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公开(公告)号：CN106629585B
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201610867624.2
申请日：2016-09-30
Applicant: 渤海大学
IPC: B81C99/00
Abstract: 本发明公开了一种基于激波的MEMS微结构非接触式激励装置，包括基板、手动三轴位移台和支座，在手动三轴位移台上设有微结构单元；在支座上端设有内腔为半个椭球面的椭球腔体，在椭球腔体一侧设有第一针电极单元，其第一针电极针尖指向第一焦点；微结构单元位于所述椭球面的第二焦点处；在椭球腔体上另一侧设有第二针电极单元，其第二针电极针尖指向椭球面的第一焦点；第一、第二针电极分别与高压电容的两极电联接，在高压电容与第一针电极之间设有第一空气开关；高压电容的两极分别电联接至高压电源的正负极，并通过第二空气开关控制通断。该装置能够避免底座结构振动响应对测试结果的干扰，实现了对MEMS微结构的非接触式激励，激励效果好。
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公开(公告)号：CN106430086B
公开(公告)日：2017-09-15
申请号：CN201610867459.0
申请日：2016-09-30
Applicant: 渤海大学
IPC: B81C99/00
Abstract: 本发明公开了一种可在水中对MEMS微结构进行激励的聚焦激波激励装置，包括设在基板上的支座和椭球腔体，椭球腔体由下腔体和上腔体连接而成且内腔形成多半个椭球面；在下腔体内设有安装座，在安装座上端设有二个针电极；二个针电极针尖位于椭球面第一焦点处的横截面上；在支座上通过手动三轴位移台安装微结构单元，微结构单元位于椭球面的第二焦点处；针电极分别与高压电容的两极电联接，针电极针尖之间距离小于高压电容充分充电后在水中的最大空气击穿间隙；高压电容两极分别电联接至高压电源正负极。该装置不仅能够实现在水中对MEMS微结构进行激励，而且能够避免底座结构的振动响应对测试结果的干扰，实现了对微结构的非接触式激励，激励效果好。
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公开(公告)号：CN106629585A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201610867624.2
申请日：2016-09-30
Applicant: 渤海大学
IPC: B81C99/00
CPC classification number: B81C99/0035
Abstract: 本发明公开了一种基于激波的MEMS微结构非接触式激励装置，包括基板、手动三轴位移台和支座，在手动三轴位移台上设有微结构单元；在支座上端设有内腔为半个椭球面的椭球腔体，在椭球腔体一侧设有第一针电极单元，其第一针电极针尖指向第一焦点；微结构单元位于所述椭球面的第二焦点处；在椭球腔体上另一侧设有第二针电极单元，其第二针电极针尖指向椭球面的第一焦点；第一、第二针电极分别与高压电容的两极电联接，在高压电容与第一针电极之间设有第一空气开关；高压电容的两极分别电联接至高压电源的正负极，并通过第二空气开关控制通断。该装置能够避免底座结构振动响应对测试结果的干扰，实现了对MEMS微结构的非接触式激励，激励效果好。
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公开(公告)号：CN106586951A
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201610867460.3
申请日：2016-09-30
Applicant: 渤海大学
IPC: B81C99/00
CPC classification number: B81C99/0035
Abstract: 本发明公开了一种可在真空环境下对MEMS微结构进行激励的激波激励装置，包括基板，在基板上设有手动三轴位移台和支座，在手动三轴位移台的Z轴溜板上设有指向微结构单元的针电极单元；所述微结构单元包括安装套，在安装套的安装孔内一端压装有弹性底座，弹性底座为圆环形薄片状并在其中部设有环形凸台，在弹性底座内通过绝缘套镶装有板电极，弹性底座内侧安装有MEMS微结构；在安装孔内另一端压装有光学玻璃板；在安装套外壁沿径向设有真空接头；所述针电极和板电极分别与高压电容的两极电联接，所述高压电容的两极分别电联接至高压电源的正负极。该装置结构安装牢固，操作简便安全，便于在真空环境下测试微结构的动态特性参数。
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公开(公告)号：CN106121622A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201610597512.X
申请日：2016-07-27
Applicant: 渤海大学
IPC: E21B44/00 , E21B47/008 , G06F19/00
Abstract: 本发明公开了一种基于示功图的有杆泵抽油井的多故障诊断方法，涉及石油生产技术领域。将采集的地面示功图转换为井下泵功图，根据油田生产中已有的示功图数据建立各故障类型的标准特征库，对于每一个不变曲线矩特征向量的特征值，由区间数据的形式进行表示，然后计算所采集样本与标准特征库中各故障类型的关联度，判断所采集样本可能具有的故障类型，提高了故障诊断的可信性。最后将所采集样本可能具有的故障类型进行各种多个故障的组合，通过计算各个组合的F指标值来确定所具有的多故障类型。该方法原理简单，计算复杂性小，容易实现，诊断的准确度高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108217587B
