术的装置，该方法基于高能离子束技术、低能离子束技术以及相关掩模技术形成具备一定功能的金属天线。通过该方法制备的天线，具有成本低、无需激光粉、耐腐蚀性好、结合强度高、膜层一致性好、表面粗糙度低、环保等特点。
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公开(公告)号：CN110747437A
公开(公告)日：2020-02-04
申请号：CN201911239897.2
申请日：2019-12-06
Applicant: 北京师范大学 , 稳力(广东)科技有限公司
IPC: C23C14/32
Abstract: 本发明公开了一种磁过滤管道，涉及磁过滤技术领域，包括：第一矩形管和第二矩形管，所述第一矩形管一端与所述第二矩形管的一端固定连接，所述第一矩形管另一端为磁过滤管道入口，所述磁过滤管道入口用于与阴极靶材法兰相连接，所述第二矩形管另一端为磁过滤管道出口，所述磁过滤管道出口用于与真空室连接，所述第一矩形管和所述第二矩形管内壁均设置有凸起和凹槽，所述凸起内用于填充冷水。所以，本发明克服了现有技术磁过滤管道存在的尺寸小以及膜层沉积效率低的缺陷，本发明能够提高膜层沉积效率，并有利于降低生产成本。
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公开(公告)号：CN108193170B
公开(公告)日：2019-10-01
申请号：CN201810040979.3
申请日：2014-09-23
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种柔性基材电路板及金属钉扎层的制备方法和设备，其中，该金属钉扎层的制备方法包括：利用金属蒸汽真空弧(MEVVA)离子源，向基底层注入第一金属元素，对所述基底层进行清洗；利用磁过滤阴极真空弧(FCVA)离子源，在清洗后的基底层表面，磁过滤沉积得到第一金属膜层；利用所述MEVVA离子源，向所述第一金属膜层表面注入第二金属元素，形成金属钉扎层。因此，采用本发明的制备方法和设备制备得到的金属钉扎层和柔性基材电路板具有很高结合力和抗剥离性。
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公开(公告)号：CN106756868B
公开(公告)日：2019-07-09
申请号：CN201610990847.8
申请日：2016-11-10
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明涉及一种提高掺杂类金刚膜层质量的方法，在工件上等离子体化学气相沉积掺杂类金刚膜层之前，在所述工件周围设置屏蔽装置，所述屏蔽装置具有开口，且所述开口正对等离子体出口；在等离子体化学气相沉积掺杂类金刚膜层过中，所述屏蔽装置不随所述工件旋转，但与所述工件等电位。本实施例提供的方法，主要是在沉积过程中，通过在旋转的工件周围设置，使其屏幕工件圆周附近等离子体密分布极度不均匀的位置，只接收正对等离子体出口位置的等离子体密度强的离子沉积，最终获得的膜层均匀性和膜层结合力等有着大幅的提升，非常适合工业化大批量生产。
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公开(公告)号：CN107248490B
公开(公告)日：2019-02-22
申请号：CN201710368331.4
申请日：2017-05-23
Applicant: 北京师范大学
IPC: H01J37/08 , H01J37/147 , H01J37/317
Abstract: 本发明公开了一种新型的离子源引出‑加速电极结构，其中，引出电极由圆孔型引出设计为等宽的长条形引出形状，同时加速电极之间的距离不再恒定，设计为连续变化的引出间距，即加速电极之间的距离由5mm变为可变区间3‑7mm。通过实施本发明，离子束斑的形状发生明显的改变，由原来的圆形束斑变成长条形束斑，束斑尺寸可为(100‑200mm)×(300‑800mm)，大大提高了离子束斑的纵向宽度，在处理长条形工件时有着非常明显的优势。同时，通过引出‑加速电极的改变离子束流大大增加，在相同束流强度下能够大大增加阴极靶材的寿命。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109306449A
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201811381462.7
申请日：2018-11-20
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种生物针灸表面处理技术及设备，包括针柄、针身和针尖，针身基于离子束技术制备了超薄、超高绝缘以及超硬的类金刚石涂层,类金刚石涂层的厚度为1-6nm，在针身的类金刚石膜层上沉积三条宽2-5μm测试通道线；针柄连接电针仪电极，测试通道线连接生物电流测试系统；外接电极电流从针尖定向导入作用于深层的病变部位，同时相关病变部位的生物电流反馈测试系统。本发明因采用了类金刚石超薄纳米涂层，配合电针仪以及生物电流测试系统使用时产生治疗和监控作用，不但可以大幅提高治疗效果，同时很好的监控医患的病变部位的生物特征。本发明适用于针灸针，定向导电针灸针绝缘层制备方法、生物电流测试方法及其通道线的制备工艺。
