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公开(公告)号：CN116171016A
公开(公告)日：2023-05-26
申请号：CN202310142467.9
申请日：2023-02-08
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开一种探测器低温系统，涉及探测器相关设备技术领域；包括设置于支架上的容器系统、液化系统和真空系统；所述容器系统包括用于安装探测器的探测器容器，所述探测器容器通过密封保温设置的氩气管和液氩管与所述液化系统连接，所述液化系统和容器系统分别通过真空管路连接有所述真空系统，所述真空系统能够将所述容器系统和液化系统分别抽真空，所述液化系统用于将氩气液化后输送至所述探测器容器内。本发明提供的探测器低温系统，制冷效果好，能够持续的制冷，从而为探测器提供稳定的低温环境。
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公开(公告)号：CN111621744B
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202010198939.9
申请日：2020-03-20
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种刀具涂层及其沉积方法，其中，刀具涂层的沉积方法包括以下步骤：在惰性气体中，在刀具基体上沉积金属离子形成金属过渡层；在金属过渡层上依次沉积金属离子、金属碳化物、碳离子形成单元涂层；循环步骤2S若干次；在所述单元循环涂层表层沉积SP3键渐变的碳离子形成渐变碳膜层。本发明对在微型刀具上沉积超厚碳膜的沉积方法进行优化，在刀具表面沉积金属过渡层、单元循环沉积、sp3键不断升高的渐变碳膜层，涂层与刀具结合力大于30N，膜层厚度可高至15微米，硬度大于50Gpa。
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公开(公告)号：CN111575669B
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN202010417649.9
申请日：2020-05-18
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明涉及一种防高速冲击涂层方法，包括：对基体进行表面初步离子清洗；在表面清洗后的基体进行激光亚表面微结构化；对结构化表面深度清洗后进行离子注入，并退火形成伪扩散层；在所述伪扩散层之上，利用蒸发法沉积聚合物吸能膜层；利用高能离子注入对聚合物层进行金属化；利用磁过滤沉积设备在金属化层上沉积超硬金刚石涂层；循环制备聚合物层、金属化层以及超硬类金刚石层3‑5次。本发明实施例提供的方法，通过基体微结构、离子注入和沉积镀膜的相结合的方式，明显提高了基体的抗高速运动物体的冲击能力。因其方法简单、易操作，且成本低、效率高，非常适合批量化生产。
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公开(公告)号：CN111424243B
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN202010417846.0
申请日：2020-05-18
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明涉及一种散热涂层的制备方法，包括：对基体进行表面清洗；随后对基体进行多弧技术表面沉积Al，紧接着进行400‑600℃加热真空保温1‑4h，形成渗铝层；随后进行磁过滤沉积Al或Zn等；随后在氧气气氛下进行200‑800℃下充分氧化；随后通过磁过滤沉积AlN涂层；最后在表面沉积铜层形成覆铜板。本发明实施例提供的方法，通过多弧沉积、磁过滤沉积以及高温渗铝、高温氧化等过程相结合的方法制备的致密的高绝缘高导热涂层，明显提高了基体作为覆铜板的散热性能。因其方法简单、易操作，且成本低、效率高，非常适合工业化大批量生产。
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公开(公告)号：CN111020479B
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN201911355671.9
申请日：2019-12-25
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明提供了一种高遮挡件抗腐蚀多元涂层及其制备方法以及制备方法所用的装置，属于薄膜沉积技术领域。本发明提供的高遮挡件抗腐蚀多元涂层的制备方法，包括以下步骤：以碳硅靶和碳硅钛靶为阴极，利用磁过滤沉积法、多弧沉积法和第一高功率脉冲磁控法在高遮挡件基体交替循环沉积TiSiN膜层和TiSiCN膜层，得到TiSiN/TiSiCN复合交替层；利用第二高功率脉冲磁控法在所述TiSiN/TiSiCN复合交替层表面沉积Al2O3膜层，得到高遮挡件抗腐蚀多元涂层。本发明利用磁过滤沉积、多弧沉积和高功率脉冲磁控三种方法配合使用，制备的高遮挡件抗腐蚀多元涂层抗冲蚀性能、抗盐雾、抗酸碱腐蚀等特性优异。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111607772A
