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公开(公告)号：CN108227762A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201711283306.2
申请日：2017-12-07
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 丹尼尔·托马斯·马德 , 威廉·怀利·怀特
CPC classification number: G01F9/003 , G01F1/86 , G01F25/0046 , G05D7/0635
Abstract: 本发明提供流量计算系统和流量计算方法，能高精度地校准流体控制设备(MFC)的流量。所述流量计算系统(200)包括：封入有气体的容器(10)；放置容器(10)的重量测量部(20)；以及连接容器(10)和流体控制设备(MFC)并流通气体的气体管道(L1)，在容器(10)放置于重量测量部(20)上的状态下，从容器(10)向流体控制设备(MFC)或者从流体控制设备(MFC)向容器(10)流通气体，根据从重量测量部(20)输出的输出值，计算流体控制设备(MFC)中流通的气体流量，容器(10)和重量测量部(20)配置在被减压了的减压室(40)内。
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公开(公告)号：CN107448614A
公开(公告)日：2017-12-08
申请号：CN201710229874.8
申请日：2017-04-07
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供不容易产生污染的流体控制阀(3)和流体控制装置，流体控制装置使用所述流体控制阀(3)，为此，阀座构件(4)和阀体构件(6)中的至少任意一方包括金属制的基体(61)以及树脂层(62)，所述树脂层(62)覆盖所述基体(61)的表面并形成阀座面(4a)或接触阀座的面(6a)，所述树脂层(62)与所述基体(61)直接化学结合。
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公开(公告)号：CN106931221A
公开(公告)日：2017-07-07
申请号：CN201610874019.8
申请日：2016-09-30
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供流体控制阀及其控制方法，用于消除用户的误解，改善使用便利性，所述流体控制阀包括：阀座(31)；阀体(32)，以相对于阀座(31)能够接近或远离的方式设置；驱动器(33)，使阀体(32)在接近或远离的方向上移动；位置信息检测部(7)，检测与阀体(32)相对于阀座(31)的相对位置对应的值；以及位置输出部(42)，与在阀体(32)的开始打开的位置通过位置信息检测部(7)得到的位置信息无关地将所述开始打开的位置作为零位置。
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公开(公告)号：CN103529869B
公开(公告)日：2017-06-06
申请号：CN201310275956.8
申请日：2013-07-02
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 瀧尻兴太郎
CPC classification number: G05D7/0617 , G05D7/0635 , G05D16/20 , G05D16/2013 , Y10T137/7758 , Y10T137/7759
Abstract: 本发明提供压力控制装置、流量控制装置、压力控制方法及流量控制方法，即使在PID系数等增益设定得大的情况下也能防止阻尼振荡和上冲而不改变所述增益，即使在使设定了大的设定压力值时也能在短时间内变化到稳定状态，不论设定压力值为多少都能使从初始状态到达到稳定状态所需的时间一致。阀控制部（3）包括：开度操作量输出部（31），根据测量压力值和设定压力值输出所述压力控制阀的开度操作量；以及限制部（32），根据设定压力值设定开度操作量的上限值，当从所述开度操作量输出部（31）输出的开度操作量超过上限值时，以上限值的开度操作量控制压力控制阀（2）。
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公开(公告)号：CN102966741B
公开(公告)日：2016-12-28
申请号：CN201210310859.3
申请日：2012-08-28
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 林繁之
CPC classification number: F16K31/007 , F16K1/44 , F16K1/50 , F16K47/00
Abstract: 本发明提供一种流体控制阀，能防止污染通过流体控制阀的流体，并能防止阀体相对于移动方向倾斜或振动。所述流体控制阀包括：阀体6），与阀室（52）的内侧的面隔开规定间隔配置在阀室（52）内，能与设于所述阀室（52）内的阀座4）接触或分离；驱动部件（7），对阀体（6）施加朝向开阀方向的作用力；阀体复位弹簧（8），对阀体6）施加朝向关阀方向的作用力；以及倾斜抑制弹簧（9），对阀体（6）施加朝向消除阀体（6）相对于开关方向的倾斜的方向的作用力。
