公开(公告)号：CN119895075A

公开(公告)日：2025-04-25

申请号：CN202380070371.4

申请日：2023-10-02

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 西胁圭亮

IPC: C23C16/448 ,  B01J7/00 ,  B05B7/04 ,  H01L21/31

Abstract: 本发明提供液体材料气化装置以及液体材料气化方法。液体材料气化装置具备：气液混合部，将液体材料和载气混合而生成气液混合体；载气供给通道，向气液混合部供给载气；流道部，供由气液混合部生成的气液混合体流动；气化部，对在流道部中流动的气液混合体中包含的液体材料进行加热而使其气化；以及冷却部，对流道部进行冷却。冷却部与载气供给通道连通。

公开(公告)号：CN119998035A

公开(公告)日：2025-05-13

申请号：CN202380070761.1

申请日：2023-08-30

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 矢田秀贵 ,  西胁圭亮

IPC: B01J4/00 ,  H01L21/205 ,  H01L21/31

Abstract: 本发明提供流体供给机构(100)，反复进行流体向腔室(CH)的供给与停止，所述流体供给机构(100)包括：流体供给通道(L1)，与腔室(100)连通；容器(T)，设置于流体供给通道(L1)并被导入流体；以及下游侧阀(Vd)，设置于流体供给通道中的容器(T)的下游侧，容器(T)通过变形而改变内部容积。

公开(公告)号：CN119680221A

公开(公告)日：2025-03-25

申请号：CN202411315340.3

申请日：2024-09-20

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 西胁圭亮

IPC: B01D1/16 ,  B01D1/30 ,  B01F25/421

Abstract: 本发明提供气化器和液体材料气化装置。加热液体材料(LQ)而使液体材料(LQ)气化的气化器(3)具备喷雾室(121)、多个加热流道(122)和锥形部(13)。向喷雾室(121)以雾状喷射液体材料(LQ)。多个加热流道(122)从喷雾室(121)至少向轴向一方(Da)延伸。锥形部(13)在喷雾室(121)与加热流道(122)的连通部(123)处朝向轴向而前端变细。