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公开(公告)号：CN116125643B
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202310095873.4
申请日：2023-02-10
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种超广角仿生机器视觉远心镜头，其作用是以光学系统代替人眼进行相关测量与判断。所述远心镜头包括光阑及沿光轴顺次排列的第一透镜组、第二透镜组；所述第一透镜组具有负光焦度，由第一透镜、第二透镜、第三透镜及第四透镜组成；所述第二透镜组具有正光焦度，由第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜及第九透镜组成；所述超广角仿生机器视觉远心镜头共包含3个非球面透镜，所述每个非球面透镜包含一个非球面表面及一个球面表面；所述超广角机器视觉远心镜头最大视场角不小于130度。本发明通过采用非球面以在实现系统高性能的同时降低结构复杂度，使得系统在保持结构简单的同时对于大角度视场处的物体具有良好的成像质量。
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公开(公告)号：CN114114585B
公开(公告)日：2023-05-26
申请号：CN202111511611.9
申请日：2021-12-06
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明提供一种镜片六自由度柔顺机构运动台，包括：镜片、XYθZ微动调节机构以及ZθXθY微动调节机构。XYθZ微动调节机构包含柔性铰链，X向、Y1向和Y2向驱动电机，三个电机沿镜片圆周均布，电机轴端连接X向、Y1向及Y2向驱动装置，并在附近分别布置X向、Y1向及Y2向消隙装置。ZθXθY微动调节机构中包含上动板、Z1向电机、Z2向电机、Z3向电机、三个顶杆及镜筒。镜筒上沿圆周均布三处Z向调节柔性铰链，通过同步驱动三个Z向调节柔性铰链实现镜片Z方向调节。通过差动驱动三个Z向调节柔性铰链实现镜片θX、θY方向调节。本发明能够对镜片在六个自由度方向进行调节，以补偿由镜片及其支撑机构的制造及装配引入的误差以及在物镜服役周期内因环境变化引起的误差。
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公开(公告)号：CN116165851B
公开(公告)日：2025-05-06
申请号：CN202310205713.0
申请日：2023-03-06
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明是一种负泊松比结构镜片微调装置，该装置包括：镜座(1)、第一、第二、第三负泊松比柔性铰链(21、22、23)、第一、第二、第三电机(31、32、33)、第一、第二、第三驱动杆(41、42、43)、上动板(5)及镜片(6)。第一、第二及第三负泊松比柔性铰链(21、22、23)的上下面分别与上动板(5)和镜座(1)固定，其侧面分别固定第一、第二及第三电机(31、32、33)。电机收缩，带动驱动杆压缩负泊松比柔性铰链的侧面，使负泊松比柔性铰链沿与侧面垂直的方向收缩，从而带动上动板及镜片向下偏移。电机同步调节时，上动板沿Z向运动，从而实现镜片轴向调节；电机差动调节时，上动板沿X轴和Y轴转动，从而实现镜片在θx、θy方向的调节。
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公开(公告)号：CN114740608B
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN202210282522.X
申请日：2022-03-22
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明提供一种大视场高数值孔径投影光刻物镜，包括：第一透镜组，具有正光焦度；第二透镜组，具有负光焦度；第三透镜组，具有正光焦度；第四透镜组，具有负光焦度；第五透镜组，具有正光焦度；第六透镜组的具有正光焦度；所述第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组、第五透镜组和第六透镜组的光焦度的和为0；大视场高数值孔径投影光刻物镜共包含5个非球面透镜，每个非球面透镜包含一个非球面表面及一个球面表面；大视场高数值孔径投影光刻物镜最大像方数值孔径为0.82。本发明提供一种大视场高数值孔径投影光刻物镜，采用非球面以在实现系统高性能的同时降低结构复杂度，缩短光学系统结构长度，提高系统性能。
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公开(公告)号：CN114442253A
公开(公告)日：2022-05-06
申请号：CN202210243037.1
申请日：2022-03-11
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种光学元件轴向微动调整装置，包括镜片、镜座、驱动组件及铰链。驱动组件和铰链安装在镜座上，铰链与镜片连接。驱动组件带动铰链上下运动实现镜片轴向微动。驱动组件包括电机、电机座、球头杆、前压紧块、后压紧块、第一钢球座、第二钢球座、第三钢球座、第一钢球、第二钢球、第三钢球、第一楔形块、第二楔形块、第三楔形块、驱动环、左侧导轨、右侧导轨；铰链上设置有三个台阶，分别为第一台阶、第二台阶、第三台阶，分别与三个楔形块连接，铰链上表面与镜片连接，下表面与镜座固定连接。电机产生的驱动力经过楔形块传递到铰链，带动铰链机构的三个运动点位置变化，从而带动镜片轴向运动。本发明调节精度高，重复性好，易于安装调节。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115755530B
