公开(公告)号：CN103217195A

公开(公告)日：2013-07-24

申请号：CN201310027481.0

申请日：2013-01-24

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 矢田秀贵 ,  畑板刚久 ,  岸田创太郎

IPC: G01F1/48

CPC classification number: F16L55/027 ,  G01F1/34

Abstract: 本发明提供流体阻力部件，制造简单、实现了紧凑化、且有助于性能的均匀化和提高精度等。流体阻力部件(100)包括：两个构件(1)、(2)，具有彼此相对的相对面(1a)、(2a)，上游流道的下游端和下游流道的上游端开口于相对面(1a)、(2a)的彼此偏离的位置；以及环形件(3)，以包围下游端开口(41)和上游端开口(42)的方式配置，通过被相对面(1a)、(2a)夹持，在所述下游端开口(41)和上游端开口(42)之间形成流体阻力流道(5)，环形件(3)的材料比各构件(1)、(2)的材料硬，通过以使相对面(1a)、(2a)接近的方式紧固两个构件(1)、(2)，环形件(3)进入相对面(1a)、(2a)。

公开(公告)号：CN102565281A

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：CN201110407489.0

申请日：2011-12-08

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 桥本雄一郎 ,  宫地润一

IPC: G01N33/00

CPC classification number: G05D11/132 ,  G01N33/0006 ,  Y10T137/0318 ,  Y10T137/7759 ,  Y10T137/7761 ,  Y10T137/87249 ,  Y10T137/8729 ,  Y10T137/87314 ,  Y10T137/87676

Abstract: 本发明提供气体浓度调节装置和气体浓度调节方法，能防止标准气体管线(3)中的标准气体的滞留，从而能防止因标准气体的吸附和变质等造成标准气体的浓度降低。所述气体浓度调节装置包括：稀释气体管线(2)，设置有稀释气体流量调节机构(23)；标准气体管线(3)，设置有标准气体流量调节机构(33)；输出气体管线(4)，将稀释气体管线(2)和标准气体管线(3)汇合并输出规定浓度的标准气体；排气管线(5)，在标准气体管线(3)上与标准气体流量调节机构(33)的上游一侧连接，设置有开关阀和流量调节部；以及控制部(6)，根据流过标准气体管线(3)的标准气体的流量或所述标准气体的种类，切换开关阀的开闭。

公开(公告)号：CN102541101A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201110444164.X

申请日：2011-12-27

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 林大介

IPC: G05D11/08

Abstract: 本发明提供一种材料气体控制装置、控制方法、控制程序及控制系统，可以防止即使材料大量剩余，阀也过早地成为完全打开等而成为不能控制的状态。所述材料气体控制装置包括：第一阀，设置在导出管上；浓度测量机构，测量混合气体中的材料气体的浓度；第一阀控制部，控制第一阀的开度，使得由浓度测量机构测量出的材料气体的测量浓度成为预先设定的设定浓度；第二阀，设置在导入管上；以及第二阀控制部，对第二阀的开度进行控制，使得当第一阀的开度成为阈值开度时，在规定时间内使第二阀的开度成为变更后开度，阈值开度比完全打开的开度小第一规定值，变更后开度比第一阀的开度成为阈值开度时的变更前开度大第二规定值。

公开(公告)号：CN102326129A

公开(公告)日：2012-01-18

申请号：CN201080009025.8

申请日：2010-02-26

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 林达也

IPC: G05D7/06 ,  B01J4/02 ,  F17C9/02 ,  F17C13/00

CPC classification number: F17C9/02 ,  F17C2201/032 ,  F17C2205/0323 ,  F17C2205/0385 ,  F17C2223/0153 ,  F17C2227/0311 ,  F17C2227/0383 ,  F17C2227/044 ,  F17C2250/0636 ,  F17C2260/048

Abstract: 本发明提供一种结构紧凑的气体供给装置，该气体供给装置可以通过必要且最小限度的加热装置来防止汽化后的气体再液化，并且可以大幅度减小设置面积，气体供给装置(100)包括：容器(1)，储存液体材料(M)；以及质量流量控制器(2)，通过第一阀单元(31)与所述容器(1)的内部连接，并且控制所述液体材料(M)汽化后的气体的流量，在所述容器(1)的外壁内部形成有内部流道(13)，所述内部流道(13)包括产生气体导出管道(Gout)，所述产生气体导出管道(Gout)包括：第一阀流入流道(131)，连接容器(1)的内部和第一流入口(31i)；以及第一阀流出流道(132)，连接第一流出口(13o)和所述质量流量控制器(2)的导入口(H)。

公开(公告)号：CN101563663A

公开(公告)日：2009-10-21

申请号：CN200780044787.X

申请日：2007-12-05

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 安田忠弘

IPC: G05D7/06 ,  G05B23/02

CPC classification number: G05D7/0635

Abstract: 本发明旨在提供一流量控制装置的检定方法，可尽量缩短包含等待时间检定所需的时间，并进行精度佳的检定。为此，将成为检定对象的流量控制装置4及成为基准的流量控制装置5从上游以此顺序一前一后地设置在成为流量控制对象的流体流动的流路上，使该成为检定对象的流量控制装置4进入其阀几乎处于全开状态的流量非控制状态，并在通过该成为基准的流量控制装置5控制流体流量于规定流量的状态下判断该成为检定对象的流量控制装置4所产生的实测流量是否处于该成为基准的流量控制装置5所产生的实测流量的规定范围内。

