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公开(公告)号:CN101714834A
公开(公告)日:2010-05-26
申请号:CN200910238145.4
申请日:2009-11-16
Applicant: 清华大学
IPC: H02N2/18
Abstract: 一种碰撞式压电振动能量收集装置,属于压电材料能量转化与收集装置技术领域。装置包括支撑基片(2)、垫片(3)、振动块(4)、固定块(6)等;支撑基片(2)固定在垫片(3)上,垫片(3)固定在振动块(4)上,振动块(4)在环境振动或冲击的作用下与固定块之间产生相对运动,与固定块(6)发生碰撞,碰撞后支撑基片带动压电层以其自振频率振动。所述支撑基片为压电材料或固定有压电层(1)。所述支撑基片上有质量块(7)。本发明可以有效收集低频、高强度冲击能量,解决了因环境固有振动频率与振动结构谐振频率不易匹配、能量转换效率低等问题,适用于低频、冲击能量高、非连续振动环境,可应用于传感器或其他低功耗系统中自供电。
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公开(公告)号:CN100570397C
公开(公告)日:2009-12-16
申请号:CN200510085529.9
申请日:2005-07-26
Applicant: 清华大学
IPC: G01S5/18
Abstract: 本发明公开了属于超声传感技术领域的一种空间位置检测系统及其检测方法。该空间位置检测系统,由超声发射装置、超声接收装置、光同步信号装置、数据处理系统和数据传输接口这几部分组成。主要应用于物体相对于某个参照坐标系的三维或二维平面上空间位置的检测。其数据处理系统利用光同步信号的传输,测量出超声波在介质中传播的渡越时间,或者可不用光同步信号的传输,直接测量出超声波从超声发射器到每个超声接收器的传播渡越时间之间的差值,进而确定超声发射器到每个超声接收器的距离,经过简单立体几何的演算,就能计算出超声发射器或发射装置顶端的三维空间位置,给航空航天、军事、医疗方面带来简单快捷的位置确定方法,有广泛的应用前途。
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公开(公告)号:CN116636873A
公开(公告)日:2023-08-25
申请号:CN202310444429.9
申请日:2023-04-21
Applicant: 清华大学
IPC: A61B7/04
Abstract: 本发明公开了一种全纤维的柔性心音传感器及其制备方法。柔性心音传感器包括压电层和电极层,压电层为掺杂有钛酸钡纳米颗粒的P(VDF‑TrFE)静电纺丝纤维;电极层为聚氨酯与石墨烯浆料和银纳米线混合静电纺丝的导电纤维层,电极层包括分别设置在压电层上下两侧的上电极层和下电极层,上电极层和下电极层分别连接上电极导线和下电极导线,在受到外部应力时,电极层将应力传递给压电层,压电层内部极化,在表面感应出相反电荷,并通过电极层传导出来形成电势差本发明的心音传感器为全流程柔性纤维制备,无金属电极参与,具有较高的信噪比和灵敏度,较好地稳定性和透气性,在长期监测中可确保可靠性和舒适性,大幅提升了压电传感器的性能。
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公开(公告)号:CN113405685A
公开(公告)日:2021-09-17
申请号:CN202110535196.4
申请日:2021-05-17
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明属于温度测量领域,特别地涉及一种基于PEDOT‑ZnO纳米异质结的温度传感器。本发明所述温度传感器以PEDOT的纳米材料和ZnO的纳米材料形成的纳米异质结作为温度敏感元件。本发明所述的温度传感器与现有的PN结温度传感器相比,测温范围宽,可实现‑60~+90℃范围的测温,具有较高的灵敏度和准确度,而且本发明的温度传感器与其他传感器具有更低的能耗更高的稳定性。
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公开(公告)号:CN108548783A
公开(公告)日:2018-09-18
申请号:CN201810210189.5
申请日:2018-03-14
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提供一种化学成分检测系统和检测方法,该化学成分检测系统包括微流控芯片和检测处理模块;通过在微流控芯片中设置微泵、第一微管道、超过四个可关闭的液体进出口和光学检测单元安装腔,并将液体进出口分别连接至待检测液和不同的测试液,通过微泵更换第一微管道内的液体,再通过微泵和液体进出口的开合决定进入第一微管道内测试液的种类和量,最后通过安装在光学检测单元安装腔的光学检测单元获取待检测液中化学成分的相关数据以获得检测结果;从而实现了一个检测系统同时对多个化学成分的参数的检测,又由于微流控芯片具有体积小,消耗试样和试剂极少的特点,微流控芯片可在待检测液中多点分布设置,以实现同时对多点的化学成分的检测。
