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公开(公告)号：CN113189357B
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202110489038.X
申请日：2021-05-06
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本申请实施例所公开了一种浸渍式点样仪及微悬臂梁传感芯片的制备方法，通过控制注射器的针头中的敏感材料样品液充满针尖，再控制移动平台将待点样微悬臂梁传感芯片的待点样区域插入针头中，使得样品液粘附在待点样微悬臂梁传感芯片的待点样区域，如此，无需将样品液挤出针尖，适用于粘稠质地的样品液，并且可以防止样品液飞溅而造成的器件失效和样品浪费。
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公开(公告)号：CN116297647A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202211574791.X
申请日：2022-12-08
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N25/20
Abstract: 本发明提供一种MEMS差热分析传感器及DTA/DSC测试方法，该传感器包括检测热电堆、参考热电堆、环境电阻、屏蔽环，检测热电堆及参考热电堆均包括单晶硅衬底、隔热空腔、多个单晶硅热偶对及支撑膜，其中，隔热空腔位于单晶硅衬底内，多个单晶硅热偶对串联连接且通过支撑膜支撑以悬设于隔热空腔之上实现热隔离，单晶硅热偶对包括串联的N型单晶硅热偶及P型单晶硅热偶，该传感器的温度及功率灵敏度显著提升，达到28mV/K和100V/W，并且噪声等效温差和噪声等效功率达到0.5mK或0.2μW。基于该传感器的输出信号能够实现对材料吸放热的物理或化学过程进行差热分析测试和差式扫描量热分析测试，样品用量少、测试精度高。
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公开(公告)号：CN115820787A
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202211325435.4
申请日：2022-10-27
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种基于多维纳米敏感材料的细胞胞吐研究芯片及其应用，所述细胞胞吐研究芯片包括对电极、参比电极以及工作电极，所述工作电极上涂覆有多维纳米敏感材料，所述多维纳米敏感材料由一维ZnO纳米线、二维还原氧化石墨烯纳米片和多孔的沸石咪唑啉骨架‑8纳米壳组成，所述细胞胞吐研究芯片可用于检测多巴胺能神经元细胞的胞吐事件。本发明利用低成本的纸基电化学芯片，不依赖于精密的测量仪器以及专业的实验操作技能，成功实现了多巴胺能细胞胞吐事件的研究，以及神经细胞胞吐作用的药物调控研究；本发明通过直接、便捷地测量神经细胞的胞吐作用，在细胞生理过程研究、常用药物研究以及新药开发研究等领域具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN109663562A
公开(公告)日：2019-04-23
申请号：CN201910053294.7
申请日：2019-01-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: B01J20/10 , C02F1/28 , B01J20/30 , C02F101/30
Abstract: 本发明提供一种介孔二氧化硅材料对有机磷吸附速度的控制方法，根据介孔二氧化硅材料的孔壁厚度与介孔二氧化硅材料对有机磷吸附活化能之间的定量关系，通过将两种具有不同孔壁厚度的介孔二氧化硅材料按比例混合，从而获得所需的对有机磷的吸附活化能，从而实现对有机磷吸附速度的控制。本发明提供的一种介孔二氧化硅材料对有机磷吸附速度的控制方法，无需专门制备具有对有机磷特定吸附速度的介孔二氧化硅材料，克服了传统的反复试验方法存在工作量大、耗时、缺乏定量比较依据等缺点，该方法先进、具有现实的应用意义，且易于操作、价格低廉。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105910946B
公开(公告)日：2018-09-25
申请号：CN201610486631.8
申请日：2016-06-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N5/02
Abstract: 本发明提供一种用于VOCs检测的传感系统及检测方法，所述传感系统包括：进样池，所述进样池上部设有进样口；检测池，所述检测池包括样品室、传感器室以及隔离所述样品室和传感器室的防水透气薄膜；固定于所述传感器室内的质量敏感型微传感器；位于所述检测池外、且与所述质量敏感型微传感器电连接的信号处理电路及显示设备；连接所述进样池和所述样品室的管道；以及位于所述管道上的液体泵。通过本发明提供的一种用于VOCs检测的传感系统及检测方法，解决了现有技术中用于液体环境下VOCs的检测设备体积过大、不便于现场分析的问题；及便携式质量敏感型微传感器用于液体环境下VOCs的检测时，难于起振并且质量灵敏度大幅下降的问题。
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公开(公告)号：CN105271361A
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201510713929.3
申请日：2015-10-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 上海应用技术学院
Abstract: 本发明提供一种树枝状氧化锌纳米线阵列的制备方法，包括以下步骤：1）清洗基底表面；2）采用原子层沉积工艺在基底表面沉积一层氧化锌种子层；3）在基底上采用水热法生长氧化锌纳米线阵列；4）再将基底清洗并干燥后，形成棒状氧化锌纳米线阵列；5）采用原子层沉积工艺在基底表面再沉积一层氧化锌种子层；6）重复步骤3）-4），形成树枝状的氧化锌纳米线阵列。本发明提供的一种树枝状氧化锌纳米线阵列的制备方法，制备温度低，纳米树枝结构均匀性好、致密性好，适用于非平面或具备复杂结构的基底，简单可行。
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公开(公告)号：CN104569369A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201510016562.X
申请日：2015-01-13
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
CPC classification number: G01N33/50 , B81C1/00222 , B81C1/00531 , B82Y40/00
Abstract: 本发明提供一种液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器及其制备方法，包括在谐振式微悬臂梁上以光刻胶为牺牲层，光刻形成环状凹槽；沉积疏水材料，在环状凹槽中形成疏水侧壁作为敏感池，其余部分形成疏水薄膜；通过刻蚀图形化疏水材料，在疏水侧壁的外侧与疏水薄膜之间形成狭缝；从背面划片，去除光刻胶释放器件结构；将敏感材料注入敏感池结构中并固化形成液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器。本发明利用聚对二甲苯薄膜保护谐振式微悬臂梁，狭缝结构有效防止液体进入聚对二甲苯薄膜下方接触微悬臂梁，从而使得工作时，微悬臂梁上仅敏感区域接触待测液体样品，其余部分均工作在空气环境下，从而大大减小了阻尼，提高了传感器的品质因数和灵敏度。
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公开(公告)号：CN103728494A
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201310697613.0
申请日：2013-12-17
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R23/02
Abstract: 本发明涉及一种谐振频率测量及跟踪系统和方法，主要组成包括计算机、多功能数据采集卡、直接数字频率合成器和传感器接口电路。与传统锁相环电路相比，省去了移相器，减少了不必要单元对信号造成的干扰，提高了信号精度。本发明简化了谐振频率的测量与跟踪，谐振频率及其变化便于实时观察并且自动保存于存储器中，检测过程无需技术人员干预完全由系统自动完成。
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公开(公告)号：CN103668141A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201210315544.8
申请日：2012-08-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: C23C18/44 , C04B35/628
Abstract: 本发明涉及一种在氧化石墨烯表面生长贵金属纳米晶的方法，采用油胺（Oleylamine，CAS号：112-90-3）作为反应的溶剂以及反应体系中的还原剂，在具有含氧官能团（如羟基、羧基、羰基和环氧基）修饰的石墨烯材料表面将贵金属前驱体还原成贵金属纳米晶，制造具有贵金属纳米晶负载的氧化石墨烯材料。该方法具有原理清晰、方法先进、易于操作、造价低廉、适用于多种贵金属和批量生产的特点。
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