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公开(公告)号:CN114141916A
公开(公告)日:2022-03-04
申请号:CN202111401694.6
申请日:2021-11-24
Applicant: 福州大学
Abstract: 本发明提出一种纳米尺寸LED芯片阵列及其制备方法,在衬底上依次外延生长N型氮化镓层、量子阱有源层以及P型氮化镓层;在P型氮化镓层上图案化制作金属对该区域P型氮化镓中的掺杂物与氢形成的络合物起一定的作用,使氢从中解吸,以激活该区域;利用离子注入在除金属激活区域以外的区域形成高阻值区域;在高阻值区域上覆盖二氧化硅;分别在金属激活的P型氮化镓区域和N型氮化镓形成P型电极和N型电极。本发明技术方案采用离子注入形成电气隔离可以有效避免传统ICP刻蚀中的侧壁损伤问题和后续金属爬坡易断裂问题,并利用金属激活进一步提高激活区域的光电性能。
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公开(公告)号:CN114141805A
公开(公告)日:2022-03-04
申请号:CN202111401746.X
申请日:2021-11-24
Applicant: 福州大学
Abstract: 本发明提出一种无侧壁损伤的nano‑LED阵列及其制作方法,通过图形化技术和电子束蒸发,在p型GaN层上制作纳米级的金属阵列,来激活其下方的p型GaN层,从而提高这些区域的载流子浓度,进而使nano‑LED正常发光。而没有金属覆盖的区域未被激活,载流子浓度很低,呈现高阻态,刚好可隔离nano‑LED器件,使每个nano‑LED可独立工作。本发明避免了通过刻蚀来隔离nano‑LED芯片所带来的侧壁损伤,增加了nano‑LED芯片的可利用面积,提高了nano‑LED的发光效率。这种通过选择性金属激活p型GaN来制作LED芯片的方法可拓展至nano尺寸,为实现超高分辨率的nano‑LED显示屏提供了一种有利途径。
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公开(公告)号:CN112436096B
公开(公告)日:2021-12-31
申请号:CN202011138393.4
申请日:2020-10-22
Abstract: 本发明涉及一种用于光提取的随机纳米图案制备方法。所述随机皱褶图案的制备主要通过软印刷复制方法实现,采用原子层沉积方法生长多晶态氧化物薄膜,并以结晶颗粒为掩膜进行表面刻蚀,形成高低起伏的表面,然后配制软印刷复制材料PDMS对其表面进行压印,形成随机褶皱图案。通过改变生长条件调节结晶颗粒的分布及尺寸,从而调控随机皱褶团案的高低起伏情况,形成不同的微结构并应用于光电器件的光效提升。本发明结构简单、制作方法工艺简单、操作简便、成本低,且能大大提高光电器件的外量子点效率,效果显著。
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公开(公告)号:CN112436096A
公开(公告)日:2021-03-02
申请号:CN202011138393.4
申请日:2020-10-22
Abstract: 本发明涉及一种用于光提取的随机纳米图案制备方法。所述随机皱褶图案的制备主要通过软印刷复制方法实现,采用原子层沉积方法生长多晶态氧化物薄膜,并以结晶颗粒为掩膜进行表面刻蚀,形成高低起伏的表面,然后配制软印刷复制材料PDMS对其表面进行压印,形成随机褶皱图案。通过改变生长条件调节结晶颗粒的分布及尺寸,从而调控随机皱褶团案的高低起伏情况,形成不同的微结构并应用于光电器件的光效提升。本发明结构简单、制作方法工艺简单、操作简便、成本低,且能大大提高光电器件的外量子点效率,效果显著。
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公开(公告)号:CN111834390A
公开(公告)日:2020-10-27
申请号:CN202010535701.0
申请日:2020-06-12
Abstract: 本发明涉及一种全彩化三极发光管显示器件及制造方法,包括缓冲层、设置于缓冲层上的第一半导体层、以及设置于第一半导体层上的第一接触电极、用以显示红光的R单元、用以显示绿光的G单元和用于显示蓝光的B单元。在所述第一接触电极和R单元、G单元、B单元中的第二接触电极之间分别施加一个小功率可变输入信号,在所述第一接触电极和R单元、G单元、B单元中的第三接触电极之间分别施加一个正向偏置电压,使得R单元、G单元和B单元发光。本发明可以实现用小功率输入信号驱动发光芯片发光而激发色彩转换层,从而实现全彩化显示。
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公开(公告)号:CN111834388A
公开(公告)日:2020-10-27
申请号:CN202010535463.3
申请日:2020-06-12
