一种基于视觉对准的MEMS摩阻传感器制作方法

    公开(公告)号:CN108467007A

    公开(公告)日:2018-08-31

    申请号:CN201810348331.2

    申请日:2018-04-18

    Abstract: 本发明公开了一种基于视觉对准的MEMS摩阻传感器制作方法。MEMS摩阻传感器分解为浮动元件、硅微结构、电极基板、接口电路和封装管壳5个部分,硅微结构和电极基板采用MEMS加工工艺制作,浮动元件采用和装管壳采用精密机械加工技术制作,接口电路采用陶瓷基精密微带电路技术制作。MEMS摩阻传感器采用专门的微组装设备和微组装工艺,微组装设备由精密视觉定位系统、三自由度微操作对准平台、真空吸头和图像辨识系统构成;利用视觉精密定位和微操作对准技术完成MEMS摩阻传感器的组装。本发明的基于视觉对准的MEMS摩阻传感器制作方法,提高了MEMS摩阻传感器加工、组装精度,进而提高了其在高超声速风洞内表面摩擦阻力测量的精准度。

    带CMOS温度传感器的温度补偿型半导体应变计

    公开(公告)号:CN108253877A

    公开(公告)日:2018-07-06

    申请号:CN201611247078.9

    申请日:2016-12-29

    Abstract: 本发明属于半导体应变测试技术领域,具体涉及一种带CMOS温度传感器的温度补偿型半导体应变计。包括:由四个压敏电阻组成的应变敏感器件,四个压敏电阻尺寸相同,相互连接并组建Wheatstone全桥;由两个CMOS晶体管组成的温度敏感器件,两个CMOS晶体管尺寸相同,位于Wheatstone全桥的四个压敏电阻中间;CMOS晶体管和Wheatstone全桥共用一个恒压激励源,且其负激励端接地,两个CMOS晶体管的基极直接连至全桥输入端的接地端,两个CMOS晶体管的集电极均由外部固定电阻连接至恒压激励源,且这两个外部固定电阻阻值不同。本发明通过用不同的驱动电流驱动两个相邻且等尺寸的晶体管,消除因晶体管各项寄生物理量及工艺偏差等引起的误差,从而增加了测量温度的精准度。

    一种风洞试验模型尾支杆锁紧与拆卸的装置及方法

    公开(公告)号:CN105699045B

    公开(公告)日:2018-01-09

    申请号:CN201511027454.9

    申请日:2015-12-25

    Abstract: 一种风洞试验模型尾支杆锁紧与拆卸的装置,包括装置本体、第一顶锥组件、第二顶锥组件和扳手;装置本体包括顶出螺杆、拉爪、横梁、螺栓和螺母,拉爪和横梁通过螺栓、螺母连接,顶出螺杆与第一拆卸顶锥、第二拆卸顶锥连接,横梁与第一定位顶锥、第二定位顶锥连接;第一顶锥组件包括第一拆卸顶锥和第一定位顶锥;第二顶锥组件包括第二定位顶锥、第二拆卸顶锥、两个胀紧套、导向螺钉和导向螺母;胀紧套中间设计导向槽。一种风洞试验模型尾支杆锁紧与拆卸方法,包括尾支杆锁紧、楔形键拆卸和尾支杆拆卸方法。本发明能可靠安装和方便快捷地拆卸楔形键、模型尾支杆,避免反复敲击楔形键对天平测量精度和模型机构产生影响。

    高超声速风洞动态试验模型Flap舵面舵机系统及其控制方法

    公开(公告)号:CN119827104B

    公开(公告)日:2025-05-13

    申请号:CN202510329339.4

    申请日:2025-03-20

    Abstract: 本发明属于高超声速风洞试验技术领域,公开了一种高超声速风洞动态试验模型Flap舵面舵机系统及其控制方法。舵机系统的机架上固定步进伺服电机和传动模块,舵面上固定舵偏角检测模块;舵机系统通过传动模块驱动舵面偏转,调整舵面偏角;同时,通过舵偏角检测模块测量舵面偏角。控制方法包括确定舵机系统的控制目标;建立步进伺服电机伺服控制器数学模型;建立步进伺服电机传动结构数学模型;建立舵偏角检测模块数学模型;建立舵机控制模型;进行舵面控制。舵机系统及其控制方法能够应用于高超声速飞行器动态风洞试验,具有工程实用价值。

