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公开(公告)号：CN114216648A
公开(公告)日：2022-03-22
申请号：CN202210154250.5
申请日：2022-02-21
Applicant: 中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所
Abstract: 本发明属于微机电系统中的MEMS传感器领域，公开了一种高频响大量程的MEMS摩阻传感器。该MEMS摩阻传感器由封装盖板、表头结构、接口电路和封装管座构成；封装盖板和封装管座为上下叠放的圆柱体，封装盖板和封装管座的中心空腔安装有表头结构和接口电路；表头结构是MEMS摩阻传感器的主要构件，由浮动元件、硅微结构和电极基板构成，用来感应飞行器模型表面的摩阻并转化为差分电容信号。该MEMS摩阻传感器采用浮动元件与待测壁面平齐、信号输出微结构与风洞流场隔离的立体式MEMS表头结构和平板电容差分检测测量方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117268598B
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202311226984.0
申请日：2023-09-21
Applicant: 中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所
IPC: G01L1/14
Abstract: 本发明属于微机电系统中的MEMS传感器领域，公开了一种双框架结构的两分量MEMS摩阻传感器。MEMS摩阻传感器由封装盖板、表头结构、接口电路和封装管座构成；封装盖板和封装管座为上下叠放的管体，封装盖板和封装管座的中心空腔安装有表头结构和接口电路；表头结构是MEMS摩阻传感器的主要构件，由浮动元件、双框架硅微结构和电极基板构成，用来感应飞行器模型表面的摩阻并转化为差分电容信号。该MEMS摩阻传感器采用浮动元件与待测壁面平齐、信号输出微结构与风洞流场隔离的立体式MEMS表头结构和平板电容差分检测测量方法。MEMS摩阻传感器能够同时测量平面内两个方向的表面摩擦阻力、测量范围均为0～100Pa、分辨率0.1Pa，能够满足方向不完全确定的两分量摩阻测量应用需求。
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公开(公告)号：CN117268597A
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202311226952.0
申请日：2023-09-21
Applicant: 中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所
IPC: G01L1/14
Abstract: 本发明属于微机电系统技术领域，公开了一种测量粗糙表面摩阻的MEMS摩阻传感器及其制作和设计方法。MEMS摩阻传感器分解为浮动元件、硅微结构、电极基板、接口电路和封装管壳，再分别加工、组装。制作方法包括微组装设备和微组装方法。设计方法包括力学分析、力学计算、工艺设计和位移计算。本发明的测量粗糙表面摩阻的MEMS摩阻传感器及其制作和设计方法实现了MEMS摩阻传感器的复杂环境测量能力，测量范围0～100Pa、分辨率0.1Pa、测量带宽0～200Hz，具有体积小、温度稳定性好、可靠性高等特点，能够精确测量复杂气动外形的表面摩擦阻力。
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公开(公告)号：CN117268597B
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202311226952.0
申请日：2023-09-21
Applicant: 中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所
IPC: G01L1/14
Abstract: 本发明属于微机电系统技术领域，公开了一种测量粗糙表面摩阻的MEMS摩阻传感器及其制作和设计方法。MEMS摩阻传感器分解为浮动元件、硅微结构、电极基板、接口电路和封装管壳，再分别加工、组装。制作方法包括微组装设备和微组装方法。设计方法包括力学分析、力学计算、工艺设计和位移计算。本发明的测量粗糙表面摩阻的MEMS摩阻传感器及其制作和设计方法实现了MEMS摩阻传感器的复杂环境测量能力，测量范围0～100Pa、分辨率0.1Pa、测量带宽0～200Hz，具有体积小、温度稳定性好、可靠性高等特点，能够精确测量复杂气动外形的表面摩擦阻力。
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公开(公告)号：CN117268598A
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202311226984.0
申请日：2023-09-21
Applicant: 中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所
IPC: G01L1/14
Abstract: 本发明属于微机电系统中的MEMS传感器领域，公开了一种双框架结构的两分量MEMS摩阻传感器。MEMS摩阻传感器由封装盖板、表头结构、接口电路和封装管座构成；封装盖板和封装管座为上下叠放的管体，封装盖板和封装管座的中心空腔安装有表头结构和接口电路；表头结构是MEMS摩阻传感器的主要构件，由浮动元件、双框架硅微结构和电极基板构成，用来感应飞行器模型表面的摩阻并转化为差分电容信号。该MEMS摩阻传感器采用浮动元件与待测壁面平齐、信号输出微结构与风洞流场隔离的立体式MEMS表头结构和平板电容差分检测测量方法。MEMS摩阻传感器能够同时测量平面内两个方向的表面摩擦阻力、测量范围均为0～100Pa、分辨率0.1Pa，能够满足方向不完全确定的两分量摩阻测量应用需求。
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公开(公告)号：CN114216648B
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN202210154250.5
申请日：2022-02-21
Applicant: 中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所
Abstract: 本发明属于微机电系统中的MEMS传感器领域，公开了一种高频响大量程的MEMS摩阻传感器。该MEMS摩阻传感器由封装盖板、表头结构、接口电路和封装管座构成；封装盖板和封装管座为上下叠放的圆柱体，封装盖板和封装管座的中心空腔安装有表头结构和接口电路；表头结构是MEMS摩阻传感器的主要构件，由浮动元件、硅微结构和电极基板构成，用来感应飞行器模型表面的摩阻并转化为差分电容信号。该MEMS摩阻传感器采用浮动元件与待测壁面平齐、信号输出微结构与风洞流场隔离的立体式MEMS表头结构和平板电容差分检测测量方法。
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