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公开(公告)号：CN114815130B
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202210237570.7
申请日：2022-03-11
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B7/188
Abstract: 本发明公开了一种基于离子束的光学薄膜元件的面形控制方法。通过离子束技术修正光学薄膜面形形变，使薄膜元件达到无残余应力双面平衡状态。具体方法为测量已制备薄膜元件面形的矢高值(Power)，根据矢高值失配量在基底背面镀制SiO2膜补偿面，再次测量补偿之后薄膜元件面形的矢高值，计算分析需要对补偿面刻蚀或再沉积SiO2膜的厚度，并进行精确的刻蚀或沉积。该方法制备的薄膜面应力与基底未镀膜面应力相平衡，使光学系统更加精确。
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公开(公告)号：CN113758561B
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202110918080.9
申请日：2021-08-11
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01J1/42
Abstract: 本发明属于航天器空间环境效应试验技术领域，具体涉及一种航天器空间紫外诱发污染增强效应试验装置与方法。针对空间紫外辐射引起的航天器敏感表面污染的增加，该方法提出了一种紫外辐射污染增强效应试验装置，给出了开展紫外辐射污染增强效应的方法。利用该方法，可以准确分析空间紫外辐射对舱外敏感材料的分子污染增强效应及其机制，对航天材料的研制、选用和评价提供了支持。
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公开(公告)号：CN113758561A
公开(公告)日：2021-12-07
申请号：CN202110918080.9
申请日：2021-08-11
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01J1/42
Abstract: 本发明属于航天器空间环境效应试验技术领域，具体涉及一种航天器空间紫外诱发污染增强效应试验装置与方法。针对空间紫外辐射引起的航天器敏感表面污染的增加，该方法提出了一种紫外辐射污染增强效应试验装置，给出了开展紫外辐射污染增强效应的方法。利用该方法，可以准确分析空间紫外辐射对舱外敏感材料的分子污染增强效应及其机制，对航天材料的研制、选用和评价提供了支持。
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公开(公告)号：CN113721313A
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202110918058.4
申请日：2021-08-11
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种低吸收低热畸变薄膜及其制备方法，包括基础膜系选择、膜系优化、基板的超声清洗、基板的真空离子束清洗、离子束溅射制备薄膜、退火后处理；将膜系分为低吸收控制层和低热畸变控制层两部分分别优化的膜系优化方法，并通过镀膜前的基板处理及镀膜后的退火后处理降低薄膜内部的吸收性缺陷，使用双离子束溅射的沉积方式并通过沉积过程中的参数调控进一步改善薄膜的热畸变。本发明可以在整个工艺流程上获得和保障反射率大于99.995％的高反射膜，同时与普通工艺制备出的薄膜相比吸收降低99％。采用本发明制备出的薄膜在长时间工作下损耗低，具有工艺重复性好、可控性强、可靠性高等优点，适用于引力波探测、激光陀螺等高精度测量和高稳定性光学系统的使用。
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公开(公告)号：CN111722311B
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN202010729510.8
申请日：2020-07-27
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 复合功能色散镜结构，其中色散镜结构由下到上依次为基底、增透结构单元、色散补偿结构单元，其中增透结构单元包括增透腔和第一高反层，色散补偿结构单元包括G‑T腔和第二高反层，基本表达式：G/[(HxL)^m(HL)^a]^p[(HyL)^n(HL)^b]^q。本发明通过增透结构单元取代标准镜的高反射膜层，G‑T腔与增透腔形成串联形式，调节G‑T腔和增透腔的周期数以及腔厚度，设计不同色散量、反射率以及带宽的高色散镜，并且作为谐振腔的输出镜，能够在实现泵浦波长高透的同时，在激光响应波段保持一定的反射率且具备色散补偿功能，结构更加简单紧凑。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112327478A
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN202011317467.0
申请日：2020-11-23
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种提升超快激光薄膜性能的多参数综合优化膜系设计方法，基于现有的局部优化算法和针式优化算法，结合了局部优化算法的高效性和针式优化算法的准确性，提出了更适用于色散镜设计的综合优化法。该方法交叉性的使用局部优化算法和针式优化算法，并且通过薄层优化和厚层优化对评价函数产生扰动，有效避免在自动优化过程中出现不符合实际制备工艺要求的膜层结构。采用综合优化法能够在要求波段内设计出高反射、低色散振荡的色散镜，并且自动消除极薄层和极厚层，极大的降低了膜层的制备难度。
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公开(公告)号：CN117075240B
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202311129827.8
申请日：2023-09-04
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种宽带低非线性光学效应啁啾镜，从下到上依次包括基底、宽带啁啾膜层以及低非线性光学效应啁啾膜层。本发明在初始设计的啁啾膜系的基础上，计算了飞秒脉冲入射时膜内折射率增量Δn的分布状况，根据该分布结果设计了宽带啁啾膜层和低非线性光学效应啁啾膜层，从而能够降低膜内折射率增量Δn的数值。与传统的宽带啁啾镜相比，该宽带低非线性光学效应啁啾镜，能够抑制三阶非线性光学效应和降低光学厚度的变化对光谱反射率R和群延迟色散GDD的影响。这种设计方法能够在啁啾镜具有宽光谱带宽的条件下，保持较好的线性光学特性，很好地满足了超快激光系统及腔外后压缩系统中，高反射率、宽带宽、低非线性光学效应的啁啾镜设计需求。
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公开(公告)号：CN116973382B
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202310935772.3
申请日：2023-07-26
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明属于航天器空间环境效应试验技术领域，具体涉及一种太空能量粒子与在轨服役状态性能试验装置与方法。针对空间电子、质子等太空能量粒子引起的航天器敏感材料尤其是航天器激光系统光学元件的电离损伤对抗激光损伤能力的影响，该方法提出了一种太空能量粒子与在轨服役状态性能试验装置，给出了开展电离辐射影响空间激光损伤的测试方法。利用该方法，可以准确评价航天器敏感材料在太空能量粒子电离辐射环境作用下的抗激光损伤能力，对空间激光作用下的航天器材料及元件的研制、选用和评价提供了支持。
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公开(公告)号：CN116952821A
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202310927569.1
申请日：2023-07-26
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种太空紫外环境下航天材料与组件性能评估装置与方法，本发明可以准确评价太空紫外辐射对航天器敏感材料、元件或组件的抗激光损伤能力的影响及其抗激光损伤机制。对空间激光作用下的航天器外露材料及元件的研制、选用和评价提供了支持。
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公开(公告)号：CN116930052A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202310927579.5
申请日：2023-07-26
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01N17/00
Abstract: 本发明属于航天器空间环境效应试验技术领域，具体涉及一种真空污染环境下航天器元件性能评价装置与方法。针对太空中真空环境引起的航天器材料尤其是有机材料的出气产物在航天器敏感材料或元件尤其是激光光学元件上沉积，这些产物作为污染源将对航天器敏感材料或激光元件的抗激光损伤能力的影响，该方法提出了真空污染环境下航天器元件性能评价装置，给出了开展太空服役状态下真空污染环境影响航天器抗激光损伤能力的方法。利用该方法，可以准确评价航天器敏感材料受真空污染作用后的抗激光损伤能力，对空间激光作用下的航天器材料及元件的研制、选用和评价提供了支持。
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