公开(公告)日：2019-11-29
申请号：CN201711355477.1
申请日：2017-12-16
Applicant: 渤海大学
IPC: G01M7/02
Abstract: 本发明公开了一种用于MEMS微结构动态特性测试的四轴式底座激励装置，包括套筒、叠堆压电陶瓷、压力传感器、上、下联接块、钢球和MEMS微结构；在套筒内设有支撑板及电动丝杠传动机构；在上、下联接块上分别设有夹持钢球的球面凹槽和锥形凹槽；叠堆压电陶瓷夹持在压力传感器与弹性支撑件之间；在上联接块上均布连接有球头柱塞，球头柱塞外端顶入套筒内壁的矩形凹槽内。该装置能够灵活对叠堆压电陶瓷施加不同大小的预紧力，同时使所获得的预紧力测量值更加准确，可使补偿叠堆压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节过程变得更加顺畅和平滑，大大减小了叠堆压电陶瓷各层之间的剪切力，能够避免测试用微器件的脱落，便于测试MEMS微结构的动态特性参数。
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公开(公告)号：CN108195536B
公开(公告)日：2019-11-29
申请号：CN201711355455.5
申请日：2017-12-16
Applicant: 渤海大学
IPC: G01M7/02
Abstract: 本发明公开了一种用于对MEMS微结构进行动态加载的四轴式激振装置，包括套筒和底板，压电陶瓷，压力传感器，上、下联接块，钢球以及弹性支撑件和MEMS微结构；在套筒上端设有环形顶板，微结构通过弹性支撑件设在环形顶板上；在环形顶板和底板之间均布有导向轴，下联接块设有导向支臂并套在导向轴上，在导向支臂上分别设有锁紧装置；在上、下联接块上分别设有球面凹槽；压电陶瓷夹在压力传感器与弹性支撑件之间；上联接块外缘均布连接有安装块并通过球头柱塞定位于套筒外壁。该装置能够对压电陶瓷施加不同大小的预紧力，使所获得的预紧力测量值更加准确，可使补偿压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节过程变得更加顺畅和平滑，便于测试动态特性参数。
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公开(公告)号：CN108163806B
公开(公告)日：2019-10-18
申请号：CN201711355472.9
申请日：2017-12-16
Applicant: 渤海大学
IPC: G01M7/02
Abstract: 本发明公开了一种基于压电陶瓷的MEMS微结构四轴式底座激励装置，包括套筒、压电陶瓷、压力传感器、上联接块、钢球、下联接块以及弹性支撑件和MEMS微结构；在套筒内下部安装有电动丝杠传动机构，用于带动下联接块移动；在上联接块和下联接块的相对面上分别设有锥形凹槽和球面凹槽，压电陶瓷夹持在压力传感器与弹性支撑件之间；在套筒内沿圆周方向均布有导向轴；在导向轴上分别设有滑动座，上联接块与每个滑动座分别通过拉簧连接。该装置能够对叠堆压电陶瓷施加不同大小的预紧力，同时使所获得的预紧力测量值更加准确，可使补偿叠堆压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节过程变得更加顺畅和平滑，能够避免测试用微器件的脱落，便于测试动态特性参数。
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公开(公告)号：CN108217584B
公开(公告)日：2019-09-03
申请号：CN201711355469.7
申请日：2017-12-16
Applicant: 渤海大学
IPC: G01M7/02
Abstract: 本发明公开了一种用于对MEMS微结构进行动态加载的三轴式激振装置，包括套筒，压电陶瓷，压力传感器，上、下联接块，钢球以及弹性支撑件和MEMS微结构；在套筒两端设有环形顶板和底板，微结构通过弹性支撑件设在顶板上；在顶板和底板之间均布有导向轴，下联接块设有导向支臂且由套筒壁穿过并套在导向轴上，在导向支臂上分别设有锁紧装置；在上联接块和下联接块上分别设有球面凹槽；压电陶瓷夹在压力传感器与弹性支撑件之间；上联接块外缘通过连接杆连接的球头柱塞支撑在套筒内。该装置能够对压电陶瓷施加不同大小的预紧力，使所获得的预紧力测量值更加准确，可使补偿压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节过程变得更加顺畅和平滑，便于测试动态特性参数。
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公开(公告)号：CN108225702B
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201711355481.8
申请日：2017-12-16
Applicant: 渤海大学
Abstract: 本发明公开了一种用于MEMS微结构动态特性测试的三轴式压电陶瓷激励装置，包括套筒，压电陶瓷，压力传感器，上、下联接块，钢球以及弹性支撑件和MEMS微结构；在套筒两端设有环形顶板和底板，微结构通过弹性支撑件设在顶板上；在顶板和底板之间均布导向轴，下联接块设有导向支臂且由套筒壁穿过并套在导向轴上，在导向支臂上分别设有锁紧装置；在上联接块和下联接块上分别设有球面凹槽；压电陶瓷夹在压力传感器与弹性支撑件之间；上联接块外缘通过球头柱塞顶入到套筒内壁。该装置能够对压电陶瓷施加不同大小的预紧力，同时使所获得的预紧力测量值更加准确，可使补偿压电陶瓷两工作表面平行度误差的调节过程变得更加顺畅和平滑，便于测试动态特性参数。
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