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公开(公告)号：CN1395290A
公开(公告)日：2003-02-05
申请号：CN02112310.1
申请日：2002-06-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L21/20
Abstract: 本发明涉及一种外延生长用蓝宝石衬底镓原子清洗的方法，属于晶体外延生长领域，所述的方法是：(1)将湿法清洗过的蓝宝石衬底传送入MBE生长室内的样品架上，经高温～900℃热退火之后将衬底温度降低至600℃～850℃范围。反射式高能电子衍射(RHEED)屏幕上出现清晰的蓝宝石衬底衍射条纹；(2)打开Ga束源炉快门，Ga原子束流喷射到蓝宝石衬底表面。RHEED屏幕上的蓝宝石衬底衍射条纹消失；(3)关闭Ga束源炉快门；(4)蓝宝石衬底的温度升至900℃，保持2～5分钟，直至RHEED屏幕上再次出现清晰的蓝宝石衬底衍射条纹；(5)重复进行第二次清洗，然后进行常规的外延生长。经本发明提供的Ga清洗预处理后的蓝宝石衬底平整度明显提高，对提高外延层GaN的二维生长特性有明显的促进作用。
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公开(公告)号：CN114336067B
公开(公告)日：2025-05-09
申请号：CN202011050175.5
申请日：2020-09-29
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种适应强电磁环境的MEMS无线传感装置，所述MEMS无线传感装置包括频率选择超构表面，所述频率选择超构表面包括多个呈阵列周期性排列的单元胞。本发明的MEMS无线传感装置利用人工超构表面灵活的电磁场操控能力，可以实现正常透过无线通信信号，并阻断稳态电磁干扰、瞬态电磁干扰，突破了传统电子设备抑制电磁干扰技术的瓶颈，同时解决强电磁环境下MEMS无线传感装置的可靠性和无线通信的问题。适应超强电磁环境的超构表面集成MEMS无线传感技术可极大地推动电子器件设备的信息化、智能化发展，对我国能源安全、经济社会乃至国家安全都具有重要的意义。
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公开(公告)号：CN115951431B
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202211606843.7
申请日：2022-12-14
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G02B1/00
Abstract: 本发明涉及一种用于波长相关的3D光开关的微纳结构，包括：衬底；两条硅纳米柱子链，平行设置在所述衬底上；每条硅纳米柱子链包括高度相同的普通柱和缺陷柱，所述普通柱和缺陷柱排成一列，所述缺陷柱设置在所述硅纳米柱子链末端的第一根和第三根的位置；所述缺陷柱的半径大于所述普通柱的半径。本发明能够在不同的输入光相位下进行3D光链路的开关调制，并在不同波长下表现出相反的开关特性。
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公开(公告)号：CN116804776A
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN202310521559.8
申请日：2023-05-10
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种折射光学元件与超表面复合构型的光学器件，光学器件由折射光学元件和超表面级联构成，折射光学元件在目标工作波段内的至少一个波长上的相位分布满足光学器件的成像要求，超表面的相位分布使超表面对折射光学元件在目标工作波段内的色差进行校正，使得在目标工作波段内的不同波长下的电磁波通过光学器件后的相位分布同时满足光学器件的成像要求。本发明的光学器件将折射光学元件与超表面级联成一体，从而实现光学系统的轻量化、集成化要求，同时突破口径与带宽相互制约的瓶颈，能满足实际应用中的口径和带宽要求。
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公开(公告)号：CN111362226B
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN202010171515.3
申请日：2020-03-12
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及微纳传感器技术领域，特别涉及一种谐振式微悬臂梁芯片及其制备方法，包括：固支部和微悬臂梁部，所述微悬臂梁部包括高温区和低温区，所述低温区的一端与所述高温区连接，所述低温区的另一端与所述固支部连接；所述高温区上设有加热线圈；所述低温区上设有检测元件；所述高温区和所述低温区之间设有至少一个阻热孔，所述阻热孔贯穿所述微悬臂梁设置。通过在微悬臂梁中部附近区域设计有镂空的阻热孔，将微悬臂梁分为靠近自由端的高温区和靠近固支部的低温区两部分。在高温区设计有加热线圈，可以对微悬臂梁加热；加热线圈可以将梁上高温区加热，而低温区可以保持在低温状态，确保检测元件可以正常工作。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111258059B