公开(公告)日：2025-05-06
申请号：CN202211347225.5
申请日：2022-10-31
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明是一种铰链驱动式可动镜片微调装置，该装置包括：铰链(1)、外镜筒(2)、镜片座(3)、镜片(4)、电机安装座(5)、电机(6)及球头杆(7)。铰链(1)安装在外镜筒(2)上，其上端连接镜片座(3)，镜片(4)安装在镜片座(3)上。电机安装座(5)固定在外镜筒(2)上，电机(6)安装在电机安装座(5)上，且前端与球头杆(7)连接。电机(6)带动球头杆(7)运动，产生的驱动力经过铰链(1)的传递到镜片座(3)，带动镜片(4)运动。当三个电机同步运动时，实现镜片Z向位移调节；三个电机差动运动时，实现镜片θx、θy调节。本发明提供的铰链驱动式可动镜片微调装置调节精度高，重复性好，且结构紧凑，可实现镜片在轴向及径向有限空间内的三自由度调节。
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公开(公告)号：CN116149145A
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN202310212285.4
申请日：2023-03-07
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明提供一种光刻投影物镜三叶、四叶像差变形镜机构，包括镜片(1)、镜框(2)、镜筒(3)及圆周均布的12个变形镜致动机构(4)。变形镜致动机构(4)包括压块(5)、V型块(6)、电机(7)、推杆(8)、钢球(9)、弹簧片(10)、楔形块(11)、弹性支撑(12)。镜片(1)通过压块(5)与弹性支撑(12)固定。变形镜致动机构(4)均布安装于镜框(2)上。镜框(2)安装于镜筒(3)上。电机(7)驱动推杆(8)、钢球(9)水平方向运动，V型块(6)与楔形块(11)上的导轨为钢球(9)提供导向，钢球(9)带动楔形块(11)运动，楔形块(11)带动弹簧片(10)发生铅锤方向弹性变形，并带动弹性支撑(12)作铅锤方向运动，以调节弹性支撑(12)上的支撑力，弹簧片(10)用于结构复位。通过(12)个变形镜致动机构(4)支撑力大小差动调节，实现镜片(1)三叶、四叶像差变形补偿。
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公开(公告)号：CN115933325A
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202211437957.3
申请日：2022-11-16
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明是一种高精度可动镜片调节装置，该装置包括驱动铰链、外镜筒(2)、镜片座(3)、镜片(4)、辅助支撑铰链、电机、球头杆及球头端盖。驱动铰链安装在外镜筒(2)上，其上端连接镜片座(3)。镜片(4)安装在镜片座(3)上。电机安装在驱动铰链上，且前端与球头杆连接，球头杆的前端面与球头端盖的内端面相切。辅助支撑铰链与驱动铰链对称布置，固定在外镜筒(2)上。电机带动球头杆运动，产生的驱动力经过驱动铰链的传递到镜片座(3)，带动镜片(4)运动。两电机分别驱动，可以实现镜片X向及Y向位移调节。本发明提供的驱动高精度可动镜片调节装置调节精度高，重复性好，稳定性强，可实现镜片在水平方向有限空间内的X向及Y向调节。
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公开(公告)号：CN114114585A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202111511611.9
申请日：2021-12-06
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明提供一种镜片六自由度柔顺机构运动台，包括：镜片、XYθZ微动调节机构以及ZθXθY微动调节机构。XYθZ微动调节机构包含柔性铰链，X向、Y1向和Y2向驱动电机，三个电机沿镜片圆周均布，电机轴端连接X向、Y1向及Y2向驱动装置，并在附近分别布置X向、Y1向及Y2向消隙装置。ZθXθY微动调节机构中包含上动板、Z1向电机、Z2向电机、Z3向电机、三个顶杆及镜筒。镜筒上沿圆周均布三处Z向调节柔性铰链，通过同步驱动三个Z向调节柔性铰链实现镜片Z方向调节。通过差动驱动三个Z向调节柔性铰链实现镜片θX、θY方向调节。本发明能够对镜片在六个自由度方向进行调节，以补偿由镜片及其支撑机构的制造及装配引入的误差以及在物镜服役周期内因环境变化引起的误差。
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公开(公告)号：CN118393823A
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202410655363.2
申请日：2024-05-24
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种光刻投影物镜像散调节变形镜机构，包括下压环、导轨座、动环、钢球、钢球座、微调铰链、平端紧定螺钉、镜片、驱动杆及调节锁紧块。导轨座安装在下压环上，动环安装在下压环与导轨座之间，动环上方斜面与钢球表面接触，钢球包裹于钢球座内，钢球座通过螺纹连接在微调铰链上，钢球座上方用平端紧定螺钉压紧。微调铰链上方安装镜片。驱动杆顺时针转动时，带动动环顺时针转动，进而带动一组对称分布的钢球向上移动，钢球带动钢球座向上运动，从而带动微调铰链上对称的一组铰链向上运动，此时镜片对称两点产生变形，用以补偿一个方向的像散。当驱动杆逆时针转动时，用以补偿另一个方向的像散。调节精度高，重复性好，易于安装调节。
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