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公开(公告)号：CN115388615A
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202210411852.4
申请日：2022-04-19
Applicant: 北京师范大学
IPC: F25J1/02
Abstract: 本发明公开一种氩液化系统，涉及探测器相关技术领域；包括密封设置的冷箱，所述冷箱侧壁通过真空管路连通有真空系统；所述冷箱顶部固定设置有制冷机，所述制冷机下方的制冷机冷头位于所述冷箱内，所述制冷机冷头一侧连接有回热换热器，所述回热换热器底部连接有氩气管，所述制冷机冷头底部连接有液氩管，所述氩气管和液氩管末端分别穿过所述冷箱顶部后连接有探测器容器，探测器容器上用于安装探测器。本发明提供的氩液化系统，制冷效果好，能够为探测器提供持续稳定的低温环境。
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公开(公告)号：CN110578124B
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN201911004499.2
申请日：2019-10-22
Abstract: 本发明涉及膜材料技术领域，公开了一种在柔性基体上制备硬质薄膜的方法及相关产品，所述在柔性基体上制备硬质薄膜的方法为：在利用气体离子源对柔性基体进行清洗处理后，采用磁过滤技术在柔性基体上沉积依次制备金属膜层、有机‑金属异质结和金属过渡层，然后利用高功率脉冲磁控溅射技术制备梯度过渡层以及硬质薄膜，从而完成了柔性基体上硬质薄膜的制备。本发明实施例提供的制备方法使制备的硬质薄膜的结构更加稳固，能够大大提高硬质薄膜中各涂层界面间的结合强度，进一步提高了使用该硬质薄膜的工件的使役性能。
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公开(公告)号：CN111534820B
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN202010541095.3
申请日：2020-06-15
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明属于涂层技术领域，特别涉及一种自支撑绝缘介质及其制备方法和应用。本发明提供的自支撑绝缘介质，包括绝缘基体和由绝缘基体向自支撑绝缘介质表面依次设置的硅接枝层、碳化硅层、氧化铝层和聚四氟乙烯层。在本发明中，绝缘基体保证自支撑绝缘介质具有较大的整体电阻；接枝层有利于保证无机膜层与绝缘基体之间具有优良的结合力；碳化硅层和氧化铝层同时作为聚四氟乙烯层的支撑层，且氧化铝层具备很好的绝缘特性，还有阻氧扩散的作用；聚四氟乙烯层具有降低自支撑绝缘介质摩擦系数和保证绝缘性的作用。实施例测试结果表明，本发明提供的自支撑绝缘介质的电阻≥108Ω，摩擦系数≤0.1，维氏硬度≥1000HV，结合强度≥80MPa。
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公开(公告)号：CN110993886B
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN201911366423.4
申请日：2019-12-26
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明涉及一种锂电池集流体的制备装置，用于在聚合物表面制备集流体，包括：真空腔室上开设有第一法兰接口以及第二法兰接口；离子源模块设于第一法兰接口上；磁过滤模块设于第二法兰接口上；每个转轴均设于真空腔室中，每个转轴的形状均为中空圆环柱，每个转轴均与聚合物接触，每个转轴均用于传送聚合物通过真空腔室。本发明通过大幅降低集流体制备过程中对材料处理难度，在物体上覆盖沉积金属离子实现集流体的制备，大幅降低制成的集流体厚度，实现对6微米以下的集流体的制备，不需对铜箔进行压延处理，制备的集流体硬度与韧度均衡，所以不易撕裂、破损，由此，本发明制备的集流体可以批量生产，成品率高，在表面打孔时也不易破损。
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公开(公告)号：CN109097744B
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN201811090717.4
申请日：2018-09-19
Applicant: 北京师范大学
IPC: C23C14/32
Abstract: 本发明公开了一种脉冲磁过滤装置，包括，脉冲阴极弧头、引出电极、聚焦直管、磁过滤管、栅网以及射频四级杆过滤器。通过实施本发明，到达镀膜工件表面的离子方向性好，同时离子的电荷态相同，非常适合单晶或多晶膜层的精细化调控生长，同时通过控制四级杆过滤器射频频率可方便实现不同价态离子膜层的选择性精确镀制。本发明的脉冲磁过滤装置在超细、超微芯片或者晶圆种晶制备方面有着广泛的应用前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109082635B
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN201811091114.6