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公开(公告)号：CN105651729A
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201510857091.5
申请日：2015-11-30
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor： 南雅和
Abstract: 本发明提供分解检测装置、浓度测量装置和浓度控制装置，所述分解检测装置结构简单，并能检测在半导体材料气化后的材料气体中是否发生了分解。该分解检测装置包括：NDIR方式或激光吸收光谱方式的吸光度测量机构(1)，其对包含半导体材料气化后的材料气体的混合气体测量第一吸光度和第二吸光度，该第一吸光度是所述半导体材料吸收的波长的吸光度，该第二吸光度是所述半导体材料分解时产生的物质吸收的波长的吸光度；以及分解检测部(4)，其基于第一浓度和第二浓度之比来检测所述材料气体的分解，该第一浓度是基于所述第一吸光度和所述第二吸光度来计算，该第二浓度是基于所述第二吸光度来计算。
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公开(公告)号：CN105320161A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201510463267.9
申请日：2015-07-31
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供流量控制装置和流量控制方法，所述流量控制装置不设置用于检测压力变化的附加传感器，即使在阀的上游产生压力变化，也能够使其影响不表现在所述阀的下游，从而使流量持续稳定为设定流量值，所述流量控制装置包括：阀(3)；流量传感器(2)；阀控制部(41)，根据设定流量值与由所述流量传感器(2)测量出的测量流量值之间的偏差和设定的控制系数，以使所述偏差变小的方式控制所述阀；以及控制系数设定部(44)，设定所述阀控制部的所述控制系数，在所述阀(3)的上游产生扰动压力上升时，使与阀的开度的减少量相当的扰动流量减少量和与所述阀前后的压差的增加量相当的扰动流量增加量均衡。
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公开(公告)号：CN105144013A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201480023273.6
申请日：2014-10-15
Applicant: 株式会社堀场STEC
CPC classification number: G05D7/06 , F16K27/02 , F16K31/007 , F16K47/08 , G05D7/01
Abstract: 本发明提供一种流体控制阀，不损害压力和流量等流体控制的精度，能够减小内部容积并提高例如下降响应性能。所述流体控制阀包括：阀座部(61)；阀体(4)，以能相对于所述阀座部(61)接触分离的方式设置；流阻(5)；以及一对夹持构件(H)，夹持所述流阻(5)，所述流阻(5)和所述一对夹持构件(H)形成阀内空间(S2)，所述阀内空间(S2)收容所述阀体(4)或使所述阀体(4)移动的驱动构件的至少一部分，流体从所述阀内空间(S2)通过所述流阻(5)后向外部流出。
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公开(公告)号：CN104896230A
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201510244063.6
申请日：2010-11-29
Applicant: 伊原科技株式会社 , 株式会社堀场STEC
IPC: F16L23/10 , F16L23/032 , F16L23/18
CPC classification number: F16L23/10 , F16L23/18 , F16L23/032
Abstract: 本发明提供一种可容易地装卸的定位环以及使用该定位环的流体供给装置，所述定位环为沿着轴方向具有规定长度的管状的定位环(200)，该定位环的一端部外嵌于一个管，另一端部外嵌于另一个管，使两个管(Y1a，Y1b)的中心轴保持大致吻合，在所述一端部以及另一端部，分别设置有贯通于形成该定位环(200)的壁体的厚度方向的缺口(Y202a，Y202b)。
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公开(公告)号：CN102912319B
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201210352861.7
申请日：2007-04-04
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: C23C16/448 , H01L21/205
CPC classification number: C23C16/4481
Abstract: 本发明提供一种液体材料气化装置，包括：气液混合部，其混合液体材料和运载气体生成气液混合体；加热型气化部，其对来自所述气液混合部的气液混合体进行气化、利用所述运载气体将该气化生成的气体导出到外部，所述气化部构成为在其通道内配置有一个或多个扭转成螺旋形状的平板。
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