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN202010069442.7
申请日：2020-01-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供了一种柔性手机摄像头光学镜片，包括柔性衬底、设于其表面上的微纳结构超表面和设于其后端的偏振片，微纳结构超表面为微纳结构单元的周期性阵列，不同微纳结构单元具有相同的尺寸和不同的指向角度，指向角度根据所需的电磁波通过各微纳结构单元后的相位累积以及相位累积与指向角度的对应关系相应确定。本发明还提供该光学镜片的制作方法。本发明的光学镜片通过将微纳结构超表面与柔性衬底结合，不仅能实现光学聚焦功能，还能弯曲折叠，且展开后不影响其光学性能，解决了手机摄像头传统光学镜片依赖于表面形状的问题，为手机摄像头光学镜片不可折叠的问题提供了一种解决方案，以满足柔性屏手机对可弯曲折叠的手机摄像头光学镜片的需求。
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公开(公告)号：CN109682710A
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201910067908.7
申请日：2019-01-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
CPC classification number: G01N5/00 , G01N1/28 , G01N23/04 , H01J37/261
Abstract: 本发明提供一种用于TEM构效关联间接原位表征的芯片及其制作方法，芯片包括主芯片及辅芯片，其中，主芯片包括：检测悬臂梁、主芯片凹槽、具有观测孔的观测悬臂梁、主芯片窗口及气孔；辅芯片包括：辅芯片窗口；通过检测悬臂梁的谐振用以检测位于检测悬臂梁上的待测样品的质量变化；主芯片及辅芯片相对设置，并分别固定于TEM样品杆上，主芯片、辅芯片及TEM样品杆之间形成闭合空间；TEM通过辅芯片窗口、观测孔及主芯片窗口观测位于观测悬臂梁上的待测样品的形貌变化。本发明可以在TEM内实现形貌变化及质量变化的间接、原位、实时表征，可广泛应用于纳米材料在气固反应过程中的TEM原位表征。
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公开(公告)号：CN109283616A
公开(公告)日：2019-01-29
申请号：CN201811501015.0
申请日：2018-12-10
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种温度不敏感马赫曾德尔干涉仪，包括：第一模式转换器；第二模式转换器，位于第一模式转换器的一侧，且与第一模式转换器具有间距；连接臂，位于第一模式转换器与第二模式转换器之间，一端与第一模式转换器相连接，另一端与第二模式转换器相连接；连接臂包括直波导连接臂。本发明的温度不敏感马赫曾德尔干涉仪通过设置所述连接臂的宽度及厚度等参数可以实现对温度不敏感。
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公开(公告)号：CN104678491B
公开(公告)日：2018-11-09
申请号：CN201310625054.2
申请日：2013-11-27
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 复旦大学
Abstract: 本发明提供一种支持高频率敏感度自准直现象的光子晶体及设计方法和应用。其中，所述支持高频率敏感度自准直现象的光子晶体具有由至少两种材料形成的周期性折射率分布；且光子晶体色散空间内的某个能带内存在平直的等频线或平坦等频面、且在平直等频线或平坦等频面所在频率附近等频线或等频面曲率随频率的变化率至少比真空中提高50倍。由于本发明的光子晶体在自准直点附近等频线或等频面曲率随频率剧烈变化，使得光束衍射强度很容易受到频率改变和材料折射率变化的影响，可以用于调控光束衍射强度、探测折射率等。
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公开(公告)号：CN106698331A
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201710031365.4
申请日：2017-01-17
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种包含梁膜结构的单晶硅红外热堆结构及其制作方法，所述热堆结构主要包括红外吸收膜、多根单晶硅梁、以及形成于所述单晶硅梁上方的热电材料层等，单晶硅梁和热电材料层形成热偶对。其中，红外吸收膜悬浮于结构中央，热偶对环绕在红外吸收膜四周，热偶对一端与红外吸收膜相连、另一端与支撑膜相连，并通过支撑膜连接到衬底。本发明热堆结构采用单晶硅作为热偶材料，单晶硅具有塞贝克系数高、电阻率低的优点，可实现较高的灵敏度；另外，本发明利用单晶硅梁支撑悬浮的红外吸收膜，既满足了热堆的绝热性要求，同时也具有较高的结构强度；再者，本发明的热堆结构采用单硅片单面加工的方法制作而成，尺寸小，成本低，适合大批量生产。
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