公开(公告)号：CN102912319B

公开(公告)日：2014-12-10

申请号：CN201210352861.7

申请日：2007-04-04

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 西川一朗 ,  河野武志

IPC: C23C16/448 ,  H01L21/205

CPC classification number: C23C16/4481

Abstract: 本发明提供一种液体材料气化装置，包括：气液混合部，其混合液体材料和运载气体生成气液混合体；加热型气化部，其对来自所述气液混合部的气液混合体进行气化、利用所述运载气体将该气化生成的气体导出到外部，所述气化部构成为在其通道内配置有一个或多个扭转成螺旋形状的平板。

公开(公告)号：CN102912319A

公开(公告)日：2013-02-06

申请号：CN201210352861.7

申请日：2007-04-04

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 西川一朗 ,  河野武志

IPC: C23C16/448 ,  H01L21/205

CPC classification number: C23C16/4481

Abstract: 本发明提供一种液体材料气化装置，包括：气液混合部，其混合液体材料和运载气体生成气液混合体；加热型气化部，其对来自所述气液混合部的气液混合体进行气化、利用所述运载气体将该气化生成的气体导出到外部，所述气化部构成为在其通道内配置有一个或多个扭转成螺旋形状的平板。

公开(公告)号：CN105256288A

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201510413970.9

申请日：2007-04-04

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 西川一朗 ,  河野武志

IPC: C23C16/448

CPC classification number: C23C16/4481

Abstract: 本发明提供一种液体材料气化装置，包括：气液混合部，其将液体材料与运载气体混合而生成气液混合体，所述液体材料是将具有不同沸点的多种材料混合而成的液体材料或者是固体溶解于液体而成的液体材料；加热型的气化部，其对来自所述气液混合部的气液混合体进行气化、利用所述运载气体将该气化生成的气体导出到外部；连接部，其连接所述气液混合部和所述气化部、内部具有所述气液混合体的流道；以及连接部冷却部，其对所述连接部进行冷却，通过减少所述气化部的热朝向所述气液混合部传递，防止仅低沸点材料气化、高沸点材料成为残渣，所述气液混合部包括，导入液体材料的液体材料导入通道，和对所述液体材料导入通道进行开闭的阀。

公开(公告)号：CN101523572B

公开(公告)日：2011-10-12

申请号：CN200780037071.7

申请日：2007-10-05

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 西川一朗 ,  河野武志

IPC: H01L21/31 ,  B01J7/02

CPC classification number: C23C16/4486 ,  B01B1/005 ,  B01B1/06

Abstract: 一种气化装置，具有：用于将处于液态或气液混合态的原料导入的导入口(P1)；设在该导入口(P1)下游的、将所述原料气化的气化部(3)；以及将在该气化部(3)气化的原料导出的导出口(P2)，将所述气化部(3)做成由雾状喷出所述原料的喷嘴(31)和与该喷嘴(31)的下游连接设置的加热流路(32)构成的流路状结构，并将多个气化部(3)并列设置在所述导入口(P1)和导出口(P2)之间，而且使各气化部互相独立并使所述原料流过各气化部。采用该气化装置，能防止原料的劣化、减少残渣，并能减低闭塞的风险。

公开(公告)号：CN101523572A

公开(公告)日：2009-09-02

申请号：CN200780037071.7

申请日：2007-10-05

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 西川一朗 ,  河野武志

IPC: H01L21/31 ,  B01J7/02

CPC classification number: C23C16/4486 ,  B01B1/005 ,  B01B1/06

Abstract: 一种气化装置，具有：用于将处于液态或气液混合态的原料导入的导入口(P1)；设在该导入口(P1)下游的、将所述原料气化的气化部(3)；以及将在该气化部(3)气化的原料导出的导出口(P2)，将所述气化部(3)做成由雾状喷出所述原料的喷嘴(31)和与该喷嘴(31)的下游连接设置的加热流路(32)构成的流路状结构，并将多个气化部(3)并列设置在所述导入口(P1)和导出口(P2)之间，而且使各气化部互相独立并使所述原料流过各气化部。采用该气化装置，能防止原料的劣化、减少残渣，并能减低闭塞的风险。

公开(公告)号：CN101410548A

公开(公告)日：2009-04-15

申请号：CN200780010941.1

申请日：2007-04-04

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 西川一朗 ,  河野武志

IPC: C23C16/448 ,  H01L21/205

CPC classification number: C23C16/4481

Abstract: 一种液体材料气化装置，包括：将液体材料(LM)与运载气体(CG)混合而生成气液混合体(GL)的气液混合部(1)；对来自所述气液混合部(1)的气液混合体(GL)进行气化、利用所述运载气体(CG)将该气化的气体导出到外部的加热型的气化部(2)；以及连接所述气液混合部(1)和所述气化部(2)、内部具有所述气液混合体(CL)的流道的连接部(3)；以及将所述连接部(3)冷却的连接部冷却部(4)，由此，即使在对由具有不同沸点的多种材料构成的液体材料进行气化的场合，也能防止产生残渣，能良好地进行气化。