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公开(公告)号：CN103270815A
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：CN201180062668.3
申请日：2011-12-20
Applicant: 夏普株式会社
IPC: H05B33/10 , C23C14/04 , C23C14/24 , G09F9/30 , H01L27/32 , H01L51/50 , H05B33/04 , H05B33/06 , H05B33/26
CPC classification number: H01L51/0011 , C23C14/042 , C23C14/12 , H01L51/0008
Abstract: 本发明的蒸镀方法包括：准备工序，准备固定蒸镀掩模（81）与蒸镀源（85）的相对位置的掩模单元；蒸镀工序，使上述掩模单元和被成膜基板（200）中的至少一个相对移动，使从蒸镀源（85）射出的蒸镀流蒸镀在蒸镀区域（210）；和闸门位置调整工序，调整第二闸门（111）的位置，以遮蔽流向不需蒸镀区域（210）的蒸镀流。
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公开(公告)号：CN103238374A
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201180058041.0
申请日：2011-12-15
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/56 , C23C14/044 , C23C14/12 , C23C14/562 , C23C16/45578 , H01L27/3244 , H01L51/0011
Abstract: 依次配置有蒸镀源(60)、限制板单元(80)、蒸镀掩模(70)。限制板单元具备沿一个方向配置的多个限制板(81)。限制板单元的规定限制空间(82)的面(83)和限制板单元的与蒸镀源相对的面(84)中的至少一部分，由相对于基部(85)能够装卸的至少一个外面部件(110、120)构成。由此，能获得能够在大型的基板上形成端缘的模糊受到抑制的覆膜的维护性优良的蒸镀装置。
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公开(公告)号：CN102860132A
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN201180021351.5
申请日：2011-05-02
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/001 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/24 , H01L27/3211 , H01L51/56
Abstract: 依次配置蒸镀源（60）、多个限制板（81）和蒸镀掩模（70）。使基板相对于蒸镀掩模以隔开一定间隔的状态相对地移动。从蒸镀源的蒸镀源开口（61）放出的蒸镀颗粒（91），通过相邻的限制板之间，并通过在蒸镀掩模形成的掩模开口（71）附着于基板，而形成覆膜（90）。限制板限制向掩模开口入射的蒸镀颗粒的、沿基板的相对移动方向看时的入射角度。由此，在大型的基板也能够以不扩大像素间距、不降低开口率等的方式形成有机EL元件。
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公开(公告)号：CN108026630B
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201680054843.7
申请日：2016-09-20
Applicant: 夏普株式会社
Abstract: 本发明提供材料利用效率比以往高的蒸镀源。蒸镀源(10)包括：蒸镀颗粒射出单元(30)，其具有：各自具有至少1个蒸镀喷嘴(32、52)且在垂直方向上彼此隔开间隔地叠层的多段的喷嘴单元、和设置在各段的蒸镀喷嘴之间的至少1个空间部(43)；和与至少1个空间部(43)连接的真空排气单元(14)。
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公开(公告)号：CN109076674B
公开(公告)日：2020-06-23
申请号：CN201780027231.3
申请日：2017-04-26
Applicant: 夏普株式会社
Abstract: 蓝色荧光发光层(34B)在第一子像素和第二子像素中共用地设置，绿色荧光发光层(34G)在第二子像素和第三子像素中共用地设置，红色发光层(34R)在第二子像素和第四子像素中共用地设置，在第二子像素(3G1)中，相对面间距离(DBG)为福斯特半径以下，红色发光层与蓝色荧光发光层和绿色荧光发光层中的一者隔着分隔层(35)层叠。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105609519B
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201510566081.6
申请日：2012-01-13
Applicant: 夏普株式会社
Abstract: 本发明提供被成膜基板、制造方法和有机EL显示装置。被成膜基板包括：第一成膜区域和第二成膜区域沿着规定方向彼此隔开间隔地交替配置的基板；和分别在基板的第一成膜区域和第二成膜区域覆盖形成的第一膜和第二膜，第一膜在规定方向上的两侧部分分别具有膜厚向规定方向上的前端侧逐渐减少的膜厚渐减部分，第二膜在规定方向上的两侧部分分别具有膜厚向规定方向上的前端侧逐渐减少的膜厚渐减部分，该膜厚渐减部分与第一膜的膜厚渐减部分重叠，第二膜的除膜厚渐减部分以外的大致平坦部分的膜厚小于第一膜的除膜厚渐减部分以外的大致平坦部分的膜厚，在第二膜上还包括第一缓冲层，第一膜的大致平坦部分的膜厚，与第一缓冲层和第二膜的膜厚之和相等。
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公开(公告)号：CN107002224B
公开(公告)日：2019-07-02
申请号：CN201580061590.1
申请日：2015-11-10
Applicant: 夏普株式会社
Abstract: 本发明提供能对应基板的大型化的具备新颖对准机构的蒸镀装置、蒸镀方法、及有机电致发光元件的制造方法。本发明是一边在第一方向运送基板一边进行蒸镀的蒸镀装置，蒸镀装置具备：掩膜；含有基板保持部、及从基板保持部向掩膜侧突出沿着第一方向被设置的导引部的基板拖盘；被设置在掩膜一方的第一端部、或导引部的距离测定装置；被连接于掩膜另一方的第二端部的驱动装置；距离测定装置，在导引部与第一端部对向时，测定距离测定装置与导引部、或第一端部之间的距离；驱动装置，可基于距离测定装置的测定值，在与第一方向正交的第二方向驱动掩膜。
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公开(公告)号：CN107083531B
公开(公告)日：2019-02-19
申请号：CN201610815187.X
申请日：2014-03-10
Applicant: 夏普株式会社
Abstract: 蒸镀单元(1)具备蒸镀掩模(50)、蒸镀源(10)和限制板单元(20)。限制板单元(20)具备在X轴方向隔开设置的多个第一限制板(32)和俯视时在第一限制板(32)上在X轴方向隔开设置的多个第二限制板(42)，在X轴方向，相对于每1块第一限制板(32)设置有至少2块第二限制板(42)。
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公开(公告)号：CN108353473A
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201680066418.X
申请日：2016-11-15
Applicant: 夏普株式会社
IPC: H05B33/02 , G09F9/00 , G09F9/30 , H01L27/32 , H01L51/50 , H05B33/10 , H05B33/12 , H05B33/22 , H05B33/24 , H05B33/28
Abstract: 本发明的一个方式的有机电致发光装置包括：在一面侧设置有凹部的基材；和发光元件，该发光元件包括：至少设置在凹部的表面的反射层；隔着反射层填充在凹部的内侧的具有光透射性的填充层；至少设置在填充层的上层侧的具有光透射性的第一电极；设置在第一电极的上层的至少包含发光层的有机层；设置在有机层的上层侧的具有光透射性的第二电极；和至少覆盖第一电极的端部的边缘覆盖层，凹部的位置的第一电极的上表面位于比包含反射层的上表面的平面靠下方的位置，第一电极的端部存在于凹部内并且与反射层分离。
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公开(公告)号：CN108029163A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201680052134.5
申请日：2016-08-10
Applicant: 夏普株式会社
Abstract: 本发明的一个方式的有机电致发光装置包括：在一面侧设置有凹部的基材；至少沿着凹部的表面设置的反射层；隔着反射层填充在凹部的内侧的具有光透射性的填充层；至少设置在填充层的上层侧的具有光透射性的第一电极；设置在第一电极的上层侧的至少包含发光层的有机层；和设置在有机层的上层侧的具有光透射性和光反射性的第二电极，填充层包含至少1种荧光体。
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