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公开(公告)号：CN107083531A
公开(公告)日：2017-08-22
申请号：CN201610815187.X
申请日：2014-03-10
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: C23C14/042 , C23C14/044 , C23C14/12 , C23C14/24 , C23C16/042 , H01L51/0011 , H01L51/56 , H05B33/10
Abstract: 蒸镀单元(1)具备蒸镀掩模(50)、蒸镀源(10)和限制板单元(20)。限制板单元(20)具备在X轴方向隔开设置的多个第一限制板(32)和俯视时在第一限制板(32)上在X轴方向隔开设置的多个第二限制板(42)，在X轴方向，相对于每1块第一限制板(32)设置有至少2块第二限制板(42)。
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公开(公告)号：CN105378139A
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201480039163.9
申请日：2014-03-04
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/0011 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C16/458 , H01L27/3241 , H01L51/50 , H01L51/5012
Abstract: 本发明提供能够高精度地形成薄膜的图案的蒸镀装置和蒸镀方法以及显示品质优异的有机电致发光显示装置的制造方法。本发明是一种使用扫描蒸镀法的蒸镀装置，其中，限制部件包括：第一板部；与第一板部之间隔开间隔地设置的第二板部；和将第一板部与第二板部连接的连接部，在第一板部设置有开口，在第二板部设置有与第一板部的开口相对的开口，在第一板部的开口与第二板部的开口之间存在第一空间，在与基板的法线方向和基板的扫描方向正交的方向上的第一空间的旁边，在第一板部与第二板部之间存在第二空间，第一空间与第二空间连接，在基板的扫描方向上的第二空间的旁边，在限制部件之外存在第三空间，第二空间与第三空间连接。
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公开(公告)号：CN105283576A
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201480033438.8
申请日：2014-03-10
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: C23C14/042 , C23C14/044 , C23C14/12 , C23C14/24 , C23C16/042 , H01L51/0011 , H01L51/56
Abstract: 蒸镀单元(1)具备蒸镀掩模(50)、蒸镀源(10)和限制板单元(20)。限制板单元(20)具备在X轴方向隔开设置的多个第一限制板(32)和俯视时在第一限制板(32)上在X轴方向隔开设置的多个第二限制板(42)，在X轴方向，相对于每1块第一限制板(32)设置有至少2块第二限制板(42)。
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公开(公告)号：CN107002224A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201580061590.1
申请日：2015-11-10
Applicant: 夏普株式会社
Abstract: 本发明提供能对应基板的大型化的具备新颖对准机构的蒸镀装置、蒸镀方法、及有机电致发光元件的制造方法。本发明是一边在第一方向运送基板一边进行蒸镀的蒸镀装置，蒸镀装置具备：掩膜；含有基板保持部、及从基板保持部向掩膜侧突出沿着第一方向被设置的导引部的基板拖盘；被设置在掩膜一方的第一端部、或导引部的距离测定装置；被连接于掩膜另一方的第二端部的驱动装置；距离测定装置，在导引部与第一端部对向时，测定距离测定装置与导引部、或第一端部之间的距离；驱动装置，可基于距离测定装置的测定值，在与第一方向正交的第二方向驱动掩膜。
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公开(公告)号：CN105940140A
公开(公告)日：2016-09-14
申请号：CN201480074226.4
申请日：2014-11-28
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/0002 , C23C14/042 , C23C14/044 , C23C14/12 , C23C14/24 , C23C14/546 , C23C16/455 , C23C16/50 , H01L51/0008 , H01L51/5012 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供在整个蒸镀区域中基板上的蒸镀率的控制精度优异的蒸镀装置、蒸镀方法和有机电致发光元件的制造方法。本发明提供在基板上形成膜的蒸镀装置，上述蒸镀装置包括第一膜厚监视部和包含蒸镀源的蒸镀单元，并且，一边基于上述第一膜厚监视部的测定结果，控制从上述蒸镀源放出气化后的材料的部分与上述基板的被蒸镀的表面之间的距离，一边进行蒸镀。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104968827A
公开(公告)日：2015-10-07
申请号：CN201480007204.6
申请日：2014-01-28
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: C23C16/042 , C23C14/04 , C23C14/12 , H01L51/001 , H01L51/50
Abstract: 蒸镀装置(50)包括Y轴和X轴方向的长度比被成膜基板(200)短的多个蒸镀掩模(80)，在Y轴方向上相邻的蒸镀掩模(80)在X轴方向上错开地配置，在Y轴方向上相邻的各掩模开口组区域(82)在X轴方向上重叠的重叠区域(83)中，在平面视图中Y轴方向的开口长度随着向各掩模开口组区域(82)的外侧去而逐渐变短。
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公开(公告)号：CN105473757B
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201480044817.7
申请日：2014-07-25
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: C23C14/24 , C23C14/042 , H01L27/3211 , H01L51/0011 , H01L51/5012 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供能够防止由蒸镀流的散射引起的异常成膜的发生的蒸镀装置、和利用该蒸镀装置形成薄膜图案的有机电致发光元件的制造方法。本发明为一种蒸镀装置，其包括：具有射出蒸镀颗粒的喷嘴的蒸镀源；一体化限制板，该一体化限制板具有在该喷嘴的前方具有开口部的第一限制板、和配置在该第一限制板的开口部内的多个第二限制板；和具有多个缝隙的掩模。本发明还为一种有机电致发光元件的制造方法，其包括使用该蒸镀装置形成薄膜的图案的蒸镀工序。
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公开(公告)号：CN105283576B
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201480033438.8
申请日：2014-03-10
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: C23C14/042 , C23C14/044 , C23C14/12 , C23C14/24 , C23C16/042 , H01L51/0011 , H01L51/56
Abstract: 蒸镀单元(1)具备蒸镀掩模(50)、蒸镀源X轴方向隔开设置的多个第一限制板(32)和俯视时在第一限制板(32)上在X轴方向隔开设置的多个第二限制板(42)，在X轴方向，相对于每1块第一限制板(32)设置有至少2块第二限制板(42)。(10)和限制板单元(20)。限制板单元(20)具备在
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公开(公告)号：CN104968827B
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201480007204.6
申请日：2014-01-28
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: C23C16/042 , C23C14/04 , C23C14/12 , H01L51/001 , H01L51/50
Abstract: 蒸镀装置(50)包括Y轴和X轴方向的长度比被成膜基板(200)短的多个蒸镀掩模(80)，在Y轴方向上相邻的蒸镀掩模(80)在X轴方向上错开地配置，在Y轴方向上相邻的各掩模开口组区域面视图中Y轴方向的开口长度随着向各掩模开口组区域(82)的外侧去而逐渐变短。(82)在X轴方向上重叠的重叠区域(83)中，在平
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公开(公告)号：CN105473757A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201480044817.7
申请日：2014-07-25
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: C23C14/24 , C23C14/042 , H01L27/3211 , H01L51/0011 , H01L51/5012 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供能够防止由蒸镀流的散射引起的异常成膜的发生的蒸镀装置、和利用该蒸镀装置形成薄膜图案的有机电致发光元件的制造方法。本发明为一种蒸镀装置，其包括：具有射出蒸镀颗粒的喷嘴的蒸镀源；一体化限制板，该一体化限制板具有在该喷嘴的前方具有开口部的第一限制板、和配置在该第一限制板的开口部内的多个第二限制板；和具有多个缝隙的掩模。本发明还为一种有机电致发光元件的制造方法，其包括使用该蒸镀装置形成薄膜的图案的蒸镀工序。
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