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公开(公告)号：CN107608217A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201711073629.9
申请日：2017-11-05
Applicant: 西北工业大学 , 西北工业大学深圳研究院 , 上海航天控制技术研究所
IPC: G05B13/04
Abstract: 本发明公开了一种基于复合学习的MEMS陀螺仪模糊滑模控制方法，用于解决现有MEMS陀螺仪模态控制方法实用性差的技术问题。技术方案是首先根据模糊预测误差和跟踪误差，设计模糊逻辑权值的复合自适应律，修正模糊逻辑的权重系数，实现未知动力学的有效动态估计；同时由于系统处于滑动模态时，对参数不确定和外界干扰不敏感，设计滑模控制器，实现未知动力学的前馈补偿。本发明考虑预测误差和跟踪误差，设计模糊逻辑权值的复合学习更新律，修正模糊逻辑的权重系数，实现未知动力学的有效动态估计。结合滑模控制理论，实现对MEMS陀螺未知动力学的前馈补偿，进一步提高MEMS陀螺仪的控制精度，实用性好。
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公开(公告)号：CN111595313B
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202010485083.3
申请日：2020-06-01
Applicant: 上海航天控制技术研究所
IPC: G01C19/5776
Abstract: 本发明公开了一种基于离散电极的轴对称谐振陀螺参数激励方法，该方法包含：步骤1，提供n个间隔布置在半球谐振陀螺上的激励电极，方位设置满足：步骤2，对激励电极施加直流偏置电压以及激励电压进行参数激励，激励电压的频率为谐振子振动信号的两倍；施加在第i个激励电极的电压为：Vi＝VbiasV0cos2ωλt；步骤3，调节激励电压的频率和激励电压的幅度，使激励电压和激励电压的频率达到参数激励的最小电压和谐振频率，使激励电压的幅度为谐振子参数激励下稳定边界电压的最小值。本发明通过离散电极激励，振幅最大的地方将获得最多的能量补充，此时能量补充不影响驻波方位，避免现有位置激励方式引起的驻波方位绑定现象，提高了轴对称谐振陀螺的精度和性能。
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公开(公告)号：CN110686662B
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN201911173681.0
申请日：2019-11-26
Applicant: 上海航天控制技术研究所
IPC: G01C19/5649 , G01C19/5656 , G01C25/00
Abstract: 本发明公开了一种可在线自校准的双模式差分谐振式陀螺仪系统，该系统在力平衡模式同时驱动第一模态和第二模态，并同时检测第一模态和第二模态，从而在同一个陀螺结构上实现两个力平衡模式的谐振陀螺，并通过双模式差分，可完全抑制刚度正交误差和阻尼正交误差的干扰。本发明采用完全的物理手段对刚度正交误差和阻尼正交误差进行数学消除，避免了力平衡模式中使用电路手段仅能对刚度正交误差进行抑制的不足，简化了控制电路的复杂度，可实现谐振式陀螺零位误差的在线自校准。
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公开(公告)号：CN114253179A
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN202111355549.9
申请日：2021-11-16
Applicant: 上海航天控制技术研究所
IPC: G05B19/042
Abstract: 本发明提供一种基于共用离散电极的振动陀螺控制电路，包括：陀螺表头电极、模拟开关电路、电容检测电路、陀螺数字控制电路和陀螺驱动电路；陀螺表头电极与模拟开关电路互连，模拟开关电路连接至电容检测电路，电容检测电路连接至陀螺数字控制电路，陀螺数字控制电路连接至陀螺驱动电路，陀螺驱动电路连接至所述模拟开关电路，陀螺数字控制电路还连接至模拟开关电路的选择端SEL，控制模拟开关在陀螺表头电极和电容检测电路、陀螺驱动电路间的通断。基于上述电路，本发明还提供一种振动陀螺的检测驱动分时控制方法。本发明能够使陀螺检测点和驱动点的相位达至理想状态，使交变的驱动信号对检测无耦合。
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公开(公告)号：CN112629557A
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN202011269662.0
申请日：2020-11-13
Applicant: 上海航天控制技术研究所
IPC: G01C25/00
Abstract: 本发明公开了一种MEMS陀螺仪自动化测试设备，包括：温箱，所述温箱内设有测试台；设置在所述测试台上的若干个待测MEMS陀螺仪；工控机，其与所述温箱以及所述测试台连接；所述工控机用于向所述温箱发送温度调整命令，所述温箱根据接收到的所述温度调整命令进行温度调整，直至所述温箱内的温度达到预设值；所述工控机用于获取各个通道上设置的所述待测MEMS陀螺仪的关键信息，所述关键信息包括每一所述待测MEMS陀螺仪的Q值、频差和温度系数信息，并将所述关键信息进行处理得到包含所有待测MEMS陀螺仪的Q值、频差和温度系数的数据文件。本发明可对多个MEMS陀螺仪的输出信号进行整合采集及简单地信号处理，减少了陀螺产品的出货不良率。