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：CN202010610496.X
申请日：2020-06-29
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种5G陶瓷滤波器膜层材料及其制备方法，属于陶瓷材料制备技术领域。所述膜层材料为四层复合结构，基体为陶瓷，中间过渡层依次为合金层和连接层，表层为银层；其中，合金层为以合金金属为阴极，利用多弧靶对陶瓷基体进行磁控溅射沉积而得；连接层为以Mo、Cu或Cr为阴极，利用圆柱多弧靶在合金层上沉积而得；表面银层以银为阴极，利用多弧靶和圆柱靶在连接层上进行银金属沉积而得。本发明选用磁控溅射和多弧离子镀组合制备膜层材料，以解决金属与陶瓷结合强度低、处理成本高及化学镀/电镀环境污染的问题，不仅制备工艺简便，而且所制得的5G陶瓷滤波器膜层材料具有结构致密、无明显缺陷及插入损耗低的优点。
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公开(公告)号：CN110957287A
公开(公告)日：2020-04-03
申请号：CN201911301282.8
申请日：2019-12-17
Applicant: 北京师范大学
IPC: H01L23/367 , H01L23/373 , H01L21/48
Abstract: 本发明涉及一种大功率散热器及其制备方法，通过在所述铝基板上生长所述氧化层，在所述氧化层上生长所述致密层，在所述致密层上生长所述绝缘层。并且，所述氧化层中包括多个用于增大所述散热器的体电阻值的纳米颗粒。本发明提供的大功率散热器及其制备方法，具有器件散热性能好、制备步骤简单的特点。
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公开(公告)号：CN108677142B
公开(公告)日：2019-10-01
申请号：CN201810358030.8
申请日：2018-04-20
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种疏水DLC涂层的制备方法，包括以下步骤：1S：利用气体离子源对基体表面进行高低能交替清洗；2S：以碳靶为阴极，利用凯赛奥弧磁过滤沉积方法在所述基体上进行疏水DLC涂层的沉积。该方法基于凯赛奥弧磁过滤沉积方法在沉积过程中可自形成碳纳米团簇，同时形成纳米凹凸结构，大大降低了制备成本，纳米颗粒本身的结合力也大大提高。通过该方法生产的疏水DLC涂层，具有疏水性能好、不湿润的特点，生产出的高频手术刀耐磨、不粘肉、血液分散不团聚，改善了血液团聚影响手术时医生视线的关键问题，从而改善医务人员的工作条件。
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公开(公告)号：CN105779936B
公开(公告)日：2018-12-04
申请号：CN201610035095.X
申请日：2016-01-20
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种制备超厚以及韧性高的TiN方法，其中，制备该TiN膜方法包括：采用金属阴极真空磁过滤沉积系统(FCVA)，在工件表面利用高能大束流金属离子束对工件进行清洗；然后采用金属真空蒸汽离子源方法(MEVVA)，在工件表面注入一层能提高膜基结合力的金属″钉扎层″；在所述的金属″钉扎层″之上，采用磁过滤阴极真空弧沉积方法(FCVA)，在对气体进气量进行正弦或余弦调制沉积得到超硬韧性好的厚TiN膜层；重复调制周期直至TiN膜总厚度为10‑30微米。通过实施本发明，在工件沉积TiN膜具有很好韧性以及很高的显微硬度。
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公开(公告)号：CN105755443B
公开(公告)日：2018-11-09
申请号：CN201610105819.3
申请日：2016-02-26
Applicant: 北京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种提高密封继电器推动杆部件寿命的方法及设备，该方法是利用低能离子束技术在推动杆部件其中推动球表明沉积超硬耐磨且绝缘性能好的膜层，制备该膜方法包括：采用金属真空蒸汽离子源方法(MEVVA)，在玻璃表面注入一层能提高膜基结合力的金属″钉扎层″；在所述的金属″钉扎层″之上，采用磁过滤阴极真空弧沉积方法(FCVA)沉积得到用于释放内应力的第一层金属薄膜过渡层；在所述的第一层过渡层之上，采用磁过滤阴极真空弧(FCVA)沉积方法沉积得到超硬耐磨的DLC层，膜总厚度为0.1‑5微米。通过实施本发明，在密封继电器推动杆部件沉积超硬DLC膜能够明显提高密封继电器推动杆部件中推动球的寿命。
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