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公开(公告)号:CN104020359B
公开(公告)日:2016-08-17
申请号:CN201410281318.1
申请日:2014-06-20
Applicant: 清华大学
IPC: G01R29/12
Abstract: 本发明属于传感器技术领域,尤其涉及一种基于驻极体的MEMS电场传感器,主要用于空间中低频交流电场的测量。该传感器包括:绝缘基板、细条、细丝、支撑面、驻极体;其中细丝置于绝缘基板平行上方,并与基板上的导电细条构成电容。通过支撑面上粘附的驻极体构成的静电场,对处于场中的金属细丝提供适当的偏置。当外加交流电场时金属细丝会产生相应频率和振幅的振动,本发明通过检测金属细丝和基板上导电细条构成的电容的变化来测量外加交流电场的大小和幅值。本发明采用MEMS微加工工艺制造,体积小,携带方便,设备简单,相比于已有的光纤测量系统成本低很多。
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公开(公告)号:CN102946212B
公开(公告)日:2016-08-03
申请号:CN201210445979.4
申请日:2012-11-08
Applicant: 清华大学
IPC: H02N3/00
Abstract: 本发明属于能量收集与转换装置技术领域,特别涉及一种边缘电场驱动的静电式振动能量收集装置。本装置由电极、驻极体和可动结构组成;电极部分覆盖驻极体上表面;可动结构感知面内振动、离面振动、俯仰激励或冲击激励,在驻极体上方、各电极之间的区域内运动。电极由电阻率不超过2×10-6Ω·m的导电性材料制成;驻极体为具有电荷存储能力的电介质材料;驻极体或可动结构可以以固连方式级联,形成阵列式装置。本发明可以有效收集各种振动或冲击类型的动能,同时解决了因环境固有振动频率具有多值、可变等特点所导致的振动结构的谐振频率不易匹配、能量转换效率低等问题,可广泛应用于宽频带振动、冲击或激励方式多样的振动环境的能量收集。
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公开(公告)号:CN105391404A
公开(公告)日:2016-03-09
申请号:CN201510924414.8
申请日:2015-12-14
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了基于石墨烯场效应管的双平衡混频器,四个石墨烯场效应管的栅极、源极、漏极交叉连接在一起,通过外部电路连接到差分输入、输出端口。本发明具有如下优点:四个石墨烯场效应管的栅极、源极、漏极交叉连接在一起,通过外部电路连接到差分输入、输出端口,通过这种交叉耦合的方式,有效抑制电路的高频分量,提高了线性度,抑制了穿通,减小了噪声。
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公开(公告)号:CN102867753B
公开(公告)日:2015-10-28
申请号:CN201210331121.5
申请日:2012-09-07
Applicant: 清华大学
IPC: H01L21/336 , H01L29/78 , H01L21/28 , H01L29/45
Abstract: 本发明公开了一种基于倒置工艺的射频功率管及其形成方法,该方法包括:提供衬底;形成过渡层;形成源极连接线、漏极连接线和栅极连接线;在过渡层之上形成层间介质层,层间介质层填充在连接线之间;在层间介质层之上形成金属接触层,金属接触层与连接线相连;刻蚀金属接触层以形成互相平行的N个源极、N个漏极和2N-1个栅极,其中,源栅漏极按照源极-栅极-漏极-栅极的顺序依次相邻排列,N个源极与源极连接线相连,N个漏极与漏极连接线相连,2N-1个栅极与栅极连接线相连;形成栅极介质层;以及形成石墨烯薄膜作为沟道层。本发明的方法采用倒置工艺,易于实现、稳定可靠;本发明的器件具有倒置结构,源漏接触小、栅控能力强。
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公开(公告)号:CN104022688A
公开(公告)日:2014-09-03
申请号:CN201410281164.6
申请日:2014-06-20
Applicant: 清华大学
IPC: H02N2/18
Abstract: 本发明属于能量收集利用技术领域,尤其涉及一种基于驻极体的MEMS电场能量收集器,主要用于空间中交流电场的能量收集。该收集器包括:绝缘基板、压电丝、支撑面、驻极体;其中压电丝置于绝缘基板平行上方;通过支撑面上粘附的驻极体构成的静电场,对处于场中的压电丝提供适当的偏置;在静电场偏置下的压电丝对外加电场的敏感性大大增强,当压电丝在外部电场激励下振动时,压电材料受拉伸或压缩发生应力应变导致内部电荷流动形成电信号,实现机械能向电能的转换,并通过压电丝连接的外部电路完成对电场能量的收集功能。本发明采用MEMS微加工工艺制造,开创性的利用了空间中的电场能量,体积小携带方便,成本低。
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