一种红外干涉高精度位移装置及其测量方法

    公开(公告)号:CN115164736A

    公开(公告)日:2022-10-11

    申请号:CN202210822265.4

    申请日:2022-07-13

    Abstract: 本发明公开了本发明提供一种红外干涉高精度位移装置,涉及光学用机械装置技术领域,具备直线位移机构;固定在直线位移机构上的移动干涉反射镜;纳米光栅,安装在所述直线位移机构上,所述纳米光栅能够实时测量所述直线位移机构的位移并发出位移信号;数据采集机构,接收自所述纳米光栅发出的位移信号并进行等间隔采样;还提供了该红外干涉高精度位移系统的测量方法;本发明中的干涉反射镜测量轴与直线位移机构运动轴同轴,并采用纳米光栅实时读取当前位置干涉光程差,不需要引入第二套光干涉系统,也不需考虑两套干涉系统光轴同轴问题,通过一次测量即可确定红外干涉零光程差的位置,保证仪器快速响应和测量。

    微纳涂层多功能力学试验机及其使用方法

    公开(公告)号:CN113432961A

    公开(公告)日:2021-09-24

    申请号:CN202110647765.4

    申请日:2021-06-10

    Abstract: 本发明涉及一种微纳涂层多功能力学试验机及其使用方法,其中微纳涂层多功能力学试验机包括工作台和工件固定装置,工作台上固设有支撑座和液体储存箱,支撑座上设有移动块和驱动移动块沿横向往复移动的横向驱动装置,工件固定装置上方设有摩擦组件以及给摩擦组件提供恒加载力的竖向驱动装置,竖向驱动装置与移动块相对固定设置。本发明通过加载力闭环控制,实现摩擦测试过程中的恒加载力加载实现了精确力度输出;通过摩擦组件与安装杆的插设连接,可以根据测试需求更换不同类型的摩擦组件,提高了试验机的通用性;通过加热装置对工件进行加热,满足了工件在不同温度下的摩擦测试要求;通过设置供液泵和液体储存箱,方便精确控制滴液速度。

    一种落射式紫外光学显微镜光源多维调节机构

    公开(公告)号:CN111399206A

    公开(公告)日:2020-07-10

    申请号:CN202010331853.9

    申请日:2020-04-24

    Abstract: 本发明公开一种落射式紫外光学显微镜光源多维调节机构,主要包括用于转换光路的落射照明盒、支撑零部件用的笼杆、安装各种透镜的笼板、光圈可调的可变光阑以及安装并调节紫外光源用的光学调整架。通过调节安装透镜的笼板和安装紫外光源的光学调整架在笼杆上的位置,能够实现成像要求的紫外光源的消色差、扩束和准直,通过移动可变光阑上的拨杆,能够调节紫外光源入射到落射照明盒的光束范围,通过调节安装紫外光源的光学调整架上面的旋转调节螺钉,能够实现紫外光源在俯仰、偏摆方向的微调,紫外光学显微镜在三种紫外光源调节方式下,互相配合,共同作用,从而达到高分辨率成像的显微镜光源需求。

    精密气浮位移平台
    44.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105252505A

    公开(公告)日:2016-01-20

    申请号:CN201510851125.X

    申请日:2015-11-30

    CPC classification number: B25H1/14 B23Q1/017 B23Q1/25 B23Q1/38

    Abstract: 一种精密气浮位移平台,在基座上固定有相互平行的两根纵向导轨,两根横向导轨的两端通过纵向滑块滑动连接在纵向导轨上;矩形移动框架的两端各通过一横向滑块滑动连接在横向导轨上;一侧的两个纵向滑块的外侧通过封板相互连接,在封板的外侧装有摩擦轮横向驱动装置,通过横向推杆与该矩形移动框架对应的边连接;在该基座的上面装有摩擦轮纵向驱动装置,通过纵向推杆与一根横向导轨的外侧中部连接;在横向滑块的下面与基座之间设有卸载气浮装置。本发明的优点是:运动机构采用井字形高精度气浮导轨实现XY轴精密导向,在平台负载主体与大理石之间设置卸载气浮装置,减小导轨负载,增大平台的承载能力;同时加入摩擦轮驱动机构,提高驱动平稳性。

    一种用于长度测量校准的标准器组

    公开(公告)号:CN108444416A

    公开(公告)日:2018-08-24

    申请号:CN201810606901.3

    申请日:2018-06-13

    Abstract: 本发明公开了一种用于长度测量校准的标准器组,其包括底座、支撑棒和标准球,所述底板上设置有若干通孔,所述支撑棒的一端设置在所述通孔中,所述支撑棒的另一端设置有一球窝,所述标准球设置在所述球窝内,所述标准球与所述球窝底面之间设置有粘接剂。本发明中采用在棒的顶端加工球窝,并通过粘接剂将标准球进行固定的方式,使得不对标准球进行任何破坏性加工,避免了标准球上破损导致测量结果准确性降低的问题,使得CT测量过程中可以充分利用整个球面,提高了测量结果的准确性。

    一种计量型微纳台阶高度测量装置

    公开(公告)号:CN104567693B

    公开(公告)日:2018-05-01

    申请号:CN201510012759.6

    申请日:2015-01-09

    Abstract: 本发明公开了一种计量型微纳台阶高度测量装置,包括支撑系统以及安装在支撑系统上的白光显微测头、位移扫描系统和计量系统。本发明的有益效果为:该计量型微纳台阶高度测量装置主要用来测量微纳台阶的高度或沟槽的深度。系统采用粗细两级位移扫描系统,压电陶瓷驱动的纳米位移台可在微米级扫描范围内实现亚纳米级步进;压电陶瓷驱动的升降台可在毫米级扫描范围内实现亚微米级步进;Z向测量范围最大可达200微米。显微干涉测头采用白光光源(即采用白光显微测头),基于白光干涉原理,可实现0.1nm的Z向分辨率,同时可直接获得被测表面的三维形貌。采用激光干涉仪组成计量系统,将位移直接溯源到国际单位制中米定义的波长基准。

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