Abstract: 本发明涉及一种带有单片集成驱动电路的μLED显示芯片,其外延结构从下至上包括衬底、未掺杂缓冲层、第一、第二、第三掺杂半导体层、未掺杂发光层、第四掺杂半导体层。所述芯片的器件结构包括在上述材料上通过半导体工艺制备的各种图形化结构,具体包括半导体台面、沉积的绝缘层和透明电极、沉积的金属接触电极。芯片工作时,其μLED是发光单元;多个双极型晶体管、多个电容组成的电路部分是驱动单元,它对发光单元进行一对一的控制。本发明的最大优点是将像素的发光单元和驱动单元直接集成,从而不需将发光单元一对一精准地转移至驱动衬底上并键合,规避了一大技术瓶颈。本发明降低μLED显示芯片的设计制造复杂度,提高了集成度、良率、可靠性。
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公开(公告)号:CN119446047A
公开(公告)日:2025-02-14
申请号:CN202411531760.5
申请日:2024-10-30
Applicant: 福州大学
IPC: G09G3/32 , H10H29/24 , H10H29/851 , G09F9/33
Abstract: 本发明还提供了一种使用Micro‑LED实现超宽色域和高均匀度色彩的显示方法,每个显示像素含有一个或多个Micro LED芯片组合,使得能产生不仅是红色、绿色、和蓝色波长的光还能够产生青色和翡翠绿色光或更多种颜色波长的光,或这些颜色光的混合。显示像素呈现的颜色是通过特别的算法控制每个不同发光波长Micro LED芯片的电流和发光时间的组合来实现超宽色域和高均匀度色彩显示。所述的超宽色域显示显示是指显示色彩覆盖人眼视觉色域范围80%以上显示效果。所述高均匀度色彩通过每个像素里多个发光波长MicroLED芯片的多组混合发光组合颜色的方式来消除传统红绿蓝三基色方法里由于芯片发光波长在不同像素里不一致导致在不同像素呈现的色彩不一致的问题。
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公开(公告)号:CN115346961B
公开(公告)日:2024-11-22
申请号:CN202210960149.9
申请日:2022-08-11
Applicant: 福州大学
IPC: H01L23/544 , H01L21/66 , G01R27/08
Abstract: 本发明涉及一种适用于微米级金属凸点阵列键合测试结构,包括顶层模块和底层模块;所述顶层模块包括第一绝缘基板、第一图案化打底金属层、具有镂空孔阵列的第一透明介质层和第一微米级金属凸点;所述底层模块包括第二绝缘基板、第二图案化打底金属层、金属电极、具有镂空孔阵列的第二透明介质层和第二微米级金属凸点。本发明可以快速判断出微米级金属凸点的键合良率以及进行可靠性测试。
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公开(公告)号:CN115332400B
公开(公告)日:2024-06-21
申请号:CN202210960225.6
申请日:2022-08-11
Applicant: 福州大学
IPC: H01L33/00
Abstract: 本发明涉及一种基于临时键合技术的Micro‑LED芯片结构的制备方法,包括以下步骤:步骤S1:在图形转移工艺前,将减薄后的蓝光/绿光外延片晶圆键合至临时衬底形成临时键合片;步骤S2:在临时键合片上制备独立的Micro‑LED芯片结构;步骤S3:在Micro‑LED芯片结构上设置结构保护层;步骤S4:剥离临时衬底,并清除减薄后的蓝光/绿光外延片衬底表面临时键合残留物;步骤S5:划裂减薄后的蓝光/绿光外延片为单颗Micro‑LED芯片,并剥离结构保护层。本发明有效的保护了Micro‑LED芯片结构的完整行,极大提升Micro‑LED芯片制备良率。
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公开(公告)号:CN111834389B
公开(公告)日:2024-04-02
申请号:CN202010535556.6
申请日:2020-06-12
Abstract: 本发明涉及一种μLED显示器件检测及修复方法,μLED显示器件阵列设置k个μLED像素,每个像素包含ni个芯片,以形成至少mi个发光体;μLED显示器件检测及修复包括以下步骤:S1)采用直接电学接触电流注入的逐点扫描或无直接电学接触的电场驱动方式对芯片进行驱动发光;S2)通过逐点扫描或拍摄处理发光图片获得不良像素的行列地址;S3)根据不良像素的行列地址进行寻址,采用非Au‑In互连方法在相应位置的芯片电极的备用区域与驱动背板对应电极的备用区域进行原位修复;S4)重复S1‑S3,直至良品率达到预期良率。该方法降低了μLED显示器件的制作难度、制作周期和制作成本,提高了μLED显示器件的良品率。
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