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公开(公告)号：CN112479150A
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN202011149196.2
申请日：2020-10-23
Applicant: 上海航天控制技术研究所
IPC: B81B7/00 , B81B7/02 , G01C19/5783
Abstract: 本发明公开了一种裸芯片组合封装结构，包括：PCB板，所述PCB板上设有干个凹槽，若干个芯片，每一所述芯片通过粘接层设置在所述PCB板上，所述粘接层对应覆盖于所述凹槽上，与所述凹槽构成一中空部。本发明实现在保证MEMS陀螺仪高性能的同时，降低封装技术成本、减小二级封装系统的体积，提高PCB板的利用率的目的。
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公开(公告)号：CN106323261B
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN201610635055.9
申请日：2016-08-04
Applicant: 上海交通大学 , 上海航天控制技术研究所
IPC: G01C19/5691
Abstract: 本发明提出了一种上分立下环形的双电极分布式微陀螺仪及其制备方法，包括：单晶硅基底、中心固定支撑柱、微型谐振子、上电极、下电极、玻璃基底。所述上电极为多个，分布均匀在微型谐振子的上侧，构成均匀分布式上电极，所述下电极为一个，设置在微型谐振子的下侧且该下电极呈环形一体式，构成一环形一体式下电极；本发明结合MEMS体硅加工工艺和表面硅加工工艺进行制作；本发明可提供不同的驱动、检测方式及不同的工作模式，可工作在需要复杂控制的系统中；本发明可利用下电极和上电极分别进行驱动和检测，减小驱动电极和检测电极之间的寄生电容，提高检测精度。
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公开(公告)号：CN106323259B
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN201610635051.0
申请日：2016-08-04
Applicant: 上海交通大学 , 上海航天控制技术研究所
IPC: G01C19/5684 , G01C19/5691
Abstract: 本发明提出了一种上下分立的双电极分布式微陀螺仪及其制备方法，包括：单晶硅基底、中心固定支撑柱、微型谐振子、上电极、下电极、玻璃基底。所述上电极为多个，多个上电极分布均匀在微型谐振子的上侧，构成均匀分布式上电极；所述下电极为多个，多个下电极均匀分布在微型谐振子的下侧，构成均匀分布式下电极；本发明结合MEMS体硅加工工艺和表面硅加工工艺进行制作；本发明可提供不同的驱动、检测方式及不同的工作模式，可工作在需要复杂控制的系统中；本发明可利用下电极和上电极分别进行驱动和检测，减小驱动电极和检测电极之间的寄生电容，提高检测精度。
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公开(公告)号：CN111115551A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201911241743.7
申请日：2019-12-06
Applicant: 上海航天控制技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种通过过渡层结构降低封装应力的MEMS惯性器件，所述的MEMS惯性器件包含：封装管壳、位于封装管壳内的芯片、以及设于所述封装管壳的底板与所述的芯片之间的过渡层；所述的过渡层包含若干片层，所述的片层包含：贴片胶层和应力缓冲层；所述的应力缓冲层的材质与所述的封装管壳或所述的芯片的材质相同。本发明通过对过渡层进行结构设计，在过渡层中设计应力缓冲区，应力缓冲层的材质与封装管壳或芯片的材质相同，有利于降低封装应力。
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公开(公告)号：CN110686662A
公开(公告)日：2020-01-14
申请号：CN201911173681.0
申请日：2019-11-26
Applicant: 上海航天控制技术研究所
IPC: G01C19/5649 , G01C19/5656 , G01C25/00
Abstract: 本发明公开了一种可在线自校准的双模式差分谐振式陀螺仪系统，该系统在力平衡模式同时驱动第一模态和第二模态，并同时检测第一模态和第二模态，从而在同一个陀螺结构上实现两个力平衡模式的谐振陀螺，并通过双模式差分，可完全抑制刚度正交误差和阻尼正交误差的干扰。本发明采用完全的物理手段对刚度正交误差和阻尼正交误差进行数学消除，避免了力平衡模式中使用电路手段仅能对刚度正交误差进行抑制的不足，简化了控制电路的复杂度，可实现谐振式陀螺零位误差的在线自校准。
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