一种柔性高能激光感知薄膜传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN119666036A

    公开(公告)日:2025-03-21

    申请号:CN202411717687.0

    申请日:2024-11-27

    Abstract: 本发明提供一种柔性高能激光感知薄膜传感器,包括传感薄膜及传感薄膜表面的激光高反射膜层。传感薄膜由柔性基底、上表面过渡层、下表面过渡层、上表面热敏电阻层、下表面热敏电阻层、上表面引线层、下表面引线层、上表面保护层、下表面保护层组成。本发明利用薄膜型双面电阻阵列实时监测激光辐照瞬态热效应、结合激光高反射膜层提升激光探测阈值,可实现激光功率密度、光斑尺寸、辐照位置等激光辐照参数的快速、精确测量,解决目前激光功率计、激光光斑分析仪等装置感光直径有限,难以适用于大光斑尺寸激光参数测量及激光感知告警,具有柔性大面积、结构简单、低成本等优点。

    一种Ag热控涂层表面的抗氧化涂层及其制备方法

    公开(公告)号:CN117385328A

    公开(公告)日:2024-01-12

    申请号:CN202311234900.8

    申请日:2023-09-22

    Abstract: 本发明提供一种Ag热控涂层表面的抗氧化涂层及其制备方法,属于飞行器热控材料领域。在刚性或柔性基底表面真空镀制Ag热控涂层,然后立刻在Ag热控涂层表面原位沉积致密的AlN涂层。AlN为宽带隙半导体材料,带隙宽度为6.2eV,对大于200nm的光具有高透性,无论在后续其它热控涂层制备过程中或者暴露于空气等氧化环境下,AlN抗氧化涂层都能有效阻隔氧化物质与Ag涂层接触。本发明采用AlN抗氧化涂层,可以解决Ag热控涂层在制备过程或使用过程中易被氧化的问题,能够保证Ag涂层的低太阳吸收率的热控性能,拓展被动热控材料在高性能航天器中的应用。本发明方法简易灵活,对基底兼容性好。

    一种微型原子氧密度传感器
    47.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117309674A

    公开(公告)日:2023-12-29

    申请号:CN202310952457.1

    申请日:2023-07-31

    Abstract: 本发明提供一种微型原子氧密度传感器,涉及空间环境探测技术领域。该微型原子氧密度传感器包括基底、支撑层、下绝缘层、上绝缘层、加热及测温电阻薄膜、加热及测温引线窗口、传感电极和纳米氧化锌薄膜。本发明利用纳米结构增强ZnO半导体薄膜原子氧传感灵敏度、高集成度微型传感MEMS器件设计降低系统尺寸及功耗等有益方案的结合,可实现空间原子氧密度的在轨连续监测,具有高灵敏度、高寿命、快速响应、小尺寸、低功耗等优点。该传感器可用于地面模拟设备原子氧密度和空间环境中的原子氧密度探测。

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