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公开(公告)号：CN118207599A
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202410326784.0
申请日：2024-03-21
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明属于半导体设备电镀技术领域，具体公开了一种适用于垂直挂镀电镀和水平旋转镀的电镀装置及电镀方法，其中电镀装置包括射流结构、搅拌结构、阴极夹具和镀槽结构；射流结构包括射流执行机构和射流安装机构；射流执行机构包括阳极、阳极夹紧板、射流板、回流孔容纳板、回流板；射流安装机构由射流板安装座与多个紧定螺丝组成，射流板安装座上部的凹陷区域可对射流板与回流板进行固定与夹紧，射流板安装座与镀槽底板通过紧定螺丝固定；搅拌执行机构包括多根搅拌桨叶、搅拌桨叶支架、直线电机、水平移动导轨、导轨安装架、搅拌桨叶支架安装架。本发明确保高电镀效率的同时获得更好的镀层厚度均匀性，并实现单面电镀和双面电镀。
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公开(公告)号：CN112229749B
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN202010909629.3
申请日：2020-09-02
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种微纳结构力学特征参数测量装置、测量板和测量方法，包括固定件、变形放大件和变形传递件；该变形放大件与固定件固定连接，其还设有两支撑条，两支撑条的靠近固定件的位置设有连接点；该变形传递件两相对侧分别与两连接点相连，其上还设有安装部和限位部，该安装部用于夹持待测结构，该限位部固定于安装部两相对侧。可测量微纳结构在一道或多道工艺流程后的力学特征参数，进而获得残余应力情况。
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公开(公告)号：CN112665890A
公开(公告)日：2021-04-16
申请号：CN202011625568.4
申请日：2020-12-31
Applicant: 厦门大学
IPC: G01M99/00
Abstract: 本发明公开了一种微米级金属微通道换热器性能测试装置，包括热源芯片、金属微通道换热器、测试盒体、电路板、泵、压力测量系统和温度采集系统；金属微通道换热器装置于测试盒体内并与测试盒体出入水口相连通，热源芯片设置于金属微通道换热器之上，压力测量系统和温度采集系统分别用于检测流阻和温度。本发明还提供了基于上述测试装置的性能评估方法。本发明可准确获取散热能力，评估各部分散热贡献，便于大功率芯片应用散热性能评估。
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公开(公告)号：CN112229749A
公开(公告)日：2021-01-15
申请号：CN202010909629.3
申请日：2020-09-02
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种微纳结构力学特征参数测量装置、测量板和测量方法，包括固定件、变形放大件和变形传递件；该变形放大件与固定件固定连接，其还设有两支撑条，两支撑条的靠近固定件的位置设有连接点；该变形传递件两相对侧分别与两连接点相连，其上还设有安装部和限位部，该安装部用于夹持待测结构，该限位部固定于安装部两相对侧。可测量微纳结构在一道或多道工艺流程后的力学特征参数，进而获得残余应力情况。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109560054A
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201811541540.5
申请日：2018-12-17
Applicant: 厦门大学
IPC: H01L23/427 , B81C3/00
Abstract: 本发明提出了一种应用于芯片散热的金属微通道热沉结构及其制造方法，通过三维垂直结构微流道系统设计，微流体从封装壳体底层流入后拾阶而上分流冷却大功率射频芯片热点然后拾阶而下流出，实现了高密度芯片的同时高效散热的功能，解决了传统微流道低导热性及金属微流道制造工艺兼容性等难题，具有重要意义。
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公开(公告)号：CN105405838A
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201510593503.9
申请日：2015-09-17
Applicant: 苏州含光微纳科技有限公司 , 厦门大学
IPC: H01L23/522 , H01L21/768
Abstract: 本发明涉及一种新型TSV转接板及制作方法。该转接板包括基板，所述基板上有若干个自由柱，其一端通过空隙与基板相分离，另一端通过绝缘材料与基板固定与绝缘，所述基板上下两面以及所述的自由柱的侧壁覆盖着一层绝缘层，自由柱的自由端面和固定端面均存在由金属层构成的欧姆接触。所述基板为低阻硅材料(≤0.1Ω·cm)，所述自由柱与基板间接接触所使用的绝缘材料为二氧化硅、玻璃浆料和树脂的一种；所述与自由柱的自由端及固定端构成欧姆接触的金属层是铜、铝、金、锡等的一种。本发明从根本上避免了像Cu、Au、W与硅衬底存在热膨胀系数失配造成的热应力问题，实现了低热应力TSV转接板。
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公开(公告)号：CN103393419B
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201310355828.4
申请日：2013-08-15
Applicant: 厦门大学
IPC: A61B5/0408 , A61B5/0478
Abstract: 一种具有表面微结构阵列的生物医用电极及其制造方法，涉及一种生物医用电极。所述具有表面微结构阵列特征的生物医用电极设有金属电极芯、泡沫材料背衬和屏蔽导线。将金属薄片作为金属电极芯的原材料，采用激光微加工技术在金属电极芯上形成具有纵向距离为0.1～0.3mm，横向距离为0.1～0.3mm的微结构阵列，清洗干燥后用盐酸除去氧化层和杂质，再用酒精清洗后在金属电极芯表面镀Au或Ag/AgCl薄层；将金属电极芯用胶水粘贴于泡沫材料背衬的表面；将屏蔽导线穿透泡沫材料背衬，并通过填充导电银胶方式连接在金属电极芯表面，待导电银胶固化后即可形成金属电极芯与屏蔽导线的无焊连接，得具有表面微结构阵列的生物医用电极。
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公开(公告)号：CN103994803A
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：CN201410227468.4
申请日：2014-05-27
Applicant: 厦门大学
IPC: G01F23/292 , G01B11/02 , G01P3/36
Abstract: 本发明公开了一种基于红外热像观察的热管吸液芯毛细流动测量方法及装置，通过吸液芯固定组件将吸液芯一端固定，利用移动调整组件实现吸液芯的移动，将吸液芯另一端浸入液体工质中，采用红外热像仪通过玻璃罩孔精确监测吸液芯内液体弯液面流动过程，处理监测记录以定量获得毛细流动距离及流动速率。本发明利用液体工质与吸液芯金属基体及多孔介质发射率差异导致红外热像不同显示的特点，有效克服了传统毛细流动测量方法的缺陷，尤其适合无色透明液体在热管吸液芯内毛细流动过程的定量精确监测，实验装置简单，测量精度高，为热管吸液芯毛细性能的测试评价提供了可靠的手段，并实现了红外热像方法由传统热测量向毛细流动应用领域的拓展。
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公开(公告)号：CN103462619A
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201310461791.3
申请日：2013-09-30
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种足底压力测量装置及其用于步态模式识别的方法，涉及一种压力测量装置。所述足底压力测量装置，包括左脚鞋垫和右脚鞋垫，以及信号调理电路、数据采集电路和计算机；所述左脚鞋垫和右脚鞋垫均设有4个压力传感器，左脚鞋垫的4个压力传感器与右脚鞋垫的4个压力传感器对称设置；4个压力传感器的安装位置为：鞋垫的足跟处安装1个，鞋垫的足掌处安装2个，鞋垫的足尖处安装1个；各个压力传感器的信号输出端接信号调理电路的输入端，信号调理电路的输出端接数据采集电路的输入端，数据采集电路的输出端接计算机。所述用于步态模式识别的方法：1）采集数据；2）数据处理和模式识别。结构简单、稳定性好、灵敏度和准确率高。
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