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公开(公告)号：CN104199173A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201410479916.X
申请日：2014-09-19
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种单倍率对称式投影曝光物镜，其作用是把投影光刻机掩模版上的图形经过成像复制后转移到硅片上。投影曝光物镜是光刻机的核心部件，决定了光刻机的主要性能。本发明所涉及的单倍率投影曝光物镜由12片透镜组成，采用对称式结构。物镜分辨力2.5μm，放大倍率为-1，曝光视场15mm×15mm。本投影曝光物镜系统由第一组透镜组、光阑、第二组透镜组构成，第一和第二透镜组相对于光阑对称分布。本投影物镜共轭距为500mm，系统结构紧凑；同时，选用对i线(365nm)透过率较高的玻璃材料，提高系统光学透过率，满足投影光刻机的高精度及高产率需求。
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公开(公告)号：CN102889980A
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN201210390365.0
申请日：2012-10-15
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明涉及一种基于光栅剪切干涉检测系统的微透镜定焦检测方法，属于光学检测技术领域，该方法利用郎奇光栅的0级和1级衍射光干涉产生的条纹完成对微透镜的定焦测量：平行光经过郎奇光栅时，由于光栅的衍射效应产生0级和1级衍射光斑；根据衍射光波前相位变化，当光栅位于微透镜焦面上时，光斑重叠区域没有干涉条纹；当光栅位于离焦位置时，光斑重叠区域将由于位相差异产生干涉条纹；通过不同离焦位置的条纹周期变化，即可计算光栅的离焦量从而完成微透镜的定焦测量。本发明根据物理光学理论，定量分析光栅离焦量与条纹周期的关系，通过光栅在焦前和焦后两次离焦时条纹周期的不同，计算两次离焦量，从而完成微透镜及其阵列元件的定焦。
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公开(公告)号：CN102788683A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201210319870.6
申请日：2012-08-31
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种基于牛顿法和泰伯效应的微透镜阵列焦距的检测方法，属于光学检测领域。利用郎奇光栅的泰伯效应，平行光经过郎奇光栅的泰伯自成像周期与光栅周期一致，将星点板置于被测微透镜的物方焦点位置；利用微移台调节星点板并确定星点板的焦物距；由光栅的泰伯自成像周期变化可计算出星点板离焦时，微透镜出射球面波前的曲率半径即微透镜成像的像距；根据像距与焦像距的位置关系，结合牛顿公式，可完成微透镜的焦距测量。该方法操作简便易行，且具有较高的测量精度。
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公开(公告)号：CN102607820A
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201210098272.0
申请日：2012-04-05
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明是一种微透镜阵列焦距测量方法。微透镜阵列的各个子单元将球面波波前分割，并成像于各自的焦面上；分析成像原理，各个被分割的波面法线方向经过各个子孔径的中心、焦面上的光斑中心和球面波波前的汇聚中心；通过确定汇聚球面波波前的汇聚中心，测量微透镜阵列各个子单元的光斑中心与光轴的偏移量，可完成对各个子单元焦距的测量。该方法一次图像采集和处理可完成多个子单元焦距的测量，具有较高的测量效率和测量精度，可用于阵列数较多的微透镜阵列的检测。
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公开(公告)号：CN117539018A
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202311537240.0
申请日：2023-11-17
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种无热化主动补偿紫外镜头，镜头的机械结构包括外镜筒、热补偿隔圈以及压圈，光学结构沿光线入射方向从物面一侧开始的顺序包括有：具有正光焦度的第一透镜；具有负光焦度的第二透镜；具有正光焦度的第三透镜；具有正光焦度的第四透镜以及具有负光焦度的第五透镜。当环境温度改变时，透镜的折射率随温度变化，热补偿隔圈的厚度由于热膨胀效应产生改变，对光学系统像质形成主动补偿。该镜头可在20℃±1℃的范围内，矫正系统波像差、场曲、畸变并具有良好的成像一致性和稳定性，结构简单，在不需要主动补偿机构的条件下利用光学及结构材料本身的物理特性实现紫外镜头的温度自适应。
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公开(公告)号：CN112415865B
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202011382807.8
申请日：2020-12-01
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及一种应用于投影光刻机的单倍率大视场投影曝光物镜，其作用是把投影光刻机掩模版上的图形经过成像复制后转移到硅片上。投影曝光物镜是光刻机的核心部件，决定了光刻机的主要性能。本发明所涉及的单倍率投影曝光物镜由12片透镜组成，其光学结构为双方远心结构。物镜分辨力6μm，放大倍率为‑1，曝光视场为110mm×110mm。本投影物镜共轭距总长(物方到像方)为L＝1000mm，系统结构紧凑；同时，选用对i线(365nm)透过率较高的玻璃材料，提高系统光学透过率，满足大视场投影光刻机的高精度及高产率需求。
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公开(公告)号：CN113917646B
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN202111291431.4
申请日：2021-11-01
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种动镜三自由度微调装置，该装置包括：驱动单元、执行单元、柔性铰链、镜片座及外镜筒。驱动单元和执行单元安装在外镜筒上，柔性铰链与执行单元连接，柔性铰链与镜片座连接。驱动单元带动执行单元调整镜片座运动。电机产生的驱动力经过杠杆机构放大，带动柔性铰链机构的三个运动点位置变化，从而带动镜片座运动。当三个驱动器同步运动时，实现Z向位移调节；三个驱动器差动调节时，实现相应的θx、θy调节。本发明提供的动镜三自由度微调装置调节精度高，重复性好，且易于安装调节。
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公开(公告)号：CN116125643A
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202310095873.4
申请日：2023-02-10
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种超广角仿生机器视觉远心镜头，其作用是以光学系统代替人眼进行相关测量与判断。所述远心镜头包括光阑及沿光轴顺次排列的第一透镜组、第二透镜组；所述第一透镜组具有负光焦度，由第一透镜、第二透镜、第三透镜及第四透镜组成；所述第二透镜组具有正光焦度，由第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜及第九透镜组成；所述超广角仿生机器视觉远心镜头共包含3个非球面透镜，所述每个非球面透镜包含一个非球面表面及一个球面表面；所述超广角机器视觉远心镜头最大视场角不小于130度。本发明通过采用非球面以在实现系统高性能的同时降低结构复杂度，使得系统在保持结构简单的同时对于大角度视场处的物体具有良好的成像质量。
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公开(公告)号：CN115493710A
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：CN202210987611.4
申请日：2022-08-17
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种通用于提高四波横向剪切干涉仪检测灵敏度的方法，属于光学精密检测领域。该方法只需要采样一幅干涉条纹图，通过条纹处理即可将四波横向剪切干涉仪波前斜率灵敏度提升两倍。本发明的优点在于解决了传统四波横向剪切干涉仪需要调整光栅与相机靶面的距离来提升灵敏度、操作复杂、调整误差大的问题。原理清晰，操作方便。
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公开(公告)号：CN115435677A
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN202210988547.1
申请日：2022-08-17
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B9/02055 , G01B9/02056
Abstract: 本发明公开了一种通用于双通道干涉仪的系统误差标定装置和标定方法，标定装置包括双通道干涉仪、球透镜、球面反射镜，沿所述的双通道干涉仪输出空间非相干光方向依次是球透镜、球面反射镜，所述的双通道干涉仪和球透镜不处于共焦的位置，球透镜与球面反射镜处于共焦的状态，结合随机平均法可以实现双通道干涉仪系统误差的高精度标定。
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