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公开(公告)号:CN114336067B
公开(公告)日:2025-05-09
申请号:CN202011050175.5
申请日:2020-09-29
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种适应强电磁环境的MEMS无线传感装置,所述MEMS无线传感装置包括频率选择超构表面,所述频率选择超构表面包括多个呈阵列周期性排列的单元胞。本发明的MEMS无线传感装置利用人工超构表面灵活的电磁场操控能力,可以实现正常透过无线通信信号,并阻断稳态电磁干扰、瞬态电磁干扰,突破了传统电子设备抑制电磁干扰技术的瓶颈,同时解决强电磁环境下MEMS无线传感装置的可靠性和无线通信的问题。适应超强电磁环境的超构表面集成MEMS无线传感技术可极大地推动电子器件设备的信息化、智能化发展,对我国能源安全、经济社会乃至国家安全都具有重要的意义。
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公开(公告)号:CN112408316B
公开(公告)日:2024-04-12
申请号:CN202011314162.4
申请日:2020-11-20
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种双面超表面结构的制备方法,包括:提供呈镜像关系标记的第一光刻板及第二光刻板,且标记具有正反对准、正反偏移误差测量及下一工艺步骤对准的功能;提供衬底,并将呈镜像关系标记的图形分别转移至衬底两面,得到第一衬底样品;筛选出偏移误差在需求范围内的第一衬底样品,得到合格的第一衬底样品;将合格的第一衬底样品放入下一步骤所用光刻设备中,识别合格的第一衬底样品上具有下一工艺步骤对准功能的标记,并将双面超表面结构图形版图分别转移至合格的第一衬底样品的正反两面,得到第二衬底样品并刻蚀得到双面超表面结构。采用本方法能够成功制作出高精度对准的双面超表面结构,从而提高双面超表面结构的性能。
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公开(公告)号:CN114865802A
公开(公告)日:2022-08-05
申请号:CN202210601544.8
申请日:2022-05-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种非闭合式磁芯的感应取电装置,包括非闭合式的可抽动磁芯线圈组件和与之相连的电能管理模块,所述可抽动磁芯线圈组件包括多个细柱型磁芯以及套设在所有的细柱型磁芯的外侧的一磁芯线圈,细柱型磁芯的至少一部分相对于磁芯线圈可抽动。本发明的非闭合式磁芯的感应取电装置采用非闭合式磁芯,解决了感应取电装置不同电压等级和电缆直径适配兼容的问题,同时,本发明将将传统整块磁芯等效替换成几个有效磁导率更高的细磁芯,磁芯可抽动以改变磁芯内磁路长度,使得整体磁芯的输出功率和功率密度可以得到提升。
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公开(公告)号:CN114865760A
公开(公告)日:2022-08-05
申请号:CN202210603564.9
申请日:2022-05-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种基于非闭合式磁芯的感应取电电源,包括磁能采集模块和电能管理电路模块,磁能采集模块包括非闭合式磁芯线圈组件和谐振电容,电能管理电路模块包括依次连接的过流过压保护电路、电荷泵倍压电路、稳压电路、超级电容充电电路、超级电容和超级电容放电电路,充电电路与稳压电路连接,放电电路通过其开关管与电荷泵倍压电路连接;稳压电路和放电电路分别通过放电二极管与负载连接。本发明的取电电源采用基于非闭合式磁芯的磁能采集模块,可适用于不同电压等级、不同尺寸的电缆,易安装和拆卸,并且通过电荷泵电路和超级电容储能来降低供电死区,减少电能管理电路的设计难度,可以在载流量宽范围波动的情况下为负载稳定供电。
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公开(公告)号:CN114336067A
公开(公告)日:2022-04-12
申请号:CN202011050175.5
申请日:2020-09-29
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种适应强电磁环境的MEMS无线传感装置,所述MEMS无线传感装置包括频率选择超构表面,所述频率选择超构表面包括多个呈阵列周期性排列的单元胞。本发明的MEMS无线传感装置利用人工超构表面灵活的电磁场操控能力,可以实现正常透过无线通信信号,并阻断稳态电磁干扰、瞬态电磁干扰,突破了传统电子设备抑制电磁干扰技术的瓶颈,同时解决强电磁环境下MEMS无线传感装置的可靠性和无线通信的问题。适应超强电磁环境的超构表面集成MEMS无线传感技术可极大地推动电子器件设备的信息化、智能化发展,对我国能源安全、经济社会乃至国家安全都具有重要的意义。