    一种双框架结构的两分量MEMS摩阻传感器

    公开(公告)号:CN117268598B

    公开(公告)日:2024-10-01

    申请号:CN202311226984.0

    申请日:2023-09-21

    Abstract: 本发明属于微机电系统中的MEMS传感器领域,公开了一种双框架结构的两分量MEMS摩阻传感器。MEMS摩阻传感器由封装盖板、表头结构、接口电路和封装管座构成;封装盖板和封装管座为上下叠放的管体,封装盖板和封装管座的中心空腔安装有表头结构和接口电路;表头结构是MEMS摩阻传感器的主要构件,由浮动元件、双框架硅微结构和电极基板构成,用来感应飞行器模型表面的摩阻并转化为差分电容信号。该MEMS摩阻传感器采用浮动元件与待测壁面平齐、信号输出微结构与风洞流场隔离的立体式MEMS表头结构和平板电容差分检测测量方法。MEMS摩阻传感器能够同时测量平面内两个方向的表面摩擦阻力、测量范围均为0~100Pa、分辨率0.1Pa,能够满足方向不完全确定的两分量摩阻测量应用需求。

    一种高超声速风洞连续变攻角试验数据处理方法

    公开(公告)号:CN111351628B

    公开(公告)日:2021-09-07

    申请号:CN202010226310.0

    申请日:2020-03-27

    Abstract: 本发明公开了一种高超声速风洞连续变攻角试验数据处理方法。该数据处理方法针对在高超声速风洞模型上添加附加传感器比较困难的实际情况,仅基于高超声速风洞试验数据本身,采用基于方差极小值自适应分段、分段拟合及数据融合等步骤,实现了高超声速风洞连续变攻角试验数据处理。本发明的高超声速风洞连续变攻角试验数据处理方法,提高了超声速风洞连续变攻角试验数据处理精度,有助于推进高超声速风洞连续变迎角试验的推广应用,提升高超声速风洞试验效率。

    一种FPGA焊点电阻检测电路
    49.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107807280A

    公开(公告)日:2018-03-16

    申请号:CN201711234854.6

    申请日:2017-11-30

    CPC classification number: G01R27/02

    Abstract: 本发明公开了一种FPGA焊点电阻检测电路,由内部检测电路和外部检测电路组成,可以对FPGA引脚的焊点电阻进行检测,同时该引脚可以用于输出信号Sig的传输,并在重建的输出信号Sig_R处重建。基于时分复用,由测试逻辑输出控制信号控制多路选择器输出,检测过程由输出检测信号、反馈信号通过放电、充电外部电路(主要是C1)并基于充电时间计算焊点电阻R0,不进行检测时由电阻R2、电容C2在Sig_R处保持Sig信号,并提供驱动负载Rin需要的能量。基于该电路的FPGA焊点电阻检测,可以将待测引脚用于功能设计,且具有较低的检测功耗。

    一种风洞试验模型尾支杆锁紧与拆卸的装置及方法

    公开(公告)号:CN105699045A

    公开(公告)日:2016-06-22

    申请号:CN201511027454.9

    申请日:2015-12-25

    CPC classification number: G01M9/04

    Abstract: 一种风洞试验模型尾支杆锁紧与拆卸的装置,包括装置本体、第一顶锥组件、第二顶锥组件和扳手;装置本体包括顶出螺杆、拉爪、横梁、螺栓和螺母,拉爪和横梁通过螺栓、螺母连接,顶出螺杆与第一拆卸顶锥、第二拆卸顶锥连接,横梁与第一定位顶锥、第二定位顶锥连接;第一顶锥组件包括第一拆卸顶锥和第一定位顶锥;第二顶锥组件包括第二定位顶锥、第二拆卸顶锥、两个胀紧套、导向螺钉和导向螺母;胀紧套中间设计导向槽。一种风洞试验模型尾支杆锁紧与拆卸方法,包括尾支杆锁紧、楔形键拆卸和尾支杆拆卸方法。本发明能可靠安装和方便快捷地拆卸楔形键、模型尾支杆,避免反复敲击楔形键对天平测量精度和模型机构产生影响。

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