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公开(公告)号：CN108359942A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201810263024.4
申请日：2018-03-28
Applicant: 北京师范大学
CPC classification number: C23C14/325 , C23C14/022 , C23C14/0611 , C23C14/5826 , C23C14/5873
Abstract: 本发明公开了一种类金刚石涂层的制备方法，包括以下步骤：S1：利用气体离子源对基体表面进行高低能交替清洗；S2：以碳靶为阴极，利用磁过滤沉积技术在所述基体上进行类金刚石涂层的沉积；该方法沉积速率高，成本低，能实现大批量生产；S3：利用激光器对类金刚石涂层进行表面刻蚀，刻蚀间隔为2-10微米；S4：利用气体离子源对图形化类金刚石膜进行表面处理。采用该方法制备的涂层为四面体非晶形碳高sp3和低sp3含量交替变化结构；该涂层具备高耐磨损性能，比含氢类金刚石、高sp3含量类金刚石以及低sp3含量类金刚石具备更高的抗裂纹生长能力以及抗摩擦磨损性能。
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公开(公告)号：CN108193170A
公开(公告)日：2018-06-22
申请号：CN201810040979.3
申请日：2014-09-23
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种柔性基材电路板及金属钉扎层的制备方法和设备，其中，该金属钉扎层的制备方法包括：利用金属蒸汽真空弧(MEVVA)离子源，向基底层注入第一金属元素，对所述基底层进行清洗；利用磁过滤阴极真空弧(FCVA)离子源，在清洗后的基底层表面，磁过滤沉积得到第一金属膜层；利用所述MEVVA离子源，向所述第一金属膜层表面注入第二金属元素，形成金属钉扎层。因此，采用本发明的制备方法和设备制备得到的金属钉扎层和柔性基材电路板具有很高结合力和抗剥离性。
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公开(公告)号：CN107236928A
公开(公告)日：2017-10-10
申请号：CN201710593253.8
申请日：2017-07-20
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种柔性基材电路板及其制备方法和设备，其中，该金属钉扎层的制备方法包括：利用金属蒸汽真空弧(MEVVA)离子源，向基底层注入第一金属元素，对所述基底层进行清洗；利用磁过滤阴极真空弧(FCVA)离子源，在清洗后的基底层表面，磁过滤沉积得到第一金属膜层；利用所述MEVVA离子源，向所述第一金属膜层表面注入第二金属元素，形成金属钉扎层。因此，采用本发明的制备方法和设备制备得到的金属钉扎层和柔性基材电路板具有很高结合力和抗剥离性。
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公开(公告)号：CN105755465A
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：CN201610105817.4
申请日：2016-02-26
Applicant: 北京师范大学
CPC classification number: C23C28/343 , A47J36/025 , C23C14/0605 , C23C14/16 , C23C14/35 , C23C14/48 , C23C28/32
Abstract: 本发明公开了一种基于离子束技术的新型无烟锅的制造方法及设备.该无烟锅的制备方法包括：以铝合金、不锈钢或者铁锅为基体，利用离子束技术在锅底沉积一层导热性好、无毒、环保的超硬类金刚石膜层。具体的沉积方法包括：采用金属真空蒸汽离子源(MEVVA)在锅基底表面注入金属Ti离子形成金属″钉扎层″，接着采用90度磁过滤金属阴极真空弧(FCVA)技术，在基体表面沉积第一层金属Ti应力释放层；在所述的第一层应力释放层之上，采用180度磁过滤FCVA方法沉积得到第二层超硬类金刚石膜层，二层复合膜总厚度为0.1?10微米，膜层的热导率为500?1000W/m·K是铁锅热导率的20倍以上，同时膜层硬度为60Gpa，是铁、不锈钢或者铝合金硬度15倍以上.通过实施本发明，能够制造出新型、能适用于各种类型的锅铲、且寿命长的无烟锅。
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