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公开(公告)号:CN114865760B
公开(公告)日:2025-04-15
申请号:CN202210603564.9
申请日:2022-05-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种基于非闭合式磁芯的感应取电电源,包括磁能采集模块和电能管理电路模块,磁能采集模块包括非闭合式磁芯线圈组件和谐振电容,电能管理电路模块包括依次连接的过流过压保护电路、电荷泵倍压电路、稳压电路、超级电容充电电路、超级电容和超级电容放电电路,充电电路与稳压电路连接,放电电路通过其开关管与电荷泵倍压电路连接;稳压电路和放电电路分别通过放电二极管与负载连接。本发明的取电电源采用基于非闭合式磁芯的磁能采集模块,可适用于不同电压等级、不同尺寸的电缆,易安装和拆卸,并且通过电荷泵电路和超级电容储能来降低供电死区,减少电能管理电路的设计难度,可以在载流量宽范围波动的情况下为负载稳定供电。
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公开(公告)号:CN112558293A
公开(公告)日:2021-03-26
申请号:CN202011350345.1
申请日:2020-11-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种紧凑型共光路共焦红外双波段光学系统,包括沿光入射方向依次同轴设置的超表面透镜和探测器,超表面透镜由衬底和微纳结构超表面构成,不同的微纳结构具有相同的高度、指向角度和不同的横截面尺寸;各微纳结构的横截面尺寸基于微纳结构的参数空间和电磁波经过各微纳结构后的相位分布确定;相位分布根据超表面透镜的对双波段的消色差成像要求来确定;参数空间通过基于时域有限差分算法的电磁仿真手段对横截面尺寸进行参数扫描来建立。本发明还提供相应的制作方法。本发明的光学系统利用单片超表面透镜实现中波和长波红外双波段同时满足消色差成像要求,从而显著减小光学系统的体积和重量,降低加工成本和装调校准难度。
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公开(公告)号:CN112408316A
公开(公告)日:2021-02-26
申请号:CN202011314162.4
申请日:2020-11-20
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种双面超表面结构的制备方法,包括:提供呈镜像关系标记的第一光刻板及第二光刻板,且标记具有正反对准、正反偏移误差测量及下一工艺步骤对准的功能;提供衬底,并将呈镜像关系标记的图形分别转移至衬底两面,得到第一衬底样品;筛选出偏移误差在需求范围内的第一衬底样品,得到合格的第一衬底样品;将合格的第一衬底样品放入下一步骤所用光刻设备中,识别合格的第一衬底样品上具有下一工艺步骤对准功能的标记,并将双面超表面结构图形版图分别转移至合格的第一衬底样品的正反两面,得到第二衬底样品并刻蚀得到双面超表面结构。采用本方法能够成功制作出高精度对准的双面超表面结构,从而提高双面超表面结构的性能。
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公开(公告)号:CN115864894A
公开(公告)日:2023-03-28
申请号:CN202111116370.8
申请日:2021-09-23
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H02N2/18
Abstract: 本发明提供一种压电薄膜换能电路。包括:压电薄膜换能器,转换电路拓扑,振动能量转换组件。其中,压电薄膜换能器将振动能转换为交流电能,通过换能电路拓扑及振动能量转换组件将交流电能转换为直流电能。本发明的压电薄膜换能电路用于给负载供电,同时切换储能元件的充放电状态,提升了振动能量的转换能力,降低了化学电池使用,减少耗能,提升了电子产品的使用寿命和可靠性。
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公开(公告)号:CN113740939B
公开(公告)日:2023-02-17
申请号:CN202111128857.8
申请日:2021-09-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种无序功能基元构型的光学器件,包括沿电磁波传播方向依次设置的衬底和无序功能基元的非周期微纳结构阵列,所述衬底的表面为平面或曲面,无序功能基元的非周期微纳结构阵列是多个具有无序的内部结构的功能基元在平面或曲面上非周期分布而形成的微纳结构阵列;光学器件中所分布的各功能基元的内部结构根据光学器件的相位分布确定。本发明的光学器件以无序结构作为功能基元,一方面消除基于同质材料的规则构型的功能基元之间的强耦合现象,另一方面利用无序结构的随机性和多样性,增加光学器件的设计自由度,拓展功能基元参数空间,从而显著提高光场调控能力和光学器件性能。
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