申请日：2018-09-19
Applicant: 北京师范大学
IPC: C23C14/32
Abstract: 本发明公开了一种大面积脉冲磁过滤装置，该装置包括：脉冲阴极弧头、引出电极、聚焦直管、磁过滤管道以及扩展管道。通过实施本发明，离子束斑的形状发生明显的改变，由原来的圆形束斑变成长条形束斑，束斑尺寸最大可为60mm×260mm，大大提高了离子束斑的纵向宽度，在长条形部件表面处理时有着非常明显的优势。同时本发明的大面积脉冲磁过滤装置能够实现导电性差点阴极材料膜层的镀制。通过引出电极和聚焦电极的配合使用能使引出束流大大增加，同时在扩散管道和磁过滤管道线包电流的配合下能大幅展开离子束斑尺寸，在相同束流强度下能够大大增加阴极靶材的寿命。
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公开(公告)号：CN111668080A
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN202010363614.1
申请日：2020-04-30
Applicant: 北京师范大学 , 广东省广新离子束科技有限公司
IPC: H01J37/08
Abstract: 本发明公开一种金属离子源发射装置，包括密封连接的陶瓷筒、引出电极室和三个并排设置的阴极，触发电极固定在陶瓷绝缘电极上，阴极靶材固定在间接冷却通道上，限位电极固定在固定电极上，固定电极通过螺扣将间接冷却通道固定在阴极冷却管上，阴极冷却管固定在阴极法兰上，触发接线柱通过导线和触发电极相连；引出电极室中位于阴极正下方设置有引出电极和加速电极，加速电极和引出电极上均设置有引出缝隙。该金属离子源发射装置，能够在一个阳极的情况下，同时让3个阴极进行工作，增大了离子源的照射面积，提高了工作效率、能源利用率；发射源更加紧凑，处理面积更大。
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公开(公告)号：CN111534820A
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN202010541095.3
申请日：2020-06-15
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明属于涂层技术领域，特别涉及一种自支撑绝缘介质及其制备方法和应用。本发明提供的自支撑绝缘介质，包括绝缘基体和由绝缘基体向自支撑绝缘介质表面依次设置的硅接枝层、碳化硅层、氧化铝层和聚四氟乙烯层。在本发明中，绝缘基体保证自支撑绝缘介质具有较大的整体电阻；接枝层有利于保证无机膜层与绝缘基体之间具有优良的结合力；碳化硅层和氧化铝层同时作为聚四氟乙烯层的支撑层，且氧化铝层具备很好的绝缘特性，还有阻氧扩散的作用；聚四氟乙烯层具有降低自支撑绝缘介质摩擦系数和保证绝缘性的作用。实施例测试结果表明，本发明提供的自支撑绝缘介质的电阻≥108Ω，摩擦系数≤0.1，维氏硬度≥1000HV，结合强度≥80MPa。
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公开(公告)号：CN111485208A
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN202010198940.1
申请日：2020-03-20
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种气浮电机润滑涂层制备方法，包括以下步骤：S1：利用气体离子源对基体表面进行高低能交替清洗；S2：利用BN加热器在真空度1×10-2-1×10-3Pa下对清洗后的基体进行加温至第一预定温度，保温1-5h；S3：将温度降至第二预定温度，利用磁过滤沉积技术，同时在基体上施加高功率脉冲偏压复合直流偏压进行类石墨涂层的沉积；然后将温度升至第三预定温度；S4：利用激光器对所述类石墨涂层进行表面刻蚀。该方法沉积速率高，成本低，能实现批量化生产。采用该方法制备的类金刚石涂层为硬度和氢含量循环交替变化的类石墨层状碳结构；且具备高耐腐蚀性，高抗裂纹扩展特性，高抗磨能力，同时具有高导电性，并且膜层致密性好。
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公开(公告)号：CN109306449B
公开(公告)日：2020-07-24
申请号：CN201811381462.7
申请日：2018-11-20
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种生物针灸表面处理技术及设备，包括针柄、针身和针尖，针身基于离子束技术制备了超薄、超高绝缘以及超硬的类金刚石涂层,类金刚石涂层的厚度为1‑6nm，在针身的类金刚石膜层上沉积三条宽2‑5μm测试通道线；针柄连接电针仪电极，测试通道线连接生物电流测试系统；外接电极电流从针尖定向导入作用于深层的病变部位，同时相关病变部位的生物电流反馈测试系统。本发明因采用了类金刚石超薄纳米涂层，配合电针仪以及生物电流测试系统使用时产生治疗和监控作用，不但可以大幅提高治疗效果，同时很好的监控医患的病变部位的生物特征。本发明适用于针灸针，定向导电针灸针绝缘层制备方法、生物电流测试方法及其通道线的制备工艺。
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