公开(公告)号：CN101096753A

公开(公告)日：2008-01-02

申请号：CN200710127012.0

申请日：2007-06-15

Applicant: 株式会社堀场制作所 ,  株式会社堀场STEC ,  学校法人同志社

Inventor： 千田二郎 ,  大岛元启 ,  清水哲夫 ,  富永浩二 ,  松田耕一郎 ,  山岸丰

IPC: C23C16/00

CPC classification number: C23C16/4486 ,  C23C16/45523

Abstract: 本发明的成膜装置是一种使液体原料汽化，使其堆积于基板上而成膜的成膜装置，其特征在于，具有：在内部保持基板(W)的成膜室(2)以及多个喷射阀(3)，该喷射阀配置在所述成膜室(2)的不同位置，将同一液体原料直接喷射到所述成膜室(2)内，通过使其减压沸腾而将所述液体原料汽化供给。采用本发明，能够实现成膜室的小型化，进而实现成膜装置的小型化，使成膜的膜厚分布良好，汽化量多而提高成膜的生产效率。

公开(公告)号：CN111693230B

公开(公告)日：2025-05-13

申请号：CN202010165652.6

申请日：2020-03-11

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 松本飒太 ,  长井健太郎 ,  今里裕子

IPC: G01M3/28 ,  F16K37/00

Abstract: 本发明提供流体控制装置，能够以短时间对两个阀准确判断有无阀座泄漏，其包括：流体阻力件(R)，设置于流道；第一阀(V1)，设置于所述流体阻力件(R)的上游侧；第一压力传感器(P1)，测量所述流道中位于所述第一阀(V1)与所述流体阻力件(R)之间的第一容积(VL1)内的压力；第二阀(V2)，设置于所述流体阻力件(R)的下游侧；第二压力传感器(P2)，测量所述流道中位于所述流体阻力件(R)与所述第二阀(V2)之间的第二容积(VL2)的压力；阀控制器(4)，控制所述第一阀(V1)或所述第二阀(V2)；以及阀座泄漏判断部(52)，在所述阀控制器(4)使所述第一阀(V1)和所述第二阀(V2)完全关闭的状态下，基于所述第一压力传感器(P1)和所述第二压力传感器(P2)的各测量压力，判断所述第一阀(V1)和所述第二阀(V2)有无阀座泄漏。

公开(公告)号：CN119960504A

公开(公告)日：2025-05-09

申请号：CN202411572156.7

申请日：2024-11-06

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 樋口世治 ,  泷尻兴太郎

IPC: G05D7/06

Abstract: 一种控制参数计算装置，计算控制流体的流体控制装置的控制参数，包括：相关数据存储部，存储相关数据，相关数据表示作为基准的所述流体控制装置的基准控制参数与使用所述基准控制参数输出的基准响应信号的相关；对象响应信号取得部，取得使用与作为基准的所述流体控制装置不同的所述流体控制装置的对象控制参数输出的对象响应信号；相关控制参数计算部，取得所述相关数据和所述对象响应信号，并且通过使用所述相关数据来计算作为基准的所述流体控制装置中的与所述对象响应信号对应的相关控制参数；以及对象控制参数调整量计算部，基于所述相关控制参数和所述基准控制参数，计算所述对象控制参数的调整量。

公开(公告)号：CN119895075A

公开(公告)日：2025-04-25

申请号：CN202380070371.4

申请日：2023-10-02

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 西胁圭亮

IPC: C23C16/448 ,  B01J7/00 ,  B05B7/04 ,  H01L21/31

Abstract: 本发明提供液体材料气化装置以及液体材料气化方法。液体材料气化装置具备：气液混合部，将液体材料和载气混合而生成气液混合体；载气供给通道，向气液混合部供给载气；流道部，供由气液混合部生成的气液混合体流动；气化部，对在流道部中流动的气液混合体中包含的液体材料进行加热而使其气化；以及冷却部，对流道部进行冷却。冷却部与载气供给通道连通。

公开(公告)号：CN119878881A

公开(公告)日：2025-04-25

申请号：CN202411457562.9

申请日：2024-10-18

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 高仓洋

IPC: F16K31/00

Abstract: 本发明提供流体控制阀、流体控制装置和驱动电路，能够在压电致动器的充电时和放电时不切换动作模式而精度良好地控制压电致动器的输出电压，压电致动器的驱动电路包括：回扫变压器，初级线圈连接于直流电源，次级线圈连接于压电致动器；连接于初级线圈的充电开关；连接于次级线圈的放电开关；回收电容器，连接于初级线圈，回收压电致动器的放电能量；以及开关控制部，控制充电开关和放电开关的接通断开动作，开关控制部通过控制所述充电开关和所述放电开关的接通断开动作，使所述压电致动器的充电和放电反复进行，从而控制所述压电致动器的施加电压。